소형 선형운동 액튜에이터 document_id 1019970700269

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 절연층은 50å내지인것을특징으로 하는선형 액튜에이터. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 절연층은 상기 제 1 웨이퍼 표면에 부착된박막구성되는것을특징으로 하는선형 액튜에이터. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 절연층은 상기 제 2 웨이퍼 표면에 부착된박막구성되는것을특징으로 하는선형 액튜에이터. [청구항 5] 제 2항에 있어서. 상기 제 1 웨이퍼 소자는 실리콘으로 형성되고, 상기 절연층은 자연 sio2박막구성되는것을특징으로 하는선형 액튜에이터. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 웨이퍼 소자는 결정실리콘, 비정질실리콘, 다결정실리콘, 게르마늄, 갈륨아세나이드, 실리콘카보나이드, 갈륨나이트라이드, 갈륨 포스파이드, 알루미늄, 스테인레스 스틸, 구리, 황동 및 금으로 이루어진 물질 그룹으로부터 선택된물질구성되는것을특징으로 하는선형 액튜에이터. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 제 2 웨이퍼 소자는 결정실리콘, 비정질실리콘, 다결정실리콘, 게르마늄, 갈륨아세나이드, 실리콘카보나이드, 갈륨나이트라이드, 갈륨포스파이드, 알루미늄, 스테인레스스틸, 구리, 브라스 및 금으로 이루어진 물질 그룹으로 부터 선택된물질구성되는것을특징으로 하는선형 액튜에이터. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 관성 생성 수단은 장치의 운동축을 따라 실제적으로 형상을 변경하도록 형성된 수직축을 갖는형상 변경수단으로이루어진것을특징으로 하는선형 액튜에이터. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 형상 변경 수단은 압전 물질, 형상 기억 물질, 일렉트로스트릭티브(electrostrictive) 및 마그네토리스트릭티브(magnetorestrictive)로 이루어진 물질 그룹으로부터 선택된물질구성되는것을특징으로 하는선형 액튜에이터. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 웨이퍼 표면은 5 밀리미터의 선형 길이당 약1마이크론표면높이이하의표면갖는것을특징으로 하는선형 액튜에이터. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 자극은 전기적인것을특징으로 하는선형 액튜에이터 소자. [청구항 13] 제 11 항에 있어서,상기 제 1 자극은 상기 부분의 크기의 변화보다 느리고 상기 제 2 자극은 상기 부분의 크기의 변화 보다 빠른 것특징으로 하는선형 액튜에이터 소자. [청구항 14] 제 13항에 있어서,상기 제 1 에너지 소스는 상기 글라이더 및 상기 베이스 소자 사이에서 클램프 전압을 생성하기 위한 제 1 전압 소스를 포함하며, 상기 제 2 에너지 소스는 상기 부분을 선택적으로 확장, 수축시키기 위해 접속되며 느린 상승시간과 빠른 하강시간의 파형을 생성하는제2전압 소스포함하는것을특징으로 하는선형 액튜에이터 소자. [청구항 15] 제 13 항에 있어서,상기 베이스는 실리콘으로 형성되며, 상기 절연체는 상기 실리콘 상부의 sio2자연산화막형성된것을특징으로 하는선형 액튜에이터 소자. [청구항 16] 제 15항에 있어서,상기sio2 층 상부에 sio2 n4층더포함하는것을특징으로 하는선형 액튜에이터소자. [청구항 17] 제 15항에 있어서,상기sio2 층은 2㎛이하두께인것을특징으로 하는선형 액튜에이터 소자. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,상기 제 2 전압은 상기 부분의 크기의 빠른 변화에 따라 상기 부분의 크기의 느린 변화를 포함하는 것을 특징으로 하는 다른 부재에 대하여 하나의 부재의 선형 운동생성시키는장치. [청구항 20] 제 18 항에 있어서,상기 글라이더는 클램프 웨이퍼 부재와 확장 가능한 부재를 포함하며, 상기 클램프 웨이퍼 부재는 상기 물질이 확장, 수축하는 동안 상기 베이스 부재에 클램프되는 단일편 부재인 것을 특징으로 하는 다른 부재에 대하여 하나의 부재의 선형 운동생성시키는장치. [청구항 22] 제 18항에 있어서,고정선부, 상기 고정선부를 습동 가능하게 수용하는 공동(hollow) 부재, 상기 공동 부재가 상기 글라이더부에 접속되는 어느 한 접속부로 이루어지며, 상기 글라이더부에 접속되는 다수의 리드선을 더포함하는 것을 특징으로 하는 다른 부재에 대하여 하나의 부재의 선형 운동생성시키는장치. [청구항 23] 제 22항에 있어서,상기 고정선 및 상기 공동 부재는 원통형인 것을 특징으로 하는 다른 부재에 대하여 하나의 부재의 선형 운동생성시키는장치. [청구항 24] 달성하기 위한 선형 액튜에이터에 대한 출력 작업 부하를 결정하는 단계 정전기 클램프 표면적 값을 결정하는 단계 관성 질량값을 결정하는 단계 정전기 클램프 제어 전압 범위를 계산하기 위해 상기 작업 부하 값, 상기 클램프 표면적 값 및 상기 관성 질량 값을 사용하는 단계 확장 가능한 부재 제어 값 범위를 계산하기 위해 상기 작업 부하 값, 상기 클램프 표면적 값 및 상기 관성 질량 값을 사용하는 단계 상기 확장 가능한 부재 전압 제어 값에 따라 상기 확장 가능한 부재에 대하여 크기 범위를 선택하는 단계 상기 정전기 제어 전압 범위 값을 상기 정전기 클램프에 적용하는 단계 및 상기 확장 가능한 부재 제어 전압 값 범위를 상기 확장 가능한 부재에 적용하는 단계로 이루어지되, 상기 클램프 제어 전압 및 상기 확장 가능한 부재 전압 제어 전압은 상기 선형 액튜에이터의 선택 가능한 양방향 선형 운동에 영향을 미치는 것을 특징으로 하는 정전기 클램프 및 확장 가능한 부재를 이용한 증가형 스테핑 선형 운동 액튜에이터 [청구항 25] 제 24 항에 있어서,상기 작업 부하 값은 힘, 속도 또는 힘 및 속도인 것을 특징으로 하는 정전기 클램프 및 확장 가능한 부재이용한증가형 스테핑 선형 운동 액튜에이터. [청구항 31] 제 1항에 있어서,상기 정전기 클램핑 수단은전압 소스인것을특징으로 하는선형 액튜에이터. [청구항 33] 제 11 항에 있어서,상기 제 1 에너지 소스는 상기 글라이더 및 상기 베이스 사이에서 제 1 전압을 먼저 제공한 다음 상기 글라이더 및 상기 베이스 사이에서 부전압을 제공하는교류전압생성하는것을특징으로 하는선형 액튜에이터 소자. [청구항 35] 제 11 항에 있어서,상기 디바이스의 출력양을 센싱하며 상기 양을 적어도 하나의 상기 소스 에너지를 제어하기 위해 상기 양을 피드백하는센서로이루어진것을특징으로 하는선형 액튜에이터 소자. [청구항 36] 제 18 항에 있어서,상기 디바이스의 출력 작업 부하량을 센싱하며 상기 제어 콘솔의 특성을 제어하기 위해 상기 양을 피드백하는 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다른 부재에 대하여 하나의 부재의 선형 운동생성시키는장치. [청구항 37] 습동 가능하며 인접한 접촉으로 각각의 제 1 및 제 2 웨이퍼 표면을 갖는 각각의 제 1 및 제 2 웨이퍼 소자와, 포지티브 센스 및 네가티브 센스 사이에서 주기적으로 변화하는 제 1 출력 전압을 생성하며 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼 표면을 정전기 적으로 클램프하기 위해 서로 접속되는 전압 소스와, 상기 제 2 웨이퍼 소자에 작동적으로 결합된 확장 가능한 부재와, 제 1 출력 전압을 클램핑 수단으로 동기적 및 연속적으로 제어하며 제 2 전압 출력을 상기 확장 가능한 부재로 제어하여 상기 확장 가능한 부재가 상기 제 2 웨이퍼에 대하여 상기 제 1 웨이퍼의 선형 운동에 영향을 미치도록 상기 전압 공급원, 상기 클램핑 수단, 상기 확장 가능한 부재에 전기적으로 접속되는 제어 수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 선형 액튜에이터 디바이스