세정·건조처리장치,기판의처리장치및기판의처리방법 document_id 1019980011635

[청구항 2] 제1항에 있어서,밀폐승강체의 측방에 피처리기판을 수평방향으로 이동시켜서 피처리기판을 지지수단과의 사이에서 인수인도하는반송수단설치한것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,반송수단은 피처리기판의 둘레 하부를 지지하는 지지부재와,지지부재의 양쪽에 배치되어 피처리기판의 둘레 측부를 지지하는 쓰러짐방지부재갖춘것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,건조실은 밀폐승강체의 하방에 위치하는 고정기체를 갖추고,상기 고정기체와 밀폐승강체의 사이에 실부재개재시킨것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,정조의 개구부에 세정실과 건조실을 차폐하는셔터설치한것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 밀폐승강체를 단면이 대략 u자 형상인석영제부재형성한것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,건조실은 밀폐승강체의 하방에 위치하는 고정기체를 갖추고,상기 고정기체 및 세정조를석영제부재형성한것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 8] 제6항에 있어서,상기 밀폐승강체의 바깥쪽 위치에 가열원을 배치함과 더불어, 이 가열원의 배면측에반사판배치한것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 건조실내에 건조가스를 공급하는건조가스 공급부설치한것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,건조실은 밀폐승강체의 하방에 위치하는 고정기체를 갖추고,건조가스 공급부는고정기체설치되어있는것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 건조가스 공급부는 건조실의 측방으로부터 상방을 향해 공급하도록고정기체설치되어있는것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 12] 제9항에 있어서,상기 건조실에건조가스의배출부설치한것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 13] 제9항에 있어서,상기 건조가스가불활성가스인것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 14] 제9항에 있어서,상기 건조가스가유기용제의증기가스또는불활성가스와유기용제의혼합가스인것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 15] 제1항에 있어서,밀폐승강체를 승강시키는 제1승강수단과, 상기 지지수단을 승강시키는 제2승강수단을 더욱이 구비하고,상기 제1승강수단과 제2승강수단을 각각 볼 나사기구로 형성함과 더불어, 공통의 가이드 레일상을 미끄러지며 움직일 수형성한것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 지지수단과 제2승강수단의 사이에, 밀체승강체에 설치된 투공내를 관통하는 로드를 연결하고,투공과 로드의 빈틈에 밀기성을 갖는 가요성 부재와 이 가요성 부재내에 봉입되는 기체로 이루어진실 기구개재시킨것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 17] 제15항에 있어서,상기 제1승강수단에 제2승강수단 및 지지수단의 상승이동을 규제하는스토퍼설치한것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 18] 제1항에 있어서,상기 지지수단은, 복수의 피처리기판을 적절한 간격을 두고 세워서 지지하는 한쌍의 하부 지지부재와, 이들 하부 지지부재의 상부 측방에 위치하는 한쌍의 상부 지지부재를 구비하고, 상기 하부 지지부재를 강성을 갖는 심재와, 이 심재의 표면에 설치되어 다른 종류의 세정액에 대해 내액성을 갖는 합성수지제 피복층으로 형성하고, 또한, 상기 하부 지지부재에 단면이 대략 v자 형상인 피처리기판 지지홈을 형성하며, 상기 상부 지지부재에는 단면이 대략 y자 형상인피처리기판경사방지용홈형성한것을특징으로 하는세정·건조처리장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 반송수단의 쓰러짐 방지부재는 제1지지부재와 대략 동일한 높이까지 하강 자재하게있는것을특징으로 하는기판의 처리장치. [청구항 21] 제19항에 있어서,상기 반송장치의 제1지지부재는 그 상면에 피처리기판의 둘레 하부를 끼워 넣는 홈을 갖추고, 쓰러짐 방지부재는 그 내면에 피처리기판의 둘레 측부를 끼워 넣는홈갖춘것을특징으로 하는기판의 처리장치. [청구항 22] 제19항에 있어서,상기 지지수단의 제2지지부재는 그 상면에 피처리기판의 둘레 하부를 끼워 넣는홈갖춘것을특징으로 하는기판의 처리장치. [청구항 23] 제19항에 있어서,상기 반송수단의 제1지지부재와 상기 쓰러짐 방지부재의 사이에 빈틈이 형성되고, 상기 반송수단을 처리조의 상방으로 이동시킨 상태에서 상기 지지수단의 제2지지부재를 승강시킨 때에, 그 빈틈을 통과하여제2지지부재승강하는것을특징으로 하는기판의 처리장치. [청구항 24] 제19항에 있어서,상기 반송수단의 제1지지부재를 복수의 부재로 구성하여, 그들 부재끼리의 사이에 빈틈을 형성하고, 상기 반송수단을 처리조의 상방으로 이동시킨 상태에서 상기 지지수단의 제2지지부재를 승강시킨 때에, 그 빈틈을 통과하여제2지지부재승강하는것을특징으로 하는기판의 처리장치. [청구항 25] 제19항에 있어서,상기 반송수단의 쓰러짐 방지부재는 기판의 둘레 측부로부터 떨어지는방향하강하는것을특징으로 하는기판의 처리장치.