문맥 (context)
[청구항1]
스퍼터링공정이 수행될 웨이퍼가 대기하는 트랜스퍼챔버
상기 트랜스퍼챔버와 인접하게 설치된 디개스챔버
상기 트랜스퍼챔버와 인접하게 설치된 스퍼터링챔버
상기 트랜스퍼챔버와 인접하게 설치된 rtp챔버; 및
상기 트랜스퍼챔버 내부에 설치되며, 상기 웨이퍼를 이송시키는 웨이퍼이송용 로봇아암
을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조용 스퍼터링설비
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 트랜스퍼챔버와 인접하여 상기 웨이퍼가 투입되는 제 1 로드락챔버 및 상기 웨이퍼가 방출되는 제 2 로드락챔버더구비되어있는것을특징으로 하는상기 반도체장치 제조용 스퍼터링설비.
[청구항3]
제 1 항에 있어서,상기 스퍼터링챔버에 아르곤(ar)가스 및 질소(n2)가스 공급수단으로서아르곤가스공급라인및질소가스공급라인연결되어있는것을특징으로 하는상기 반도체장치 제조용 스퍼터링설비.
[청구항4]
제 1 항에 있어서,상기rtp챔버에 질소(n2)가스 또는 아르곤(ar)가스 공급수단으로서질소가스공급라인또는아르곤가스공급라인연결되어있는것을특징으로 하는상기 반도체장치 제조용 스퍼터링설비.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체장치 제조용 스퍼터링설비에서 트랜스퍼챔버를 중심으로 인접하게 설치된 챔버들의 종류는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation트랜스퍼챔버와 인접한 챔버들의 구성을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 트랜스퍼챔버와 인접하게 설치된 구성 요소들을 추출한다.
- 상기 트랜스퍼챔버와 인접하게 설치된 디개스챔버
- 상기 트랜스퍼챔버와 인접하게 설치된 스퍼터링챔버
- 상기 트랜스퍼챔버와 인접하게 설치된 rtp챔버
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3근거 선택
evidence_selection트랜스퍼챔버와 '인접' 관계에 있는 챔버 명칭만을 선별한다.
- 디개스챔버
- 스퍼터링챔버
- rtp챔버
-
4논리 통합
logical_integration추출된 세 가지 챔버가 트랜스퍼챔버를 중심으로 인접 배치되어 있음을 확인한다.
- 상기 트랜스퍼챔버와 인접하게 설치된 디개스챔버
- 상기 트랜스퍼챔버와 인접하게 설치된 스퍼터링챔버
- 상기 트랜스퍼챔버와 인접하게 설치된 rtp챔버
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5결론 도출
conclusion_formulation인접한 챔버는 디개스챔버, 스퍼터링챔버, rtp챔버이다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 답변으로 세 가지 챔버를 나열한다.
최종 답변 (final_answer)
디개스챔버, 스퍼터링챔버, rtp챔버이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
트랜스퍼챔버를 중심으로 디개스챔버, 스퍼터링챔버, rtp챔버가 인접하게 배치되어 있는 구조이다.