문맥 (context)
[청구항 1]
웨이퍼의 표면에 피착된 보호필름을 제거하는 반도체 웨이퍼의 보호필름 제거장치에 있어서,
기대의 내부를 가로질러 이동 가능하게 배치된 왕복 이동수단
상기의 웨이퍼가 이송되어 장착되는 웨이퍼 장착수단
상기의 웨이퍼 장착수단에 장착된 상기의 웨이퍼의 표면에 피착된 보호필름의 일단부를 파지하는 박리수단; 및
상기의 보호필름의 일단부를 파지한 박리수단을 상하로 연동시키고, 상기의 왕복 이동수단에 의하여 수평으로 왕복 이동되는 승강수단을 구비하여 상기의 보호필름의 일단부를 파지한 박리수단을 상기의 승강수단에 의해 상승시키고, 상기의 왕복 이동수단에 의해 수평으로 이동시켜 상기의 보호필름을 상기의 웨이퍼로부터 제거하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 보호필름 제거장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기의 왕복 이동수단은 기대의 양측벽에 회동 가능하게 축 지지된 리드 스크류; 및 상기의 리드 스크류를 정역 회전시키는모터구비한것을특징으로 하는반도체 웨이퍼의 보호필름 제거장치.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,상기의 박리수단은 액츄에이터;블래킷에 일체로 부착된 고정 핑거; 및상기의 액츄에이터에 의해 연동되는 가동 핑거를 구비하여 상기의 가동핑거 및 고정핑거에 의해 상기의 웨이퍼의 표면에 피착된 보호필름의 일단부를파지하는것을특징으로 하는반도체 웨이퍼의 보호필름 제거장치.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,상기의 승강수단은 리드 스크류에 삽입되어 상기의 리드 스크류의 회전에 의해 이동되는 너트부를 보유하는 유체 실린더;상기의 박리수단을 하측에 현수시키는 블래킷이 하단에 부착된피스톤 로드구비한것을특징으로 하는반도체 웨이퍼의 보호필름 제거장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기의 박리된 보호필름을 일정 장소에 수집하여 두는필름수거부더구비한것을특징으로 하는반도체 웨이퍼의 보호필름 제거장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기의 보호필름이 피착된 웨이퍼에 자외선을 조사하여 그 사이의 접착력을 감쇠시켜 주기 위한자외선 조사부더구비한것을특징으로 하는반도체 웨이퍼의 보호필름 제거장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기의 보호필름은 상기의 웨이퍼의 직경 보다 큰직경가진것을특징으로 하는반도체 웨이퍼의 보호필름 제거장치.
[청구항 8]
제 1항에 있어서,상기의 보호필름은 웨이퍼와 동일한직경가진것을특징으로 하는반도체 웨이퍼의 보호필름 제거장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 웨이퍼의 보호필름을 제거하기 위해 박리수단을 상승시키고 수평으로 이동시키는 과정에서, 승강수단과 왕복 이동수단은 각각 어떠한 방식으로 연동되어 작동하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation박리수단을 상승시키고 수평 이동시키는 과정에서 승강수단과 왕복 이동수단이 어떻게 연동되는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 승강수단은 박리수단을 상하로 연동시키고, 왕복 이동수단에 의해 수평으로 왕복 이동된다는 점을 추출한다.
- 상기의 보호필름의 일단부를 파지한 박리수단을 상하로 연동시키고, 상기의 왕복 이동수단에 의하여 수평으로 왕복 이동되는 승강수단
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3근거 선택
evidence_selection승강수단이 왕복 이동수단에 의해 수평 이동된다는 구절과 박리수단을 상하로 연동시킨다는 구절을 선택한다.
- 상기의 보호필름의 일단부를 파지한 박리수단을 상하로 연동시키고, 상기의 왕복 이동수단에 의하여 수평으로 왕복 이동되는 승강수단
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4논리 통합
logical_integration승강수단은 박리수단의 상하 운동을 담당하며, 동시에 왕복 이동수단에 결합되어 수평 방향의 왕복 운동을 함께 수행한다.
- 상기의 보호필름의 일단부를 파지한 박리수단을 상하로 연동시키고, 상기의 왕복 이동수단에 의하여 수평으로 왕복 이동되는 승강수단
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5결론 도출
conclusion_formulation승강수단은 박리수단을 상하로 연동시키는 동시에, 왕복 이동수단에 의해 수평으로 왕복 이동됨으로써 두 수단이 연동된다.
- 상기의 보호필름의 일단부를 파지한 박리수단을 상하로 연동시키고, 상기의 왕복 이동수단에 의하여 수평으로 왕복 이동되는 승강수단
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 승강수단이 박리수단을 상하로 연동시키면서 왕복 이동수단에 의해 수평으로 왕복 이동된다는 내용을 바탕으로 답변을 작성한다.
- 상기의 보호필름의 일단부를 파지한 박리수단을 상하로 연동시키고, 상기의 왕복 이동수단에 의하여 수평으로 왕복 이동되는 승강수단
최종 답변 (final_answer)
승강수단은 박리수단을 상하로 연동시키는 역할을 수행함과 동시에, 왕복 이동수단에 의하여 수평 방향으로 왕복 이동됨으로써 두 수단이 연동되어 작동한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
박리수단의 상하 운동(승강)과 수평 운동(왕복)을 승강수단이 통합적으로 수행하며, 이를 왕복 이동수단과 연동하여 보호필름을 제거하는 메커니즘을 나타낸다.