문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 제 1보지부 및 제 2보지부의 보지홈은 좌우대칭인 위치에서상기기판형성된것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 3]
청구항 1에 있어서,상기 제 1보지부 및 제 2보지부의 측부보지부재는 상기 기판을 보지하는 한편, 상기 제 1보지부 및 제 2보지부의 하부보지부재는 상기 측부보지부재에 의해 보지되는 기판이 기우는 것을방지하는것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 4]
청구항 1에 있어서,상기 제 1보지부 및 제 2보지부의 측부보지부재의 보지홈은 단면이 거의 y자상으로 형성되는 한편, 상기 제 1보지부 및 제 2보지부의 하부보지부재의 보지홈은 단면이 거의 y자상형성되는것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 5]
청구항 1에 있어서,상기 제 1보지부 및 제 2보지부는 두 개의 다른 보지체에 설치되고, 상기 보지체 중 적어도 하나에는 상기 제 1보지부 및 제 2보지부를 상대적으로 승강시키는승강수단설치된것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 6]
청구항 1에 있어서,상기 제 1보지부 및 제 2보지부는 수평면상에서 방향변환이 가능하도록형성된것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 7]
청구항 1에 있어서,상기 기판간격보지수단은 수평 및 수직방향으로 이동가능하도록형성된것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 9]
청구항 8에 있어서,상기 제 2보지홈은 제 1보지홈이 연장되는 방향과 대향하여, 수평축과 떨어지는 방향으로 연장되도록 형성되고, 상기 제 4보지홈은 제 3보지홈이 연장되는 방향과 대향하여, 수평축과 떨어지는 방향으로 연장되도록형성되는것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 10]
청구항 9에 있어서,상기 기판을 반입 및 반출하는 기판 반입·반출부와,상기 기판에 소정의 처리를 행하는 기판처리부와,상기 기판을 기판처리부에 반송하는 기판반송수단을 더 포함하고, 상기 수평보지수단은 기판 반입·반출부로부터 기판을 수취함과 더불어, 상기 기판 반입·반출부로 인도하고,상기 수직보지수단은 기판반송수단으로부터 기판을 수취함과 더불어,상기기판처리부의기판반송수단인도하는것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 11]
청구항 9에 있어서,상기 제 1보지홈을 따라 형성되는 방향 중 하나는 제 1방향으로 형성되고, 상기 제 1방향과 대향하는 방향은 제 2방향으로 형성되며, 상기 제 1방향의 제 1 및 제 3보지홈의 측부는 제 2방향의 제 2 및 제 4보지홈과 대향하는 측에 배치되고, 그 사이에는수평축놓이는것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 12]
청구항 8에 있어서,상기 제 2보지홈은 수평축과 떨어지는 방향으로 연장됨과 더불어, 상기 제 1보지홈의 연장방향과 교차되도록 형성되고, 상기 제 4보지홈은 수평축과 떨어지는 방향으로 연장됨과 더불어, 상기 제 3보지홈의 연장방향과 교차되도록형성된것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 13]
청구항 12에 있어서,상기 기판을 반입 및 반출하는 기판 반입·반출부와,상기 기판에 소정의 처리를 행하는 기판처리부와,상기 기판을 기판처리부에 반송하는 기판반송수단을 더 포함하고, 상기 수평보지수단은 기판 반입·반출부로부터 기판을 수취함과 더불어, 상기 기판 반입·반출부로 인도하고,상기 수직보지수단은 기판반송수단으로부터 기판을 수취함과 더불어,상기기판처리부의기판반송수단인도하는것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 14]
청구항 8에 있어서,상기 자세변환수단은 상기 제 1보지체와 제 2보지체를 상대적으로 이동시키는 이동수단과, 상기 제 1보지체 및 제 2보지체를 수직방향으로 회전시키는회전수단더포함하는것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 15]
청구항 8에 있어서,상기 수평보지수단은 상기 자세변환수단에 대해 수평방향으로 상대적으로 이동가능하게형성된것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 16]
청구항 8에 있어서,상기 수평보지수단은 독립해서 상기 기판을 수평상태로 보지하는 다수의 보지부를구비한것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 17]
청구항 8에 있어서,상기 수직보지수단은 상기 자세변환수단에 대해 수평방향 및 수직방향으로 상대적으로 이동가능하게형성된것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 18]
청구항 8에 있어서,상기 수직보지수단은 상기 자세변환수단에 대해 수평방향 및 수직방향으로 상대적으로 이동가능함과 더불어, 수평방향으로 회전가능하게형성된것을특징으로 하는기판반송장치.
[청구항 19]
청구항 8에 있어서,상기 제 1보지체 및 제 2보지체의 제 1, 2, 3 및 4보지홈은 배기수단과 접속된배기공구비한것을특징으로 하는기판반송장치.
지시문 (instruction)
본문의 내용을 파악하고 이를 바탕으로 질문에 답하라.
질문 (question)
기판반송장치에서 제 1보지부 및 제 2보지부의 하부보지부재는 어떤 역할을 수행하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판반송장치 내 제 1보지부 및 제 2보지부의 하부보지부재가 수행하는 기능(역할)을 찾는 것이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 제 1보지부 및 제 2보지부의 하부보지부재에 관한 설명을 추출한다.
- 상기 제 1보지부 및 제 2보지부의 하부보지부재는 상기 측부보지부재에 의해 보지되는 기판이 기우는 것을 방지하는것
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 하부보지부재의 역할과 직접적으로 일치하는 구절을 선택한다.
- 상기 제 1보지부 및 제 2보지부의 하부보지부재는 상기 측부보지부재에 의해 보지되는 기판이 기우는 것을 방지하는것
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4논리 통합
logical_integration하부보지부재는 측부보지부재에 의해 지지되는 기판이 기울어지지 않도록 안정적으로 잡아주는 역할을 함을 확인한다.
- 상기 측부보지부재에 의해 보지되는 기판이 기우는 것을 방지하는것
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5결론 도출
conclusion_formulation추출된 근거를 바탕으로 하부보지부재의 역할을 정리한다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대해 문맥에 근거한 직접적인 답변을 생성한다.
- 상기 측부보지부재에 의해 보지되는 기판이 기우는 것을 방지하는것
최종 답변 (final_answer)
상기 측부보지부재에 의해 보지되는 기판이 기우는 것을 방지하는 것이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판을 보지할 때 측부보지부재와 하부보지부재를 함께 사용하여 기판이 기울어지는 것을 방지함으로써 기판의 안정적인 보지를 구현하는 기술이다.