문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 반응용기의 양단부가 개방되어 있으며, 상기 양단부 또는 그들 근방에 상기 반응용기의 상기 중앙부보다 두께가 얇은박육부각각형성한것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 반응용기의 단면이 편평하고, 상기 반응용기가 제1방향에 있어서 서로 대향하는 제1 및 제2벽면과 상기 제1방향과 대략 수직한 제2방향에 있어서 서로 대향하는 제3 및 제4벽면을 구비하고, 상기 제1 및 제2벽면의 면적이 상기 제3 및 제4벽면의 면적보다 크고, 상기 제1 및 제2벽면의 상기 일단부 또는 그 근방에상기박육부형성한것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 4]
제2항에 있어서,상기 반응용기의 단면이 편평하고, 상기 반응용기가 제1방향에 있어서 서로 대향하는 제1 및 제2벽면과 상기 제1방향과 대략 수직한 제2방향에 있어서 서로 대향하는 제3 및 제4벽면을 구비하고, 상기 제1 및 제2벽면의 면적이 상기 제3 및 제4벽면의 면적보다 크고, 상기 제1 및 제2 벽면의 상기 양단부 또는 그들 근방에상기박육부각각형성한것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 5]
제3항에 있어서,상기제1 및 제2벽면의 두께가 상기 제3 및 제4벽면의 두께보다 큰 것특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 6]
제4항에 있어서,상기제1 및 제2벽면의 두께가 상기 제3 및 제4 벽면의 두께보다 큰 것특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 반응용기가 상기 일단부에 플랜지를 구비하고,상기박육부를상기플랜지의내측형성한것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 8]
제2항에 있어서,상기 반응용기가 상기 양단부에 플랜지를 각각 구비하고,상기박육부를상기플랜지의내측각각형성한것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 반응용기가 중앙의 통체 및 상기 일단의 플랜지를 구비하고, 상기 통체가 상기 일단측에 있어서 상기 통체의 중앙부보다 얇은 단부를 가지며, 상기 플랜지가 상기 통체의 중앙부보다 얇은 플랜지 접속부를 가지고,상기통체의상기단부와상기플랜지접속부용접되어있는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 10]
제2항에 있어서,상기 반응용기가 중앙의 통체 및 상기 양단의 플랜지를 구비하고, 상기 통체가 상기 양단측에 있어서 상기 통체의 중앙부보다 얇은 단부를 각각 가지며, 상기 양단의 상기 플랜지가 상기 하우징체의 중앙부보다 얇은 플랜지 접속부를 각각 가지고,상기통체의상기단부와상기플랜지접속부각각용접되어있는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 11]
제7항에 있어서,상기 기판처리장치가 상기 반응용기의 상기 일단의 상기 플랜지와 접속된 반응용기 접속부재를 추가로 구비하고, 상기 플랜지와 상기 반응용기 접속부재 사이에는수지또는고무제의기밀유지부재배설되어있는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 12]
제8항에 있어서,상기 기판처리장치가 상기 반응용기의 상기 양단의 상기 플랜지와 각각 접속된 반응용기 접속부재를 추가로 구비하고, 상기 양단의 상기 플랜지와 상기 반응용기 접속부재 사이에는수지또는고무제기밀유지부재각각배설되어있는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 13]
제7항에 있어서,상기 반응용기가 상기 박육부의 외측에 있어서 오목부를 가지며, 상기 기판처리장치가 상기 반응용기의 상기 중앙부 외측에 배설된 가열수단과, 상기 오목부내에 배설된단열재를추가구비한것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 14]
제8항에 있어서,상기 반응용기가 상기 박육부의 각각의 외측에 있어서 각각 오목부를 가지며, 상기 기판처리장치가 상기 반응용기의 상기 중앙부 외측에 배설된 가열수단과, 상기 오목부내에 각각 배설된단열재를추가구비한것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 20]
제19항에 있어서,상기 기밀 유지 부재가,수지고무인것을특징으로 하는기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리장치의 반응용기가 중앙의 통체와 양단의 플랜지를 구비할 경우, 통체의 단부와 플랜지의 접속부는 각각 어떤 구조를 가지며 이들은 어떻게 결합되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation반응용기가 중앙 통체와 양단 플랜지로 구성될 때, 통체 단부와 플랜지 접속부의 구조 및 결합 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 10에서 통체의 단부와 플랜지의 접속부에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 통체가 상기 양단측에 있어서 상기 통체의 중앙부보다 얇은 단부를 각각 가지며, 상기 양단의 상기 플랜지가 상기 하우징체의 중앙부보다 얇은 플랜지 접속부를 각각 가지고,상기통체의상기단부와상기플랜지접속부각각용접되어있는
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3근거 선택
evidence_selection통체 단부와 플랜지 접속부의 구조(중앙부보다 얇음)와 결합 방식(용접)을 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 통체의 중앙부보다 얇은 단부를 각각 가지며, 상기 양단의 상기 플랜지가 상기 하우징체의 중앙부보다 얇은 플랜지 접속부를 각각 가지고,상기통체의상기단부와상기플랜지접속부각각용접되어있는
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4논리 통합
logical_integration통체의 단부와 플랜지의 접속부는 모두 중앙부보다 얇은 구조를 가지며, 이 두 부분은 각각 용접을 통해 결합된다.
- 상기 통체의 중앙부보다 얇은 단부를 각각 가지며, 상기 양단의 상기 플랜지가 상기 하우징체의 중앙부보다 얇은 플랜지 접속부를 각각 가지고,상기통체의상기단부와상기플랜지접속부각각용접되어있는
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대해 구조적 특징과 결합 방식을 포함하여 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
반응용기의 통체 단부는 통체의 중앙부보다 얇은 구조를 가지며, 양단의 플랜지는 하우징체의 중앙부보다 얇은 플랜지 접속부를 각각 가진다. 이들은 각각 용접을 통해 결합된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
반응용기의 통체 단부와 플랜지 접속부를 중앙부보다 얇게 설계하고 이를 용접으로 결합하는 구조적 특징을 나타낸다.