문맥 (context)
[청구항 3]
제 1항 또는 2항에 있어서,상기 자극은 전기 절연층으로 분리되는 복수의 고 자기 투과성 적층부로 형성되며, 상기 적층부는 생성된 자계의 고 주파 시변성분에 대한 저저항자기투과성경로제공하는것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 4]
제 1항 또는 2항에 있어서,상기 자극은 전기절연물질로 분리되는 고 자기 투과성 물질로된 다른 세트의 적층부를 구비하며, 상기 세트는 한 세트에서의 소정의 적층부를 통하는 자속이 다중의 다른 세트의 적층부에 분포되도록서로교차배치되는것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 5]
제 3항에 있어서,상기 적층부 각각은 0.2내지1밀리미터사이의범위의두께가지는것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 6]
제 3항에 있어서,상기 절연층은 상기 적층부보다 얇은 것특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 7]
제 3항에 있어서,상기 적층부는아이언합금적층부로되는것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 8]
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 요크 및 코어는고체아이언형성되는것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 9]
제 1항에 있어서,순위의 고조파및 20hz 이상의 기본 주파수에서 시간에 따라 방향이 교번하는 자계를 생성하도록 발진전류로 ac코일을 여자하는 ac전류원을추가구비하는것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 10]
제 2항에 있어서,상기 이온 빔을 상기 갭으로 도입하는이온빔소스를추가구비하는것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 11]
제 10항에 있어서,상기 이온 빔을 수신하는 선택된 표면을 구비하는 반도체 기판을 상기 이온 빔의 경로에 위치시키도록 배열된엔드스테이션을추가구비하는것을특징으로 하는자계발생장치
[청구항 12]
제 10항에 있어서,빔이 상기 이온 소스로부터 엔드 스테이션으로 진공하에서 이동하는 경우 상기 빔이 자극에 직접적으로 노출되도록 상기 자기 스테이션 둘레의 이온 소스로부터 상기 엔드 스테이션으로 연장하는진공하우징을추가구비하는것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 13]
제 10항에 있어서,상기 이온 빔이 상기 선택된 표면을 조사하기 이전에 상기 이온 빔에서 단일 하전된 이온을 제거하도록 상기 이온 빔의 경로상에 배치된속도분리기를추가구비하는것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 14]
제 3항에 있어서,상기 자극을 이온 빔으로부터 차폐하기위한 실리콘으로 이루어진라이너를추가구비하는것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 15]
제 1항 또는 2항에 있어서,상기 자극nan은강자성물질로된것특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 16]
제 15항에 있어서,상기 자극을 상기 이온 빔으로부터 차폐하기위한라이너를추가구비하는것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 17]
제 16항에 있어서,상기 라이너는실리콘으로이루어진것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 18]
제 10항에 있어서,상기 이온 빔은 제 1빔 경로를 따라 갭내로 들어가며, 상기 빔이 갭을 통과한 후 상기 스캐닝 자계의 영향의 결과 제 1빔 경로의 한 사이드에 편향된 후 상기 이온 빔을 수신하도록 위치한 dc섹터자석을추가구비하는것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 21]
제 20항에 있어서,쌍의 전기 도체를 추가로 구비하는데, 상기 도체 각각은 상기 갭의 대향측에 위치하며, 상기 도체는 상기 갭의 영역의 실질적인 부분에 걸쳐서 경사 자계를 생성하도록 구성되어배치되는것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 22]
제 21항에 있어서,쌍의 전기도체를 추가로 구비하는데, 상기 도체 각각은 갭의 대향측에 위치하며, 상기 도체들은 상기 갭의 영역의 실질적인 부분에 걸쳐서 제 2 경사 자계를 생성하도록구성배치되는것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 23]
제 22항에 있어서,상기제 1의 한 쌍의 전기도체는 상기 자극면에 나란한 명면에서 제 1방향으로 연장하며, 상기 제 2의 한 쌍의 도체는 상기 제 1방향에 수직인 방향에서 상기 제 2쌍의 도체에 나란한평면연장하는것을특징으로 하는자계 발생장치.
[청구항 25]
제 24항에 있어서,쌍의 전기도체를 구비하는데, 상기 도체 각각은 상기 갭의 대향측에 위치하며, 상기 갭 영역의 실질적인 부분에 결쳐서 제 2경사자계를 생성하도록구성배치되는것을특징으로 하는자계발생장치.
[청구항 26]
제 25항에 있어서,상기제 1의 한 쌍의 전기도체는 상기 자극면에 나란한 평면에서 제 1방향으로 연장하며, 상기 제 2의 한 쌍의 도체는 상기 제 1방향에 수직인 방향에서 상기 제 2의 한 쌍의 도체에 나란한평면연장하는것을특징으로 하는자계 발생장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
자계발생장치의 자극이 전기 절연층으로 분리되는 복수의 고 자기 투과성 적층부로 형성될 경우, 해당 적층부가 수행하는 기능은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation자계발생장치의 자극이 전기 절연층으로 분리되는 복수의 고 자기 투과성 적층부로 형성될 때, 해당 적층부의 기능을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 자극이 전기 절연층으로 분리되는 복수의 고 자기 투과성 적층부로 형성된다는 조건과 그에 따른 기능을 추출한다.
- 상기 자극은 전기 절연층으로 분리되는 복수의 고 자기 투과성 적층부로 형성되며, 상기 적층부는 생성된 자계의 고 주파 시변성분에 대한 저저항자기투과성경로제공하는것을특징으로 하는자계발생장치
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3근거 선택
evidence_selection적층부의 기능이 명시된 구절인 '생성된 자계의 고 주파 시변성분에 대한 저저항자기투과성경로제공'을 선택한다.
- 생성된 자계의 고 주파 시변성분에 대한 저저항자기투과성경로제공
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4논리 통합
logical_integration자극이 적층부 구조로 이루어짐에 따라 발생하는 기능적 결과가 저저항 자기 투과 경로를 제공하는 것임을 확인한다.
- 상기 적층부는 생성된 자계의 고 주파 시변성분에 대한 저저항자기투과성경로제공하는것을특징으로 하는자계발생장치
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로 적층부의 기능을 정리한다.
- 생성된 자계의 고 주파 시변성분에 대한 저저항자기투과성경로제공
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6답변 생성
answer_generation추출된 문구를 바탕으로 최종 답변을 생성한다.
- 생성된 자계의 고 주파 시변성분에 대한 저저항자기투과성경로제공
최종 답변 (final_answer)
생성된 자계의 고 주파 시변성분에 대한 저저항자기투과성경로제공
핵심 해석 (core_interpretation)
자극을 고 자기 투과성 적층부 구조로 형성함으로써, 고 주파 시변 성분을 가진 자계에 대해 저저항 자기 투과 경로를 제공하는 기술적 특징을 나타냄.