수송 모듈 document_id 1019980022242

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,셸은 꼭대기와 밑바닥을 가지고 있어, 상기 꼭대기와 밑바닥 중의 하나가 중심의 지지 구조물을 받는 크기로 된 구멍을 가지며, 그 중심의 지지 구조물은 상기의 구멍을 통해 수송 모듈 안조립하는수송 모듈. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 구멍이 셸의 밑바닥 측에 있고 셸은 제 1의 교합부재를 포함하고 중심의 지지 구조물은 장비 교합 부를 포함하는 완전체의 장비 접촉면을 가지고 있으며, 장비 교합 부는 상기 제 1의 교합부재와 협력하는 완전체의 제 2의 교합부재를 가지고 있어 그에 의해 중심의 지지 구조물을 상기 셸 내고정되는수송 모듈. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,중심의 지지 구조물은 셸 교합 부를 가지고 있으며 셸은 협력하는 지지 구조물 교합 부를 가지고 있어 그에 의해 상기 셸과 지지 구조물 교합 부가 서로에 관한 회전에 의해 상호 교합하여 맞물리게 됨으로써 상기 중심의 지지 구조물을 상기 셸고정시키는수송 모듈. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,모듈로부터 상향으로 연장하며 중심의 지지 구조물과 직접 교합되는 로벗식 들어 올림 플랜지더 함유하는,수송 모듈. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,중심의 지지 구조물이 꼭대기와 밑바닥의 아래 구멍 인접에서 셸교합하는수송 모듈. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,셸에 회전가능하게 교합할 수 있고 뗄 수 있으며 셸의 우측 및 좌측으로부터 연장하는 한쌍의 핸들더 함유하는,수송 모듈. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,핸들의 그 쌍이 상기 측벽을 통한 어떤 구멍을 활용함이 없이 셸교합하는수송 모듈. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,꼭대기 구멍은 또한 사실상 원형이며, 셸과 중심의 지지 구조물의 꼭대기 부의 사이를 밀봉하기 위해 그 구멍에 제 1의 일래스토머 실더 함유하는,수송 모듈. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,밑바닥 구멍은 사실상 원형이며, 셸과 중심의 지지 구조물의 하부의 사이를 밀봉하기 위해 그 밑바닥 구멍에 제 2의 일래스토머 실더 함유하는,수송 모듈. [청구항 12] 제 9 항에 있어서,모듈의 내부에 한쌍의 웨이퍼 지주를 더 함유하고, 상기 웨이퍼 지주는 중심의 지지 구조물완전체인수송 모듈. [청구항 13] 제 9 항에 있어서,링을 더 함유하여 셸과 꼭대기 부가 상기 o링밀봉되는,수송 모듈. [청구항 14] 제 9 항에 있어서,중심의 지지 구조물의 하부와 셸이회전가능하게함께 고정되는수송 모듈. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,의 교합 구조와 각기 협력하는 제 2의 교합 구조가 멈춤쇠를 함유하여 그에 의하여 상기 제 1의 교합 구조와 상기 제 2의 교합 구조가 슬라이드가능하게 교합할 수함께잠글수있는수송 모듈. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,의 교합 구조는 제 1의 교합 구조에 관하여 회전의 방향에 슬라이드가능하게교합할수있는수송 모듈. [청구항 18] 제 16 항에 있어서,의 교합 구조는 제 1의 교합 구조에 관하여 사실상 직선의 방향에 슬라이드가능하게교합할수있는수송 모듈. [청구항 19] 제 15 항에 있어서,의 교합 구조의 각각은 각기의 좌 및 우 측벽의 각각에 내향연장의 리세스함유하는수송 모듈. [청구항 22] 제 21 항에 있어서,셸은 하 구멍을 더 함유하며 중심의 지지 구조물은 상기 하 구멍에 하향으로 드러난장비교합부를더 함유하는수송 모듈. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,셸은 상기 하 구멍에서 중심의 지지 구조물고정되는수송 모듈. [청구항 24] 제 23 항에 있어서,장비 교합 부는 웨이퍼 지지물의 기둥완전체인수송 모듈. [청구항 26] 제 25 항에 있어서,컨테이너 부는 투명의 셸로 이루어져 하 구멍이 있는 밑바닥을 가지고 있고, 장비 접촉면은 그 하 구멍에서 셸고정되는합성의 수송 모듈. [청구항 27] 제 26 항에 있어서,셸의 꼭대기는 구멍을 가지고 있으며 수송 모듈은, 그 구멍 안으로 연장하며 웨이퍼 지주와 완전체인,꼭대기부를더 함유하는합성의 수송 모듈. [청구항 28] 제 27 항에 있어서,꼭대기 부와 상기 구멍의 셸과의 사이에 교합되는 일래스토머 실더 함유하는,합성의 수송 모듈. [청구항 29] 제 27 항에 있어서,꼭대기 부와 접속관계에 있는 로벗식 들어 올림 플랜지를 더 함유하고, 그 들어 올림 플랜지는 셸 위로연장하는,합성의 수송 모듈. [청구항 30] 제 26 항에 있어서,셸은 하 구멍의 주변에 제 1의 교합 부를 가지고 있고, 중심의 지지 구조물은 협력하는 제 2의 교합 부를 가지고 있고, 제 1의 교합 부는 제 2의 교합 부와 회전가능하게 교합되어 그에 의해 중심의 지지 구조물이 셸고정되는합성의 수송 모듈. [청구항 31] 제 30 항에 있어서,중심의 지지 구조물을 셸에 밀봉하는 하 구멍 둘레의 원형의 일래스토머 실더 함유하는,컨테이너. [청구항 32] 제 26 항에 있어서,웨이퍼 지주와 장비 접촉면은 하 구멍에서 셸 내조립하는컨테이너.