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반도체 제조동안 실리콘 웨이퍼의 금속 오염을 감소시키는 방법 document_id 1019980010420

출원번호
1019980010420
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 10] 제 9항에 있어서,착물 형성제가 edta 및 디퀘스트를 포함하는 착물 형성제의 군중 하나로부터 선택됨을특징으로하는변형된sc 1 세척 용액. [청구항 11] 제 9항에 있어서,착물 형성제가 nh4oh 및 o3의 농도에 따라 0.05 ㎎/l 내지 0.10㎎/l 범위의 edta 농도로 구성됨을특징으로하는변형된sc 1 세척 용액. [청구항 12] 제 11항에 있어서,4 중량%의 nh4oh 및 5 중량%의 o3의 sc 1 원래 용액에 대하여 edta의농도특징으로하는변형된sc 1 세척 용액. [청구항 13] 제 11항에 있어서,004중량%의 nh4oh 및 0.003 중량%의 o3의 sc 1 희석 용액에 대하여 edta의농도특징으로하는변형된sc 1 세척 용액. [청구항 14] 제 9항에 있어서,착물 형성제가 nh4oh 및 o3의 농도에 따라 0.10㎎/l 내지 0.30㎎/l 범위의 디퀘스트 농도로 구성됨을특징으로하는변형된sc 1 세척 용액. [청구항 15] 제 14항에 있어서,4 중량%의 nh4oh 및 5 중량%의 o3의 sc 1 원래 용액에 대하여디퀘스트의농도특징으로하는변형된sc 1 세척 용액. [청구항 16] 제 14항에 있어서,004중량%의 nh4oh 및 0.003 중량%의 o3의 sc 1 희석 용액에 대하여디퀘스트의농도특징으로하는변형된sc 1 세척 용액. [청구항 17] 제 9항에 있어서,착물 형성제가 0.004중량% 내지 4 중량%의 nh4oh 농도 및 0.003중량% 내지 5중량%의 o3 농도에 대하여 0.05㎎/l 내지 0.10㎎/l 범위의 농도의 edta로 구성됨을특징으로하는변형된sc 1 세척 용액. [청구항 18] 제 9항에 있어서,착물 형성제가 0.004중량% 내지 4 중량% 범위의 nh4oh 농도 및 0.003중량% 내지 5중량% 범위의 o3 농도에 대하여 0.1㎎/l 내지 0.3㎎/l 농도의 디퀘스트로 구성됨을특징으로하는변형된sc 1 세척 용액.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
nh4oh 농도가 0.004중량% 내지 4중량%이고 o3 농도가 0.003중량% 내지 5중량%인 sc 1 희석 용액을 사용할 때, edta를 포함하는 변형된 sc 1 세척 용액의 edta 농도 범위는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    nh4oh 및 o3 농도 조건이 주어졌을 때, edta를 포함하는 변형된 sc 1 세척 용액의 edta 농도 범위를 찾는 것이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    질문에서 제시된 조건인 nh4oh 0.004중량% 내지 4중량% 및 o3 0.003중량% 내지 5중량% 범위를 확인한다.

    • 0.004중량% 내지 4 중량%의 nh4oh 농도 및 0.003중량% 내지 5중량%의 o3 농도에 대하여 0.05㎎/l 내지 0.10㎎/l 범위의 농도의 edta로 구성됨
  3. 3근거 선택evidence_selection

    해당 농도 범위 조건과 edta 농도 범위를 동시에 명시하고 있는 청구항 17을 선택한다.

    • 0.004중량% 내지 4 중량%의 nh4oh 농도 및 0.003중량% 내지 5중량%의 o3 농도에 대하여 0.05㎎/l 내지 0.10㎎/l 범위의 농도의 edta로 구성됨
  4. 4논리 통합logical_integration

    청구항 17에 따르면, 주어진 nh4oh 및 o3 농도 범위 조건 하에서 edta의 농도는 0.05㎎/l 내지 0.10㎎/l 범위로 구성된다.

    • 0.004중량% 내지 4 중량%의 nh4oh 농도 및 0.003중량% 내지 5중량%의 o3 농도에 대하여 0.05㎎/l 내지 0.10㎎/l 범위의 농도의 edta로 구성됨
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    edta의 농도 범위는 0.05㎎/l 내지 0.10㎎/l이다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 농도 범위를 최종 답변으로 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
0.05㎎/l 내지 0.10㎎/l의 edta 농도를 범위로 설정한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
특정 범위의 nh4oh 및 o3 농도를 가진 sc 1 세척 용액에 edta를 첨가하여 변형된 세척 용액을 제조할 때, edta의 적정 농도 범위를 규정한다.