문맥 (context)
[청구항1]
공기압에 의해 신축이 가능하도록 형성된 벨로우즈, 상기 벨로우즈의 내부를 신축방향으로 관통하며, 상기 벨로우즈를 지지하는 구동축 및 상기 벨로우즈의 일단부와 상기 구동축의 일단부를 각각 고정시키는 실플레이트를 구비하여 이루어지는 반도체 제조설비용 진공밸브에 있어서,
상기 구동축의 일단부에 수나사를 형성하고, 상기 실플레이트의 일측에 돌출된 수나사를 형성하며, 상기 구동축의 수나사와 나사결합되고 상기 실플레이트의 수나사와 나사결합되어 상기 구동축을 상기 실플레이트에 고정시키는 고정너트를 상기 구동축과 상기 실플레이트의 연결부에 설치하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 진공밸브
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 실플레이트는,상기 실플레이트의 밑면에 오링이 삽입되고, 오링이 삽입되는 오링홈과 상기 오링 사이의 틈새공기가 진공형성시 외부로 배출되는 것이 용이하도록 상기 오링이 삽입되는 오링홈의 일측에 상기 틈새공기를 배출시키는개방홈형성되는것특징으로 하는상기 반도체 제조설비용 진공밸브.
[청구항3]
제 1 항에 있어서,상기 고정너트는,상기 고정너트를 체결 및 분해하는 것이 용이하도록 상기 고정너트의 상면에 상기 고정너트를 체결 및 분해하는 너트체결도구의 돌출부와 결합되는너트홈형성되는것특징으로 하는상기 반도체 제조설비용 진공밸브.
[청구항4]
제 3 항에 있어서,상기 너트체결도구는,상기 구동축이 관통되는 관형상이며 상측에 손잡이가 형성되고, 하측에 상기 너트홈과 결합되는 좌·우돌출부형성되는것을특징으로 하는상기 반도체 제조설비용 진공밸브.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 제조설비용 진공밸브에서 구동축을 실플레이트에 고정시키는 구성요소는 무엇이며, 해당 구성요소는 구동축 및 실플레이트와 어떠한 방식으로 결합되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation구동축을 실플레이트에 고정하는 구성요소와 그 결합 메커니즘을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 구동축, 실플레이트, 고정너트 및 각각의 수나사 형성 정보를 추출한다.
- 상기 구동축의 일단부에 수나사를 형성하고
- 상기 실플레이트의 일측에 돌출된 수나사를 형성하며
- 고정너트를 상기 구동축과 상기 실플레이트의 연결부에 설치하는 것
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3근거 선택
evidence_selection고정 방식과 관련된 '나사결합' 및 '고정' 문구를 선택한다.
- 상기 구동축의 수나사와 나사결합되고 상기 실플레이트의 수나사와 나사결합되어 상기 구동축을 상기 실플레이트에 고정시키는 고정너트
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4논리 통합
logical_integration고정너트가 구동축의 수나사와 실플레이트의 수나사 양측에 모두 나사결합됨으로써 두 부품을 고정한다는 논리를 구성한다.
- 상기 구동축의 수나사와 나사결합되고 상기 실플레이트의 수나사와 나사결합되어 상기 구동축을 상기 실플레이트에 고정시키는 고정너트
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5결론 도출
conclusion_formulation고정하는 구성요소는 고정너트이며, 결합 방식은 양측 수나사와 나사결합되는 방식임을 도출한다.
- 상기 구동축의 수나사와 나사결합되고 상기 실플레이트의 수나사와 나사결합되어 상기 구동축을 상기 실플레이트에 고정시키는 고정너트
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
구동축을 실플레이트에 고정시키는 구성요소는 고정너트이다. 고정너트는 구동축의 일단부에 형성된 수나사와 나사결합되고, 동시에 실플레이트의 일측에 돌출된 수나사와도 나사결합됨으로써 구동축을 실플레이트에 고정시킨다.
핵심 해석 (core_interpretation)
고정너트가 구동축과 실플레이트 각각의 수나사와 나사결합을 통해 두 구성요소를 연결 및 고정하는 구조이다.