잠그는도어가있는운송모듈 document_id 1019980023585

[청구항 2] 제 1항에 있어서,도어는 웨이퍼를 결합과 감금을 위해 도어에 장착된 웨이퍼 리테이터를 더 포함하는 것을특징으로하는잠그는도어가 있는 운송모듈. [청구항 3] 제 2항에 있어서,캠 부재는, 웨이퍼 결합 캠 가이드(440)를 더 포함하며, 웨이퍼 리테이너는 움직일수 있도록 도어에 장착되고, 콘테이너 부의 내측 개방으로부터 앞쪽으로 움직일 수 있고 그리고 그로부터 멀어질 수 있으며, 운동 전환링크(476)는 웨이퍼 리테이너와 웨이퍼 결합 캡 가이드 사이에서 연장하며, 상기 운동 전환 링크는 캠 부재의 회전이 웨이퍼 리테이너의 바깥쪽으로 연장하도륵 형성된 것을 더 포함하는 것을특징으로하는잠그는도어가 있는 운송모듈. [청구항 4] 제 1항에 있어서,안쪽과 바깥쪽으로 움직일 수 있는 웨이퍼 결합 암(112)과,이 웨이퍼 결합암에 연결된 작동기암(120)을 포함하는 웨이퍼 결합 메카니즘(102)을 더 포함하며, 상기 작동기 암은 웨이퍼 결합 캠 가이드에 결합하는 캠 접속자(196)를 갖고 있으므로, 캠 부재가 회전하는 경우, 작동기 암은 웨이퍼의 모서리 부를 맞물리도록 바깥쪽으로 웨이퍼 결합 암을 연장하게 되어 , 상기 웨이퍼를 유지하는 것을특징으로하는잠그는도어가 있는 운송모듈. [청구항 5] 제 1항에 있어서,도어가 있는 능동 웨이퍼 유지 메카니즘(102)을 더 포함하는 것을특징으로하는잠그는도어가 있는 운송모듈. [청구항 6] 제 1항에 있어서,도어를 가진 능동 웨이퍼 유지 수단을 더 포함하며, 상기 유지 수단은 캠부재와 결합된 것을특징으로하는잠그는도어가 있는 운송모듈. [청구항 8] 제 7항에 있어서,도어는 웨이퍼를 결합해서 감금하기 위해 도어에 장착된 웨이퍼 리테이너를 더 포함하는 것을특징으로하는잠그는도어가 있는 운송모듈. [청구항 9] 제 8항에 있어서,캠 부재는, 웨이퍼 결합 캠 가이드(440)를 더 포함하며, 웨이퍼 리테이너는 도어에 움직일 수 있게 장착되어 리테이너 부분의 개방된 내부 쪽으로 그리고 그로부터 멀리 이동할 수 있으며, 운동 전환 링크(476)는 상기 웨이퍼 리테이너와 웨이퍼 결합 캠 가이드 사이로 연장되며, 또한, 운동 전환 링크는 캠 부재가 웨이퍼 리테이너의 외부로 연장하도록 형성된 것을특징으로하는잠그는도어가 있는 운송모듈. [청구항 10] 제 7항에 있어서,외부와 내부로 움직일 수 있는 웨이퍼 결합 암(112)과 이 웨이퍼 결합 암에 연결된 작동기 암(120)을 포함하며, 상기 작동기 암은 웨이퍼 결합 캠 가이드와 결합하는 캠 접속자를 갖게 됨으로서, 캠 부재가 회전하는 경우에, 작동기 암은 웨이퍼의 모서리 부분을 맞물리도록 바깥쪽으로 웨이퍼 결합 암을 연장 하게 함으로써 상기 웨이퍼를 보지하는 것을특징으로하는잠그는도어가 있는 운송모듈. [청구항 11] 제 9항에 있어서,도어를 가진 능동 웨이퍼 유지 기기를 더 포함하는 것을특징으로하는잠그는도어가 있는 운송모듈. [청구항 12] 제 9항에 있어서,도어를 가진 웨이퍼 유지 수단(102)을 더 포함하며, 유지수단은 캠 부재와 결합된 것을특징으로하는잠그는도어가 있는 운송모듈. [청구항 15] 제 14항에 있어서,도어는 웨이퍼를 결합하여 감금하기 위해 도어에 장착된 웨이퍼 리테이너(470)를 더 포함하는 것을특징으로하는잠그는도어가 있는 운송모듈. [청구항 16] 제 15항에 있어서,캠 부재는 웨이퍼 결합 캠 가이드(440)를 더 포함하며, 웨이퍼 리테이너는 도어에 이동할 수 있도록 장착되어 콘테이너부의 개방된 내부의 도어 쪽으로 그리고 이로부터 떨어지게 이동할 수 있으며, 운동 전환 링크(476)는 웨이퍼 리테이너와 웨이퍼 결합 캠 가이드의 사이로 연장되어 있으며 , 운동 전환 링크는 캠 부재의 회전이 웨이퍼 리테이너를 바깥쪽으로 연장하도록 구성된 것을특징으로하는잠그는도어가 있는 운송모듈. [청구항 17] 제 14항에 있어서,내부와 외부로 이동 가능한 웨이퍼 결합 암(112)과 이 웨이퍼 결합 암과 연결되어 있는 작동기암(120)을 포함하는 웨이퍼 결합 메카니즘(102)을 더 포함하며, 상기 작동기암은 웨이퍼 결합 캠 가이드와 결합되는 캠 접속자를 가지고 있어서, 캠부재가 회전하게 되면, 작동기 암은 웨이퍼의 모서리부분을 맞물리기 위해 웨이퍼 결합 암을 바깥쪽으로 연장하게 되어 상기 웨이피를 유지하는 것을특징으로하는잠그는도어가 있는 운송모듈. [청구항 18] 제 14항에 있어서,도어를 가진 능동 웨이퍼 유지 수단(102)을 더 포함하는 것을특징으로하는잠그는도어가 있는 운송모듈. [청구항 19] 제 14항에 있어서,도어를 가진 웨이퍼 유지수단(102)을 더 포함하며, 상기 유지 수단은 캠 부재와 결합하는 것을특징으로하는잠그는도어가 있는 운송모듈. [청구항 21] 제 20항에 있어서,상기 도어는 콘테이너 부의 개방 전방(40)에 크기가 맞는 외측 장착부(295)를 더 포함하며,이 장착부분은 도어가 콘테이너 부분을 폐쇄하도록 위치되는 경우 잠금 리셉터클과 일치되게 배열된 개구부(299)를 갖으며,개방된 내부를 포함하며;개방된 내부에 형성되어 도어의 외부로부터 부분적으로 회전가능하며 제 1 및 제 2 캠 가이드를 가지는 캠 부재를 포함하며;잠금 링크는 제 1 캠 가이드에 결합된 캠 접속자(366)를 더 포함하며, 제 1 캠 가이드는 제 1방향으로 외측 장착부의 개구부를 통해 잠금 리셉터클에 연장하도록 구성되어 있으며;리프팅 링크는 제 2 캠 가이드에 결합된 캠 접속자(382)를 가지는 캠 끝단(381)을 더 포함하며, 제 2캠 가이드는 리프팅 링크를 잠금 링크에 대하여 제 1방향으로 이동시키도록구성된것을특징으로 하는웨이퍼 운송 모듈. [청구항 22] 제 20항에 있어서,도어는 웨이퍼를 결합하여 구속하기 위해 도어에 장착된웨이퍼리테이너더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 운송 모듈. [청구항 23] 제 20항에 있어서,도어는능동웨이퍼구속메카니즘더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 운송 모듈. [청구항 24] 제 20항에 있어서,경사면은 리프팅 링크와 잠금링크중하나와일체있는것을특징으로 하는웨이퍼 운송 모듈.