문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 전기기기는 기판을 가열하기 위한히터구비하고있는것을특징으로 하는기판 처리장치.
[청구항 3]
청구항 1에 있어서,상기 전기기기는 기판을 냉각하기 위한쿨러구비하고있는것을특징으로 하는기판 처리장치.
[청구항 4]
청구항 1에 있어서,상기 전기기기는 처리될 기판의 주위에 청정공기를 공급하기 위한공조기구구비하는것을특징으로 하는기판 처리장치.
[청구항 5]
청구항 1에 있어서,상기 전기기기는 기판을 처리하는 처리액의 온도를 조정하기 위한온조기구구비하고있는것을특징으로 하는기판 처리장치.
[청구항 6]
청구항 1에 있어서,상기 제어부는 상기 복수의 전기기기의 사용순서에 관한 순서 데이터를 기초로 하여 각 전기기기로의급전순위결정하는것을특징으로 하는기판 처리장치.
[청구항 7]
청구항 1에 있어서,상기 전기기기를 1개씩갖는 복수의 처리유니트를 구비하고 있고, 이들 복수의 처리유니트 중 적어도 2개는 기판을 가열하기 위한가열기구더구비하는것을특징으로 하는기판 처리장치.
[청구항 8]
청구항 7에 있어서,상기 제어부는 상기 가열기구의 사용순서에 따라 각가열기구급전하는것을특징으로 하는기판 처리장치.
[청구항 10]
청구항 9에 있어서,상기 규제수단은 상기 배전회로의 각 스위치에 대해 온의 규제를 시간적으로 겹쳐지지 않게 하면서해제나가는것을특징으로 하는기판 처리장치.
[청구항 11]
청구항 9에 있어서,상기 규제수단은 상기 열처리 기구의 사용순서에 따라 상기 배전회로의 각 스위치에 대해온의규제해제하는것을특징으로 하는처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 처리장치에서 제어부가 복수의 전기기기로의 급전 순위를 결정할 때 기초로 하는 데이터는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판 처리장치의 제어부가 복수의 전기기기에 대한 급전 순위를 결정할 때 사용하는 기초 데이터를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 제어부의 기능과 급전 순위 결정에 관한 내용을 추출한다.
- 상기 제어부는 상기 복수의 전기기기의 사용순서에 관한 순서 데이터를 기초로 하여 각 전기기기로의급전순위결정하는것을특징으로 하는기판 처리장치
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3근거 선택
evidence_selection급전 순위 결정의 근거가 되는 '순서 데이터'를 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 복수의 전기기기의 사용순서에 관한 순서 데이터
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4논리 통합
logical_integration제어부가 급전 순위를 결정하기 위해 '복수의 전기기기의 사용순서에 관한 순서 데이터'를 기초로 한다는 인과관계를 확인한다.
- 상기 복수의 전기기기의 사용순서에 관한 순서 데이터를 기초로 하여 각 전기기기로의급전순위결정
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '복수의 전기기기의 사용순서에 관한 순서 데이터'를 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 데이터를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
복수의 전기기기의 사용순서에 관한 순서 데이터
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 처리장치의 제어부가 전기기기들에 전력을 공급하는 순위를 정할 때, 미리 정의된 전기기기들의 사용 순서 데이터를 활용하여 급전 순위를 결정하는 기술적 특징을 나타낸다.