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바이폴라 트랜지스터 및 그 제조방법 document_id 1019980039248

출원번호
1019980039248
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 7] 반도체기판 상의 매몰층과 제 1 및 제 2도전형 에피택셜층 을 분리시키는 소자분리막 상기 제 1도전형 에피택셜층내 에 형성되어 있는 진성 베이스영역 상기 소자분리막과 제 1도전형 에피택셜층의 소정 접합부분 및 상기 소자분리막과 제 2도전형 에피택셜층의 소정 접합부분 상에 형성되어 있는 절연막패턴 상기 절연막패턴 상에 형성되어 있는 제 1 및 제 2도전형 도전막패턴 상기 절연막패턴과 제 1도전형 도전막패턴 양측, 상기 절연막패턴과 제 2도전형 도전막패턴 양측에 각각 형성되어 있는 제 1,2,3,4측벽스페이서 상기 제 1 및 제 2측벽스페이서 하부의 상기 진성 베이스영역내에 각각 형성되어 있는 에미터영역 및 외인성 베이스영역; 및 상기 제 3 및 제 4측벽스페이서 하부의 상기 제 2도전형 에피택셜층내에 각각 형성되어 있는 에미터영역 및 콜렉터영역으로 이루어진 것을 특징으로 하는 바이폴라 트랜지스터 [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 제 1도전형 에피택셜층이 n형 또는 p형일 때,상기제2도전형에피택셜층인것을특징으로 하는 바이폴라 트랜지스터. [청구항 9] 제 7 항에 있어서,상기 제 1도전형 도전막패턴은 n+형 폴리실리콘막으로 형성되며, 상기 제 2도전형 도전막패턴은 p+형폴리실리콘막형성된것을특징으로 하는 바이폴라 트랜지스터.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 7에 따른 바이폴라 트랜지스터에서 제 1 및 제 2측벽스페이서 하부의 진성 베이스영역 내에 형성되는 영역들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    청구항 7을 바탕으로 제 1 및 제 2측벽스페이서 하부의 진성 베이스영역 내에 형성되는 영역들을 찾아내는 것이 과제이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 7에서 제 1 및 제 2측벽스페이서 하부와 진성 베이스영역이 언급된 구절을 추출한다.

    • 상기 제 1 및 제 2측벽스페이서 하부의 상기 진성 베이스영역내에 각각 형성되어 있는 에미터영역 및 외인성 베이스영역
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에서 요구하는 위치(제 1 및 제 2측벽스페이서 하부의 진성 베이스영역 내)에 해당하는 직접적인 근거를 선택한다.

    • 상기 제 1 및 제 2측벽스페이서 하부의 상기 진성 베이스영역내에 각각 형성되어 있는 에미터영역 및 외인성 베이스영역
  4. 4논리 통합logical_integration

    추출된 근거를 통해 해당 위치에 형성되는 영역이 에미터영역과 외인성 베이스영역임을 확인한다.

    • 상기 제 1 및 제 2측벽스페이서 하부의 상기 진성 베이스영역내에 각각 형성되어 있는 에미터영역 및 외인성 베이스영역
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에 대한 답변으로 에미터영역과 외인성 베이스영역을 도출한다.

    • 상기 제 1 및 제 2측벽스페이서 하부의 상기 진성 베이스영역내에 각각 형성되어 있는 에미터영역 및 외인성 베이스영역
  6. 6답변 생성answer_generation

    list 형식에 맞춰 최종 답변을 작성한다.

    • 상기 제 1 및 제 2측벽스페이서 하부의 상기 진성 베이스영역내에 각각 형성되어 있는 에미터영역 및 외인성 베이스영역
최종 답변 (final_answer)
에미터영역, 외인성 베이스영역
핵심 해석 (core_interpretation)
바이폴라 트랜지스터의 진성 베이스영역 내에서 제 1 및 제 2측벽스페이서 하부에 형성되는 구체적인 영역(에미터영역 및 외인성 베이스영역)의 구성을 정의하고 있다.