문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 바깥 둘레가장자리부의 바깥쪽인 상기 가스도입구의 상부에 버퍼실더욱 구비한가스 처리장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 정류면부의 안둘레측이, 바깥쪽에서 안쪽을 향하여 동심원상이고 연속적으로 형성된;대략 구면형상의 오목부,상기 오목부의 안쪽에 형성된 대략 도너츠형상으로 돌출한 볼록부, 및,상기 볼록부의 안쪽에 형성되어 상기 배기구에 연결되는 대략 원추형의오목부로 이루어지는가스 처리장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 바깥 둘레가장자리부가, 상기 밀폐용기내의 공간을 상기 재치부에 재치된 기판의 피처리면과 대향하는 원주형의 공간과, 이 공간의 바깥쪽에 형성되는 버퍼실로 구획하는 막음판이며,상기 정류면부의 안둘레측이, 바깥쪽에서 안쪽을 향하여 동심원상이고 연속적으로 형성된;대략 평면형상의 최외부,상기 최외부의 안쪽에 형성된 대략 원추형 돌출부의 측면을 형성하는 경사부,상기 경사부의 안쪽에 형성된 대략 도너츠형상으로 돌출한 볼록부, 및,상기 볼록부의 안쪽에 형성되어 상기 배기구에 연결되는 대략 원추형의오목부로 이루어지는가스 처리장치.
[청구항 5]
제 2 항에 있어서,상기 정류면부의 안둘레측이 대략 구면형상의 오목부형성하는가스 처리장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 정류면부의 안둘레측이 상기 배기구를 정점으로 하는 원추형의 오목부형성하는가스 처리장치.
[청구항 7]
제 2 항에 있어서,상기 바깥 둘레가장자리부가 원주측면형상의 간막이부를 형성하고, 상기 정류면부의 안둘레측이 상기 버퍼실의 꼭대기부평면인가스 처리장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 정류면부의 안둘레측이, 바깥쪽에서 안쪽을 향하여 동심원상이고 연속적으로 형성된;대략 구면형상의 오목부,상기 오목부의 안쪽에 형성된 대략 도너츠형상으로 돌출한 볼록부, 및,상기 볼록부의 안쪽에 형성되어 상기 배기구에 연결되는 대략 원추형의오목부로 이루어지는가스 처리장치.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 가스도입구가, 상기 밀폐용기의 둘레방향을 따라 슬릿형상형성되어 있는가스 처리장치.
[청구항 10]
제 1 항에 있어서,상기 밀폐용기는, 상기 재치부가 설치된 제 1 부재와, 상기 정류면부가 설치되고상기제1부재자유로운제 2 부재로 이루어지는가스 처리장치.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 가스도입로는, 상기 제 1 부재설치된가스 처리장치.
[청구항 12]
제 1 항에 있어서,상기 기판이, 성막 성분의 출발물질의 입자 또는 콜로이드를 용매에 분산시킨 도포액이 도포되어 도포막이 형성된 것이며, 상기 밀폐용기내에서 행하여지는 처리는, 상기 입자 또는 콜로이드의 겔화를 촉진하기 위한 가스를 이용한처리인가스 처리장치.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 가스는 알카리성가스인가스 처리장치.
[청구항 15]
제 14 항에 있어서,상기 밀폐용기가 상기 기판을 재치하여 가열하기 위한 가열판을 구비하고 있으며, 상기 가스분산실이 상기 가열판 속형성되어 있는가스 처리장치.
[청구항 17]
제 14 항에 있어서,상기 용매 성분의 증기는, 에틸렌글리콜인가스 처리장치.
[청구항 18]
제 14 항에 있어서,겔화를 촉진하기 위한 알카리성가스를 밀폐용기내에 공급하는 수단더욱 구비하는가스 처리장치.
[청구항 19]
제 16 항에 있어서,겔화를 촉진하기 위한 알카리성가스를 밀폐용기내에 공급하는 수단더욱 구비하는가스 처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 2항과 3항을 참조할 때, 가스 처리장치의 정류면부 안둘레측을 구성하는 요소들을 바깥쪽에서 안쪽 방향 순서대로 나열하는 것은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 2항과 3항을 바탕으로 가스 처리장치의 정류면부 안둘레측을 구성하는 요소들을 바깥쪽에서 안쪽 방향 순서대로 추출하는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3항에서 정류면부의 안둘레측 구성 요소와 그 배치 순서(바깥쪽에서 안쪽)를 확인한다.
- 상기 정류면부의 안둘레측이, 바깥쪽에서 안쪽을 향하여 동심원상이고 연속적으로 형성된;대략 구면형상의 오목부,상기 오목부의 안쪽에 형성된 대략 도너츠형상으로 돌출한 볼록부, 및,상기 볼록부의 안쪽에 형성되어 상기 배기구에 연결되는 대략 원추형의오목부
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3근거 선택
evidence_selection순서대로 나열된 세 가지 구성 요소인 '대략 구면형상의 오목부', '대략 도너츠형상으로 돌출한 볼록부', '대략 원추형의 오목부'를 선택한다.
- 대략 구면형상의 오목부,상기 오목부의 안쪽에 형성된 대략 도너츠형상으로 돌출한 볼록부, 및,상기 볼록부의 안쪽에 형성되어 상기 배기구에 연결되는 대략 원추형의오목부
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4논리 통합
logical_integration청구항 3항의 기술 내용에 따라 바깥쪽에서 안쪽으로의 순서는 오목부 -> 볼록부 -> 원추형 오목부 순임을 확인한다.
- 바깥쪽에서 안쪽을 향하여 동심원상이고 연속적으로 형성된
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5결론 도출
conclusion_formulation추출된 요소들을 질문에서 요구한 리스트 형식으로 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 구성 요소의 순서대로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
대략 구면형상의 오목부, 대략 도너츠형상으로 돌출한 볼록부, 대략 원추형의 오목부
핵심 해석 (core_interpretation)
가스 처리장치의 정류면부 안둘레측은 바깥쪽에서 안쪽 방향으로 오목부, 볼록부, 원추형 오목부가 동심원상으로 연속적으로 배치된 구조를 가진다.