기판이송및처리시스템 document_id 1019980002510

[청구항 3] 제2항에 있어서,상기 처리부와 상기 자세변환수단 사이에서 상기 기판을 전달하고, 상기 처리부내에서 상기 기판을 이송하기 위한 제2기판이송수단을 더 구비하여구성된것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 기판을 상기 처리부와 상기 제2자세변환수단 사이에서 전달하고, 처리부내에서 상기 기판을 이송하기 위한 제2기판이송수단을 더 구비하여구성된것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 용기이송수단의 이송로를 따라 제공된 용기대기부를 더 구비하여구성된것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템 [청구항 7] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기판인출수단과 상기 기판적재수단이 기판인출수단과 기판적재수단을 갖춘 기판인출/적재수단으로이루어진것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 8] 제1항 또는 제2항에 있어서,용기를 수용하기 위한 용기대기부와, 상기 공급 및 반출부와, 상기 공급 및 반출부와 상기 용기대기부 사이에서 용기를 이송하기 위한 용기이송수단을 더 구비하여구성된것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 9] 제1항, 제2항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 공급 및 반출부와, 상기 기판인출수단에 의해 용기에서 기판이 인출되고 기판인출수단에 의해 상기 용기로 기판을 이송하기 위한 기판인출위치 사이에서 상기 용기를 이송하기 위한 용기이송수단을 더 구비하여구성된것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 10] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 용기를 수용하기 위한 용기대기부와,상기 공급 및 반출부와 상기 용기대기부 사이에서 상기 용기를 이송하기 위한 제1용기이송수단 및,상기 용기대기부와, 상기 기판인출 및 적재수단 사이에서 상기 용기를 이송하기 위한 제2용기이송수단을 더 구비하여구성된것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 11] 제8항 또는 제10항에 있어서,상기 용기대기부가 상기 용기를 이동시키기 위한용기이동수단구비한것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 12] 제1항, 제2항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 용기로부터 인출된 상기 기판을 위치시키기 위한 위치결정수단을 더 구비하여구성된것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 13] 제1항, 제2항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 자세변환수단이 기판 이 간격을 조정하기 갖춘간격조정수단갖춘것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 14] 제1항, 제2항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 처리부가 상기 기판을 수용하기 위한 처리욕조와, 상기 처리욕조에서 상기 기판을 이송하기 위한이동메카니즘구비한것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 이동메카니즘이 다수의 처리욕조에서 상기 기판을 이송할 수형성된것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 16] 제1항, 제2항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 처리부가 상기 기판을 수용하기 위한 처리욕조와, 이 처리욕조로 화학약품을 공급하기 위한 화학약품공급수단 및, 처리욕조로 세정용액을 공급하기 위한 세정용액공급수단으로 구비되어구성된것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 17] 제1항, 제2항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 처리부가 상기 기판이송수단의 적어도 기판홀딩부를 세정하기 위한세정수단갖춘것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 18] 제1항, 제2항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 처리부가 상기 기판을 세정 및 건조시키기 위한 세정/건조수단갖춘것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 19] 제1항, 제2항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 공급부가 용기입구와 기판출구를 갖추고, 상기 반출부가용기출구와기판입구갖춘것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 20] 제1항, 제2항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판인출수단과 상기 기판적재수단이 다수의 기판을 이송할 수된것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 21] 제1항, 제2항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 공급부와 상기 반출부가 평행하게 제공되고, 상기 처리부가상기공급및반출부대향하는것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 22] 제1항, 제2항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 자세변환수단으로부터 상기 처리부로 상기 기판을 전달하기 위한 제1이송수단과, 상기 처리부에서 상기 자세변환수단으로 상기 기판을 전달하기 위한 제2기판이송수단을 더 구비하여구성된것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 23] 제1항, 제2항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판이송수단이 상기 자세변환수단과 대향하는 위치로 이동가능하고, 상기 기판이송수단과 상기 자세변환수단 사이에서 제공되고, 그 사이에서 상기 기판을 전달하기 위한 기판전달수단을 더 구비하여구성된것을특징으로 하는기판이송 및 처리시스템. [청구항 25] 제24항에 있어서,상기 제1셔터가 개방될 때, 상기 제2셔터가 폐쇄되고, 상기 제2셔터가 개방될 때 상기 제1셔터가 폐쇄되는 것을 특징으로 하는 피처리물체세정하기 위한세정시스템. [청구항 26] 제24항에 있어서,상기 제1구동부가 상기 이송게이트의 하부에 위치하고, 상기 제2구동부가 상기 이송통로의 하부에 위치하는 것을 특징으로 하는 피처리물체세정하기 위한세정시스템. [청구항 27] 제24항에 있어서,상기 제1셔터가 하강될 때 상기 이송게이트는 개방되고, 상기 제2셔터가 하강될 때 상기 이송통로가 개방되어, 상기 인터페이스부와 상기 세정부 사이에서 상기 물체가 이송되어지는 것을 허용하는 것을 특징으로 하는 피처리물체세정하기 위한세정시스템.