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진공처리장치 document_id 1019980038471

출원번호
1019980038471
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 하우징에 형성되고 배기 통로와 상부 배기관을 접속하는배기구멍포함하는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,배기 구멍은 탑재대에 대하여 대칭인2곳설치되는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 분류 수단은 처리실로부터 다공 부재의 통기 구멍을 통하여 흐르는가스를4방향분류하는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 분류 수단은 상부 배기관과 연통하는 배기 통로의 연통 부분에 배치되고 또한 다공 부재의 곡률을 따라 연장하는 2개의 배플판으로 이루어지고, 각 배플판은 그 양단부에배기부형성하고있는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상부 배기관이2개인것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,하부 배기관은 처리실의 하부에 설치되고 또한 탑재대상의 대상물을 가열하기 위한 가열 장치로부터 떨어진 위치에서하측연장하고있는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,샤워 헤드는 본체와, 본체에 대하여 승강 가능하고 또한 처리 가스 분출용의 복수의 구멍을 갖는다공선반으로이루어지는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,본체에 대하여 다공선반을 승강시킴으로써, 다공선반과 탑재대 사이의 거리를 변화시키는승강기구포함하는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 승강 기구는 샤워 헤드의 본체를 관통하도록 연장하여 다공선반을 지지하는 복수의 샤프트와, 이들 복수의 샤프트를 승강시키는구동기구로이루어지는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,샤프트와 샤워 헤드의 본체 사이에는간극설치되어있는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,샤프트와 샤워 헤드의 본체 사이에 설치되고, 처리실을 외부에 대하여 밀봉하는밀봉수단포함하는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 13] 제 10 항에 있어서,다공선반이샤프트착탈가능한것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 승강 기구는 샤워 헤드의 본체를 관통하도록 연장하고 다공선반을 지지하는 복수의 샤프트와, 이들 복수의 샤프트를 승강시키는구동기구로이루어지는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,샤프트와 샤워 헤드의 본체 사이에는간극설치되는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,샤프트와 샤워 헤드의 본체 사이에 설치되고 처리실을 외부에 대하여 밀봉하는밀봉수단포함하는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 18] 제 15 항에 있어서,다공선반이샤프트착탈가능한것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 19] 제 14 항에 있어서,처리실을 형성하는 하우징에 설치되고 탑재대의 외측에서 이것을 둘러싸도록 연장하는 배기 통로와, 탑재대의 주위에 형성되고 배기 통로와 처리실을 접속하는 배기구와, 배기 통로와 처리실을 구획하도록 배기구에 설치하고 배기 통로와 처리실을 연통시키는 복수의 통기 구멍을 갖는 다공 부재와, 처리실로부터 다공 부재의 통기 구멍을 통하여 흐르는 가스를 복수의 방향으로 분류하여 배기 통로에 흐르게 하는 분류 수단과, 처리실의 상측에서 연장하여 배기 통로와 연통하는 복수의 상부 배기관과, 처리실의 하측을 향하여 연장하여 상부 배기관의 모두와 접속하는1개의하부배기관포함하는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,상기 하우징에 형성되고 배기 통로와 상부 배기관을 접속하는배기구멍포함하는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 21] 제 20 항에 있어서,배기 구멍은 탑재대에 대하여 대칭인2곳설치되는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 22] 제 19 항에 있어서,상기 분류 수단은 처리실로부터 다공 부재의 통기 구멍을 통하여 흐르는가스를4방향분류하는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,상기 분류 수단은 상부 배기관과 연통하는 배기 통로의 연통 부분에 배치되고 또한 다공 부재의 곡률을 따라 연장하는 2개의 배플판으로 이루어지며, 각 배플판은 그 양단부에배기부형성하고있는것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 24] 제 19 항에 있어서,상부 배기관이2개인것을특징으로 하는진공 처리 장치. [청구항 25] 제 19 항에 있어서,하부 배기관은 처리실의 하부에 설치되고 또한 탑재대상의 대상물을 가열하기 위한 가열 장치로부터 떨어진 위치에서하측연장하고있는것을특징으로 하는진공 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
진공 처리 장치에서 샤워 헤드의 다공선반과 탑재대 사이의 거리를 변화시키기 위해 사용되는 승강 기구는 어떠한 구성 요소로 이루어져 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    진공 처리 장치 내에서 샤워 헤드의 다공선반과 탑재대 사이의 거리를 조절하는 '승강 기구'의 구성 요소를 찾는 것이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 9에서 승강 기구의 목적(다공선반과 탑재대 사이의 거리 변화)을 확인하고, 청구항 10에서 승강 기구의 구성을 추출한다.

    • 본체에 대하여 다공선반을 승강시킴으로써, 다공선반과 탑재대 사이의 거리를 변화시키는승강기구포함하는것을특징으로 하는진공 처리 장치
    • 상기 승강 기구는 샤워 헤드의 본체를 관통하도록 연장하여 다공선반을 지지하는 복수의 샤프트와, 이들 복수의 샤프트를 승강시키는구동기구로이루어지는것을특징으로 하는진공 처리 장치
  3. 3근거 선택evidence_selection

    승강 기구의 구체적인 구성 요소가 명시된 청구항 10의 내용을 선택한다.

    • 상기 승강 기구는 샤워 헤드의 본체를 관통하도록 연장하여 다공선반을 지지하는 복수의 샤프트와, 이들 복수의 샤프트를 승강시키는구동기구로이루어지는것을특징으로 하는진공 처리 장치
  4. 4논리 통합logical_integration

    승강 기구는 '복수의 샤프트'와 '구동기구'라는 두 가지 핵심 요소로 구성됨을 파악한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    추출된 구성 요소를 바탕으로 승강 기구의 구성을 정리한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대해 리스트 형식으로 최종 답변을 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
샤워 헤드의 본체를 관통하도록 연장하여 다공선반을 지지하는 복수의 샤프트, 이들 복수의 샤프트를 승강시키는 구동기구로 이루어져 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 샤워 헤드의 본체를 관통하는 샤프트와 이를 움직이는 구동기구를 통해 다공선반의 높낮이를 조절함으로써, 탑재대와의 거리를 제어할 수 있는 승강 기구 구조를 제공한다.