문맥 (context)
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 복수의 안테나는서로직렬접속또는병렬접속되어있는것을특징으로 하는고주파 방전 장치.
[청구항 8]
제 6 항에 있어서,상기 하나의 안테나의 접지측 또는 복수의 안테나 사이에 각각 접속되고, 용량의 변화에 의해 상기 안테나상에서의 고주파 전압 분포를 변화시키기 위해적어도하나의콘덴서부가한것을특징으로 하는고주파 방전 장치.
[청구항 9]
제 6 항에 있어서,상기 안테나는 안테나 도체의 외부둘레측에절연피복실시되어있는것을특징으로 하는고주파 방전 장치.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 복수의 상기 안테나는서로직렬접속또는병렬접속된것을특징으로 하는고주파 처리장치.
[청구항 12]
제 10 항에 있어서,상기 안테나는 안테나 도체의 외부둘레측에절연피복실시되어있는것을특징으로 하는고주파 처리장치.
[청구항 13]
제 10 항에 있어서,상기 콘덴서는 용량이 가변이고, 이 용량을 변화시켜 상기 안테나상에서의고주파 전압분포변화시키는것을특징으로 하는고주파 처리장치.
[청구항 14]
제 10 항에 있어서,상기 절연피복에 의해 안테나 도체의 외부둘레측이 피복되어 있고, 또 이 절연 피복 내부에는 안테나 도체가 상기 절연 파괴에 대해 기울여설치되어있는것을특징으로 하는고주파 처리장치.
[청구항 15]
제 11 항에 있어서,상기 안테나 도체는 상기 피처리체측에 기울여설치되어있는것을특징으로 하는고주파 처리장치.
[청구항 16]
제 10 항에 있어서,상기 절연 피복은 그 직경이 상기 안테나 도체를 따르는 방향을 향해서 변화하도록설치되어있는것을특징으로 하는고주파 처리장치.
[청구항 17]
제 10 항에 있어서,상기 절연 피복nan은상기안테나도체의일부분설치되어있는것을특징으로 하는고주파 처리장치.
[청구항 18]
제 10 항에 있어서,상기 절연 피복은 상기 진공용기 중앙 부분에 대응하는 상기 안테나 도체의 부위를 피복하도록설치되어있는것을특징으로 하는고주파 처리장치.
[청구항 19]
제 10 항에 있어서,상기 절연 피복은 상기 진공용기의 내벽측을 향하는상기안테나도체설치되어있는것을특징으로 하는고주파 처리장치.
[청구항 20]
제 10 항에 있어서,상기 안테나 도체는적어도하나의만곡부갖는것을특징으로 하는고주파 처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
고주파 처리장치에서 콘덴서부가 용량을 변화시킴으로써 얻을 수 있는 효과는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation고주파 처리장치 내 콘덴서부의 용량 변화가 가져오는 기능적 효과를 추출하는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 13에서 콘덴서의 용량 가변성 및 용량 변화에 따른 효과를 언급한다.
- 상기 콘덴서는 용량이 가변이고, 이 용량을 변화시켜 상기 안테나상에서의고주파 전압분포변화시키는것을특징으로 하는고주파 처리장치
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3근거 선택
evidence_selection용량 변화를 통해 얻는 효과인 '안테나 상에서의 고주파 전압 분포 변화'를 근거로 선택한다.
- 이 용량을 변화시켜 상기 안테나상에서의고주파 전압분포변화시키는것을특징
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4논리 통합
logical_integration콘덴서의 용량을 변화시키면 그 결과로 안테나 상의 고주파 전압 분포가 변화한다는 인과관계를 확인한다.
- 이 용량을 변화시켜 상기 안테나상에서의 고주파 전압분포변화시키는것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 용량 변화를 통해 안테나 상의 고주파 전압 분포를 변화시킨다는 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 문구를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
상기 안테나상에서의 고주파 전압분포변화시키는것
핵심 해석 (core_interpretation)
고주파 처리장치에서 가변 콘덴서의 용량을 조절함으로써 안테나 상에 형성되는 고주파 전압의 분포를 제어할 수 있다.