문맥 (context)
[청구항 1]
웨이퍼를 적재한 카셋트가 수평으로 안착되는 스테이지; 및
상기 카셋트 내의 웨이퍼가 상기 카셋트의 후면으로 밀착되어 나란히 정렬되도록 상기 스테이지의 전방을 들어올려 상기 스테이지를 경사지게 기울이는 스테이지기울임수단
을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 정렬장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 카셋트의 이탈을 방지하고, 상기 카셋트의 위치를 고정시키도록 상기 카셋트를 끼는받침단턱을상기스테이지형성하는것을특징으로 하는상기 반도체 웨이퍼 정렬장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 스테이지기울임수단은,상기 스테이지의 후면 일측을 회전축으로 하여 회전자유로 회동하는 것이 가능하도록 상기 스테이지의 후면 일측의 양단에 힌지결합된 회전지지대;상기 회전지지대가 설치된 상기 스테이지의 후면 일측을 회전축으로 하여 상기 스테이지의 전면 일측을 승하강시킴으로써 상기 스테이지를 경사지도록 상기 스테이지의 전면 일측에 힌지결합으로 설치되고, 그 길이가 가변하는 신장(伸長)막대; 및상기 신장막대의 길이를 길게 하거나 짧게 하도록 상기 신장막대를 구동시키는 구동부;를포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 웨이퍼 정렬장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 구동부는,상기 신장막대와 연결된 피스톤; 및공압 또는 유압을 공급받아 상기 피스톤을 움직이는공압또는유압실린더포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 웨이퍼 정렬장치.
[청구항 5]
제 3 항에 있어서,상기 구동부는,상기 신장막대와 회전자유로 연결된 기어봉;상기 기어봉과 연결되어 상기 기어봉을 회전시키는 모터; 및상기 기어봉의 나사전진운동 및 후진운동을 유도하도록 상기 기어봉과 나사결합되고, 회전구속된베어링포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 웨이퍼 정렬장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 스테이지에 설치되고, 상기 카셋트에 적재된 웨이퍼의 이탈상태를 감지하여 이탈신호를 인가하는 센싱부; 및상기 이탈신호를 인가받아 상기 스테이지기울임수단에 기울임신호를 인가함으로써 상기 스테이지기울임수단을 제어하는제어부더포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 웨이퍼 정렬장치.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 센서는,상기 웨이퍼의 이탈을 감지하는광센서인것을특징으로 하는상기 반도체 웨이퍼 정렬장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 웨이퍼 정렬장치에서 스테이지기울임수단이 스테이지를 경사지게 만들기 위해 구성되는 세부 요소들과 그 구동 원리는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation스테이지기울임수단의 구성 요소와 스테이지를 경사지게 만드는 구동 원리를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3, 4, 5에서 스테이지기울임수단의 구성 요소인 회전지지대, 신장막대, 구동부 및 그 세부 요소를 추출한다.
- 상기 스테이지기울임수단은,상기 스테이지의 후면 일측을 회전축으로 하여 회전자유로 회동하는 것이 가능하도록 상기 스테이지의 후면 일측의 양단에 힌지결합된 회전지지대;상기 회전지지대가 설치된 상기 스테이지의 후면 일측을 회전축으로 하여 상기 스테이지의 전면 일측을 승하강시킴으로써 상기 스테이지를 경사지도록 상기 스테이지의 전면 일측에 힌지결합으로 설치되고, 그 길이가 가변하는 신장(伸長)막대; 및상기 신장막대의 길이를 길게 하거나 짧게 하도록 상기 신장막대를 구동시키는 구동부;를포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 웨이퍼 정렬장치
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3근거 선택
evidence_selection회전지지대, 신장막대, 구동부(피스톤/실린더 또는 기어봉/모터/베어링)와 관련된 구절을 선택한다.
- 상기 스테이지의 후면 일측을 회전축으로 하여 회전자유로 회동하는 것이 가능하도록 상기 스테이지의 후면 일측의 양단에 힌지결합된 회전지지대;상기 회전지지대가 설치된 상기 스테이지의 후면 일측을 회전축으로 하여 상기 스테이지의 전면 일측을 승하강시킴으로써 상기 스테이지를 경사지도록 상기 스테이지의 전면 일측에 힌지결합으로 설치되고, 그 길이가 가변하는 신장(伸長)막대; 및상기 신장막대의 길이를 길게 하거나 짧게 하도록 상기 신장막대를 구동시키는 구동부;
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4논리 통합
logical_integration스테이지 후면의 회전지지대를 축으로, 구동부가 신장막대의 길이를 조절하여 스테이지 전면을 승하강시킴으로써 경사를 만든다는 원리를 통합한다.
- 상기 스테이지의 후면 일측을 회전축으로 하여 상기 스테이지의 전면 일측을 승하강시킴으로써 상기 스테이지를 경사지도록
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5결론 도출
conclusion_formulation구성 요소(회전지지대, 신장막대, 구동부)와 구동 방식(신장막대 길이 가변을 통한 전면 승하강)을 정리하여 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 구성 요소와 구동 원리를 명확히 기술한 최종 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
스테이지기울임수단은 스테이지의 후면 일측 양단에 힌지결합되어 회전축 역할을 하는 '회전지지대', 스테이지 전면 일측에 힌지결합되어 길이가 가변되는 '신장막대', 그리고 신장막대의 길이를 조절하는 '구동부'로 구성된다. 구동 원리는 구동부가 신장막대의 길이를 길게 하거나 짧게 조절함으로써, 스테이지 후면의 회전지지대를 축으로 스테이지 전면 일측을 승하강시켜 스테이지를 경사지게 만드는 방식이다. 이때 구동부는 공압/유압 실린더와 피스톤을 이용하거나, 모터와 기어봉 및 베어링을 이용하는 방식으로 구현될 수 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
스테이지의 후면을 회전축으로 삼고, 전면에 설치된 신장막대의 길이를 구동부로 가변 제어함으로써 스테이지의 경사각을 조절하는 기술이다.