문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 필터는, 도포액중의 이물질을 포착하는 필터엘리먼트(73a)와, 상기 필터엘리먼트내에서 개구하는 복수의 구멍(73e)을 가지는 분산관구비하는도포장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 펌프실의 상부에 형성되고, 펌프실로부터 기포를 배출하는 벤트가지는도포장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 벤트는, 상기 펌프실의 토출구보다도 높은 위치개구하고 있는도포장치.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 벤트는, 상기 펌프실의 가장 높은 곳개구하고 있는도포장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 펌프구동기구는, 상기 펌프실로 연이어 통하는 벨로우즈부와, 이 벨로우즈부를 신축시키는 볼나사기구와, 이 볼나사기구의 나사축을 회전시키는 벨트기구구비하는도포장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 흡입구 및 상기 토출구는 함께 대기압 분위기있는도포장치.
[청구항 8]
제 3 항에 있어서,상기 흡입구, 상기 토출구, 상기 벤트는, 어느 것이든 대기압 분위기있는도포장치.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 재치대는, 유지한 기판을 스핀회전시키는 스핀척인도포장치.
[청구항 10]
제 1 항에 있어서,필터의 상류측에서의 액압과 하류측에서의 액압과의 차이를 검출하는 압력차검출장치를 더욱 구비하며,제어기는 압력차검출장치로부터의 검출신호에 기초하여펌프구동기구제어하는것을특징으로 하는도포장치.
[청구항 11]
제 1 항에 있어서,상기 필터는, 평균직경 0.05㎛ 이하의 미세구멍을 가지는 다공성 또는 섬유상 필터엘리멘트가지는도포장치.
[청구항 12]
제 1 항에 있어서,도포액이 도포액 공급원으로부터 펌프실로 이동할 때까지 도포액 내에 겔발생하는도포장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
도포장치의 펌프구동기구는 어떠한 구성요소들로 이루어져 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation도포장치의 구성요소 중 '펌프구동기구'를 이루는 세부 구성요소들을 찾는 것이 과제이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 펌프구동기구에 대한 구체적인 구성 설명이 포함되어 있다.
- 상기 펌프구동기구는, 상기 펌프실로 연이어 통하는 벨로우즈부와, 이 벨로우즈부를 신축시키는 볼나사기구와, 이 볼나사기구의 나사축을 회전시키는 벨트기구구비하는도포장치.
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3근거 선택
evidence_selection펌프구동기구의 구성요소인 벨로우즈부, 볼나사기구, 벨트기구를 직접적으로 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 펌프구동기구는, 상기 펌프실로 연이어 통하는 벨로우즈부와, 이 벨로우즈부를 신축시키는 볼나사기구와, 이 볼나사기구의 나사축을 회전시키는 벨트기구구비하는도포장치.
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4논리 통합
logical_integration추출된 세 가지 구성요소(벨로우즈부, 볼나사기구, 벨트기구)가 펌프구동기구의 하위 구성임을 확인한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 펌프구동기구의 구성요소들을 리스트 형태로 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 리스트 형식으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
벨로우즈부, 볼나사기구, 벨트기구
핵심 해석 (core_interpretation)
도포장치의 펌프구동기구는 벨로우즈부, 볼나사기구, 벨트기구의 조합을 통해 펌프실의 작동을 제어하는 구조를 가진다.