문맥 (context)
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 연마 척 수용홈의 저면에는 연결관이 돌출되어 상기 토출 그루우브와 토출공결합시키는웨이퍼 연마설비.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기 몸체의 저면에는 다수개의 결합돌기들이 형성되고, 상기 연마 척 수용홈의 저면에는 상기 결합돌기들에 대응하여 결합홈들형성되는웨이퍼 연마설비.
[청구항 5]
제 2 항에 있어서,상기 웨이퍼의 직경은 상기 토출 그루우브의 내측 직경동일하거나약간 큰 웨이퍼 연마설비.
[청구항 6]
제 2 항에 있어서,상기 유체 공급관을 통해 순수공급되는웨이퍼 연마설비.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 순수는 비저항인웨이퍼 연마설비.
[청구항 8]
제 2 항에 있어서,상기 유체 공급관을 통해 공기공급되는웨이퍼 연마설비.
[청구항 9]
제 2 항에 있어서,상기 연마 척은 탄성계수가 큰 연질의물질로 이루어진웨이퍼 연마설비.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 물질은폴리테트라플루오르에틸렌인웨이퍼 연마설비.
[청구항 12]
제 2 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 연삭부는 자전과 동시에 상기 연마 척을 중심공전하는웨이퍼 연마 설비
[청구항 14]
제 13 항에 있어서,상기 순수 공급관의 단부에 상기 제 1 및 제 2 연삭부에 대응하는 웨이퍼들에 각각 순수를 공급하는 제 1 및 제 2 분기관이 일체형성되는웨이퍼 연마 설비.
[청구항 15]
제 13 항에 있어서,상기 댐의 높이는 상기 웨이퍼가 진공흡착된연마 척의 높이보다 높은 웨이퍼 연마설비.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
웨이퍼 연마설비의 연마 척 수용홈 저면에 형성된 연결관은 무엇과 결합되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation연마 척 수용홈 저면에 형성된 연결관이 결합되는 대상을 찾는 관계 추출 작업이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 연마 척 수용홈 저면에 연결관이 돌출되어 있다는 정보를 추출한다.
- 상기 연마 척 수용홈의 저면에는 연결관이 돌출되어
-
3근거 선택
evidence_selection연결관이 무엇과 결합하는지 명시된 '토출 그루우브와 토출공' 구절을 선택한다.
- 상기 토출 그루우브와 토출공결합시키는
-
4논리 통합
logical_integration연결관이 돌출되어 토출 그루우브와 토출공을 결합시킨다는 문맥을 통해 결합 대상을 파악한다.
- 연결관이 돌출되어 상기 토출 그루우브와 토출공결합시키는
-
5결론 도출
conclusion_formulation연결관은 토출 그루우브와 토출공에 결합된다.
- 상기 토출 그루우브와 토출공결합시키는
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변을 추출 형식으로 작성한다.
- 상기 토출 그루우브와 토출공
최종 답변 (final_answer)
상기 토출 그루우브와 토출공
핵심 해석 (core_interpretation)
연마 척 수용홈 저면에 돌출된 연결관을 통해 토출 그루우브와 토출공을 결합시키는 구조를 특징으로 한다.