이온주입시스템에의해처리된가공물의냉각시스템및방법 document_id 1019980706330

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 가공물 및 냉각표면간 틈새를 한정지어, 냉각표면 및 가공물 사이의 열전달이 주로 전도에 의한 것임을 보장할 수 있도록, 상기 챔버 내부의 압력을 조절하는 압력조절기를 추가로 포함하여구성된것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 진공수단이 상기 가공물 후방에부분진공가하는것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 냉각표면내에 형성되며, 상기 냉각표면과 접한 가공물의 실질적 후방 일부에 작용하여 냉각 균일성 및 속도를 향상시키기 위한 상기 진공수단과 연통상태의 다수 진공부여 개구부를 추가로 포함하여구성된것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 냉각표면 및 가공물이, 상호 접촉시, 양자간에 0.1∼5 마이크론 범위내의 틈새를 한정특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 냉각표면 및 가공물이, 상기 틈새를 한정짓는표면조도각각갖는것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 내부챔버가 약 35torr∼약 760torr범위내의압력갖는것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 진공수단이, 상기 가공물 아래 틈새내에, 해당 가공물을 냉각표면쪽으로 끌어당기는 약 20torr∼약 745torr범위내의틈새압력생성시키는것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 챔버압력 및 틈새압력간 압력차가 약 15torr∼약 660torr 범위내가 되도록, 이들 두 압력을 변화시키기 위한 수단을 추가로 포함하여구성된것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 10] 제7항에 있어서,상기 챔버압력이 약 120torr∼약 760torr범위내인것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 11] 제8항에 있어서,상기 틈새압력이 약 70torr∼약 760torr범위내인것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 12] 제9항에 있어서,상기 압력차가 약 50torr∼약 660torr범위내인것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 13] 제8항에 있어서,상기 틈새가, 상기 챔버압력 및 틈새압력중 하나의 함수인 그 크기를 갖되, 상기 가공물 및 냉각표면간 전도 열전달을 허용하기에 충분한 0.1마이크론∼5마이크론크기인것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 냉각표면이 5㎛이하의표면조도갖는것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 15] 제1항에 있어서,상기 챔버가 선택된 압력을 지니며, 상기 진공수단이 상기 가공물 및 냉각표면간의 상호 근접시 그 틈새내에 압력을 생성시키며, 해당 틈새가 약 0.1마이크론∼약 5마이크론 범위일 때, 상기 챔버압력 및 틈새압력중 하나를 변화시켜 양자간 전도성 열전달을 최적화하기 위한 수단을 추가로 포함하여구성된것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 16] 제2항에 있어서,상기 압력조절기가 상기 챔버를 약 35torr∼약 760torr 범위내의 선택된압력상태로하는것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 17] 제1항에 있어서,상기 냉각표면을 거쳐 냉각유체를 순환시키기 위한 수단을 추가로 포함하여구성된것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 18] 제1항에 있어서,상기 냉각표면이 냉각유체를 순환시킬 정도의 크기로서 냉각유체소스와 연결된유체도관포함하는것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 19] 제2항에 있어서,상기 압력조절기가상기진공수단과연결작동시상기냉각속도및냉각효율중하나증가시키는것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 20] 제1항에 있어서,상기 진공수단이 상기 가공물 후방에의 압력부여를 위해 상기 냉각표면내에 형성된유체망포함하는것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 유체망이, 상호간 및 진공소스와 연결된다수의횡단유체홈포함하는것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 22] 제1항에 있어서,상기 냉각표면이 기계식 승강장치 통과를 위한다수의개구부포함하는것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 기계식 승강장치가 지지봉과, 상기 챔버내 해당 지지봉 위치를 조절하기 위한수단포함하는것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 24] 제23항에 있어서,상기 조절수단이, 상기 지지봉에 그 일단이 장착된 나사형성 리드스크류와, 해당 리드스크류 주위에 동심원상으로 배치된베어링포함하는것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 25] 제22항에 있어서,상기 기계식 승강장치를 자동제어하기 위한 제어기를 추가로 포함하여구성된것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 26] 제1항에 있어서,상기 챔버내 압력과, 상기 진공수단에 의해 상기 가공물에 가해지는 압력을 자동제어하기 위한 제어기를 추가로 포함하여구성된것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 27] 제1항에 있어서,통상 가공물 전방측에 대해 근접 평행으로 향하는 냉각유체 흐름을 제공함으로써 해당 가공물을 복사 냉각시키기 위한 수단을 추가로 포함하여구성된것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 28] 제1항에 있어서,통상 가공물 전방측을 가로지르는 유체 흐름을 제공함으로써 해당 가공물을 복사 냉각시키기 위한 수단을 추가로 포함하여구성된것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 29] 제1항에 있어서,통상 가공물 전방측에 대해 직각인 유체 흐름을 제공함으로써 해당 가공물을 복사 냉각시키기 위한 수단을 추가로 포함하여구성된것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 30] 제29항에 있어서,상기 가공물을 배치함에 있어서, 상기 냉각유체의 흐름이 가공물 중심부에 대해 직각이 되도록 해당 가공물을 배치하기 위한 수단을 추가로 포함하여구성된것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 31] 제1항에 있어서,상기 하우징이 이온주입시스템의 로드록이며, 상기 냉각표면이해당로드록챔버바닥인것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 32] 제1항에 있어서,상기 진공수단이, 상기 냉각표면내에 형성된 다수의 진공 개구부와, 상기 가공물에 진공을 부여하기 위한 해당 개구부에 연결된진공소스포함하는것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 33] 제1항에 있어서,상기 챔버를 진공보다 상당히 높은 압력상태로 두기 위한 수단을 추가로 포함하여구성된것을특징으로 하는가공물 냉각장치. [청구항 62] 제34항에 있어서,상기 챔버가 선택된 압력을 지니며, 상기 진공수단이 상기 가공물 및 냉각표면간의 상호 근접시 그 틈새내에 압력을 생성시키며, 해당 틈새가 약 0.1마이크론∼약 5마이크론 범위일 때, 상기 챔버압력 및 틈새압력중 하나를 변화시켜 양자간 전도성 열전달을 최적화하기 위한 수단을 추가로 포함하여구성된것을특징으로 하는가공물 냉각장치.