문맥 (context)
[청구항1]
웨이퍼의 표면에 막을 형성시키는 화학기상 증착시스템의 웨이퍼 로딩장치에 있어서,
상면, 하면 그리고 외주면을 갖고, 상기 외주면에는 하면으로부터 루프 형태의 홈이 형성된 서셉터와
상기 서셉터의 하면 중앙 부위에 위치하고, 상기 서셉터에 열을 전달하기 위한 제 1 히터와
상기 서셉터의 상기 홈에 위치하고, 상기 서셉터에 열을 전달하기 위한 제 2 히터 및
상기 서셉터의 상면으로부터 하면 방향으로 일정 깊이로 형성되고, 상기 웨이퍼가 로딩되는 포켓을 포함하여, 상기 웨이퍼가 균일한 열을 공급받을 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착시스템의 웨이퍼 로딩장치
[청구항2]
제 1 항에 있어서,셉터는 상기 제 2 히터가 상기 홈의 내측에 위치되도록 상기 외주면의 에지로부터 하부로 연장되어 형성되는 날개를 포함하여, 공정 진행중에 상기 제 2 히터가 파손되지하는것을특징으로 하는화학기상 증착시스템의 웨이퍼 로딩장치.
[청구항3]
제 1 항에 있어서,셉터는 상기 제 1 히터가 배치되는 면이 평탄하게 형성되어, 상기 서셉터의잠열증가되는것을특징으로 하는화학기상 증착시스템의 웨이퍼 로딩장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
서셉터의 날개 구조가 제 2 히터의 파손을 방지하기 위해 어떠한 방식으로 구성되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation서셉터의 날개 구조와 제 2 히터 보호 사이의 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction서셉터의 구성 요소인 날개와 제 2 히터의 위치 정보를 추출한다.
- 상기 외주면에는 하면으로부터 루프 형태의 홈이 형성된 서셉터
- 상기 서셉터의 상기 홈에 위치하고, 상기 서셉터에 열을 전달하기 위한 제 2 히터
- 셉터는 상기 제 2 히터가 상기 홈의 내측에 위치되도록 상기 외주면의 에지로부터 하부로 연장되어 형성되는 날개를 포함
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3근거 선택
evidence_selection제 2 히터의 보호와 관련된 날개의 구체적 형태와 위치 관계를 선택한다.
- 제 2 히터가 상기 홈의 내측에 위치되도록 상기 외주면의 에지로부터 하부로 연장되어 형성되는 날개
- 공정 진행중에 상기 제 2 히터가 파손되지하는것
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4논리 통합
logical_integration날개가 에지로부터 하부로 연장되어 홈의 내측에 제 2 히터를 위치시킴으로써 보호 효과가 발생함을 연결한다.
- 제 2 히터가 상기 홈의 내측에 위치되도록 상기 외주면의 에지로부터 하부로 연장되어 형성되는 날개
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5결론 도출
conclusion_formulation날개가 에지로부터 하부로 연장되어 제 2 히터를 홈 내측에 위치시킴으로써 파손을 방지한다는 결론을 도출한다.
- 공정 진행중에 상기 제 2 히터가 파손되지하는것
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
- 제 2 히터가 상기 홈의 내측에 위치되도록 상기 외주면의 에지로부터 하부로 연장되어 형성되는 날개
최종 답변 (final_answer)
서셉터의 날개가 외주면의 에지로부터 하부로 연장되어 형성됨으로써, 홈의 내측에 제 2 히터가 위치하도록 구성되어 공정 진행 중 제 2 히터가 파손되는 것을 방지한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
서셉터의 날개 구조가 제 2 히터를 홈 내측에 배치하여 물리적 보호 역할을 수행함.