문맥 (context)
[청구항 24]
제23항에 있어서,상기한 세라믹 그린시트와, 이 세라믹 그린시트와 함께 상기한 마스크서 이동시키는 수단을 더 포함하며, 상기한 세라믹 그린시트가 이동하고 있을 때, 상기한 레이저 광원이 상기한 마스크에 상기한레이저빔조사함을특징으로 하는장치.
[청구항 25]
제24항에 있어서,상기한 마스크에 상기한 레이저 빔을 조사하는 동안, 상기한 이동 수단이 상기한 세라믹 그린시트를 일정 속도로단일방향이동시킴을특징으로 하는장치.
[청구항 26]
제25항에 있어서,상기한 레이저 빔이 펄스 레이저 빔특징으로 하는장치.
[청구항 27]
제24항에 있어서,상기한 레이저 빔이 펄스 레이저 빔특징으로 하는장치.
[청구항 28]
제23항에 있어서,상기한 레이저 빔이 펄스 레이저 빔특징으로 하는장치.
[청구항 29]
제23항에 있어서,상기한 마스크가 복수개의 조사 영역들을 갖고 있으며, 상기한 레이저 광원이 각 조사 영역에 각 한번의펄스 레이저빔조사함을특징으로 하는장치.
[청구항 30]
제29항에 있어서,상기한 조사 영역들 중의 적어도 하나가복수개의관통홀투광부들포함함을특징으로 하는장치.
[청구항 31]
제29항에 있어서,상기한 조사 영역들 각각이복수개의관통홀투광부들포함함을특징으로 하는장치.
[청구항 32]
제23항에 있어서,상기한 관통홀 투광부들 중의 적어도 두 개가 서로 다른 형상을 갖고 있어 각각 서로 다른형상의관통홀형성함을특징으로 하는장치.
[청구항 33]
제23항에 있어서,상기한 레이저 빔의 단면 형상이 원형특징으로 하는장치.
[청구항 34]
제23항에 있어서,상기한 레이저 빔의 단면 형상이 사각형특징으로 하는장치.
[청구항 35]
제23항에 있어서,상기한 마스크가, 각각 복수개의 상기한 관통홀 투광부들을 포함하고 있는 복수개의 조사 영역들을 갖고 있으며, 상기한 레이저 광원이 상기한 조사 영역들 각각에 단 한번의 레이저 빔 펄스를 연속적으로 조사하며, 각 펄스 레이저 빔은 어느 한 조사 영역에 위치해 있는 상기한 관통홀 투광부들 모두를 에워쌀 수 있는 충분히 큰 단면적특징으로 하는장치.
[청구항 36]
제23항에 있어서,상기한 마스크가 상기한 세라믹 그린시트의 표면과 접촉할 때까지, 상기한 세라믹 그린시트와 상기한 마스크를 상대적으로 이동시켜서 상기한 세라믹 그린시트의 표면에 상기한 마스크를 올려놓는수단더포함함을특징으로 하는장치.
[청구항 37]
제23항에 있어서,상기한 마스크가 상기한 세라믹 그린시트의 표면에 실질적으로 인접할 때까지, 상기한 세라믹 그린시트와 상기한 마스크를 상대적으로 이동시켜서 상기한 세라믹 그린시트의 표면에 상기한 마스크를 올려놓는수단더포함함을특징으로 하는장치.
[청구항 38]
제23항에 있어서,상기한 마스크가 적어도 하나의 투광 정렬부를 더 포함하며, 상기한 레이저 광원이 상기한 적어도 하나의 투광 정렬부에 펄스 레이저 빔을 조사하여 상기한 세라믹 그린시트에적어도하나의위치결정홀형성함을특징으로 하는장치.
[청구항 39]
제23항에 있어서,상기한 레이저 빔이 입사되는 상기한 마스크의 표면이 상기한 레이저 빔에 대해 반사율이 큰재료구성됨을특징으로 하는장치.
[청구항 40]
제23항에 있어서,상기한 레이저 빔이 co2 레이저 빔특징으로 하는장치.
[청구항 41]
제23항에 있어서,상기한 세라믹 그린시트가 수지로 된캐리어필름의한쪽표면결합됨을특징으로 하는장치.
[청구항 42]
제23항에 있어서,상기한 레이저 광원이 상기한 마스크의 서로 다른 부분들에 펄스 레이저 빔을 반복적으로 조사하며, 상기한 펄스 레이저 빔이 갈바노미러에 의해 상기한 마스크쪽으로 향하게 되며, 상기한 갈바노미러의 반사각이 변화하여 상기한 레이저 빔을 상기한 마스크의 한 부분에서 다른부분이동시킴을특징으로 하는장치.
[청구항 43]
제42항에 있어서,상기한 세라믹 그린시트를 이동시키는 수단을 더 포함하며, 상기한 세라믹 그린시트가 이동 상태에 있을 때, 상기한 마스크에 각 한번의펄스 레이저빔조사됨을특징으로 하는장치.
[청구항 44]
제43항에 있어서,상기한 마스크가 투광 정렬부들을 더 포함하며, 상기한 레이저 광원이 상기한 투광 정렬부들에 상기한 펄스 레이저 빔을 조사하여 상기한 세라믹 그린시트에위치결정홀들형성함을특징으로 하는장치.
[청구항 47]
제46항에 있어서,상기한 레이저 가공 장치가 상기한 테이블을 소정의 방향으로 이동시키기 위한테이블구동회로더포함하는것을특징으로 하는장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
세라믹 그린시트와 마스크를 함께 이동시키는 수단이 포함된 장치에서, 레이저 빔이 마스크의 각 조사 영역에 조사되는 방식과 이때 레이저 빔의 단면적 크기에 관한 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation레이저 빔이 마스크의 조사 영역에 조사되는 방식과 레이저 빔의 단면적 크기에 관한 특징을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 35를 통해 조사 방식(단 한번의 레이저 빔 펄스를 연속적으로 조사)과 단면적 특징(관통홀 투광부들을 에워쌀 수 있는 충분히 큰 단면적)을 확인한다.
- 상기한 레이저 광원이 상기한 조사 영역들 각각에 단 한번의 레이저 빔 펄스를 연속적으로 조사하며, 각 펄스 레이저 빔은 어느 한 조사 영역에 위치해 있는 상기한 관통홀 투광부들 모두를 에워쌀 수 있는 충분히 큰 단면적
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 조사 방식과 단면적 크기에 직접적으로 대응하는 청구항 35의 구절을 선택한다.
- 상기한 레이저 광원이 상기한 조사 영역들 각각에 단 한번의 레이저 빔 펄스를 연속적으로 조사하며, 각 펄스 레이저 빔은 어느 한 조사 영역에 위치해 있는 상기한 관통홀 투광부들 모두를 에워쌀 수 있는 충분히 큰 단면적
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4논리 통합
logical_integration레이저 광원이 각 조사 영역에 대해 연속적으로 단 한 번의 펄스를 조사하며, 이때의 빔 단면적은 해당 영역 내의 모든 관통홀 투광부를 포함할 수 있을 만큼 충분히 커야 함을 결합한다.
- 상기한 레이저 광원이 상기한 조사 영역들 각각에 단 한번의 레이저 빔 펄스를 연속적으로 조사하며, 각 펄스 레이저 빔은 어느 한 조사 영역에 위치해 있는 상기한 관통홀 투광부들 모두를 에워쌀 수 있는 충분히 큰 단면적
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5결론 도출
conclusion_formulation조사 방식은 각 조사 영역에 단 한 번의 레이저 빔 펄스를 연속적으로 조사하는 방식이며, 단면적은 관통홀 투광부들을 모두 에워쌀 수 있을 만큼 충분히 크다.
- 상기한 레이저 광원이 상기한 조사 영역들 각각에 단 한번의 레이저 빔 펄스를 연속적으로 조사하며, 각 펄스 레이저 빔은 어느 한 조사 영역에 위치해 있는 상기한 관통홀 투광부들 모두를 에워쌀 수 있는 충분히 큰 단면적
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
- 상기한 레이저 광원이 상기한 조사 영역들 각각에 단 한번의 레이저 빔 펄스를 연속적으로 조사하며, 각 펄스 레이저 빔은 어느 한 조사 영역에 위치해 있는 상기한 관통홀 투광부들 모두를 에워쌀 수 있는 충분히 큰 단면적
최종 답변 (final_answer)
레이저 광원은 마스크의 각 조사 영역에 대하여 단 한 번의 레이저 빔 펄스를 연속적으로 조사하며, 이때 각 펄스 레이저 빔은 해당 조사 영역에 위치한 관통홀 투광부들 모두를 에워쌀 수 있을 만큼 충분히 큰 단면적을 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
마스크의 각 조사 영역에 포함된 복수의 관통홀 투광부를 한 번의 레이저 펄스로 동시에 처리하기 위해, 조사 영역별로 단일 펄스를 연속 조사하고 빔의 단면적을 투광부들을 모두 포함할 수 있도록 충분히 크게 형성하는 기술적 특징을 나타낸다.