문맥 (context)
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,정처리유니트에서는, 해당 기판에 세정액을 주입하면서 브러쉬로 해당 기판의 표면을 문질러, 해당 기판의 표면에서 이물질제거하는기판처리시스템.
[청구항 9]
제 7 항에 있어서,상기 기판반송장치는, 상기 제1, 제2, 제3아암을 수직축 둘레로 θ회전시키는 θ회전구동기구와, 상기 제1, 제2, 제3아암을 개별로 전진 또는 후퇴시키는 아암진퇴기구와, 상기 제l, 제2, 제3아암을 z축방향으로 이동시키는 z축구동기구와, 이 z축구동기구를 둘러쌓으며, 윗쪽 슬라이드커버의 직경이 아래쪽 슬라이드커버의 직경보다 크고, 서로 미끄럼동작이 가능하도록 조립된 복수의 슬라이드커버로 이루어진 커버 어셈블리구비하는기판처리시스템.
[청구항 10]
제 7 항에 있어서,상기 커버 어셈블리는, 동심으로 배치된 통형상의 복수의 슬라이드커버를 조합이루어진기판처리시스템.
[청구항 11]
제 7 항에 있어서,정처리유니트의 반입출구는, 상기 제1, 제2, 제3아암중의 2개가 출입할 수있는크기인기판처리시스템.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 커버 어셈블리는,상기 z축구동기구에 의한 승강동작에 추종하지 않고 정지된 상태로 있는 고정슬라이드커버부재와, 상기 z축구동기구에 의한 승강동작에 따라 상기 고정슬라이드커버에 대하여 미끄럼동작하는 제1가동슬라이드커버와,상기 z축구동기구에 의한 승강동작에 따라 상기 제1가동슬라이드커버에 대하여 미끄럼동작하는 제2가동슬라이드커버구비하는기판반송장치.
[청구항 14]
제 13 항에 있어서,상기z축구동기구는,상기 제1가동슬라이드커버를 상기 고정슬라이드커버에 대하여 승강이동시키는 제1볼스크류기구와,상기 제2가동슬라이드커버를 상기 제1가동슬라이드커버에 대하여 승강이동시키는 제2볼스크류기구구비하는기판반송장치.
[청구항 15]
제 14 항에 있어서,상기 제1볼스크류기구는,상기 고정슬라이드커버에 연결된 고정지지부재와,이 고정지지부재에 고정된 제1볼스크류와,이 제1볼스크류에 나사맞춤하는 제1너트와,이 제1너트에 감겨진 벨트와,이 벨트에 회전 구동력을 전달하는 공용모터를 구비하며,상기 제2볼스크류기구는,상기 제1가동슬라이드커버에 연결된 제1가동지지부재와,이 제1가동지지부재에 대하여 회전이 자유롭게 부착된 제2볼스크류와,상기 제2가동슬라이드커버에 연결된 제2가동지지부재와,상기 제2볼스크류에 나사맞춤하고, 또 상기 제2가동지지부재에 고정된 제2너트와,상기 제2볼스크류의 하부에 부착되고, 상기 벨트가 감겨진 풀리구비하는기판반송장치.
[청구항 16]
제 13 항에 있어서,상기z축구동기구는,상기 제1가동슬라이드커버를 상기 고정슬라이드커버에 대하여 승강이동시키는 제1래크/피니온기구와,상기 제2가동슬라이드커버를 상기 제1가동슬라이드커버에 대하여 승강이동시키는 제2래크/피니온기구구비하는기판반송장치.
[청구항 17]
제 16 항에 있어서,상기제1래크/피니온기구는,상기 고정슬라이드커버에 고정된 제1래크와,이 제1래크와 맞물리는 공용피니온과,이 공용피니온에 회전 구동력을 전달하는 공용모터를 구비하며,상기 제2래크/피니온기구는,상기 제2가동슬라이드커버에 연결된 제2가동지지부재와,이 제2가동지지부재에 부착되고, 상기 공용피니온과 맞물리는 제2래크구비하는기판반송장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판반송장치의 z축구동기구 중 제1볼스크류기구와 제2볼스크류기구는 각각 어떤 구성요소를 통해 슬라이드커버를 승강 이동시키는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretationz축구동기구의 제1볼스크류기구와 제2볼스크류기구가 각각 어떤 구성요소를 통해 슬라이드커버를 승강 이동시키는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 14에서 제1볼스크류기구는 제1가동슬라이드커버를 승강시키고, 제2볼스크류기구는 제2가동슬라이드커버를 승강시킨다는 점을 확인한다.
- 상기 제1가동슬라이드커버를 상기 고정슬라이드커버에 대하여 승강이동시키는 제1볼스크류기구와,상기 제2가동슬라이드커버를 상기 제1가동슬라이드커버에 대하여 승강이동시키는 제2볼스크류기구
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3근거 선택
evidence_selection각 기구의 세부 구성요소가 명시된 청구항 15의 내용을 추출한다.
- 상기 제1볼스크류기구는,상기 고정슬라이드커버에 연결된 고정지지부재와,이 고정지지부재에 고정된 제1볼스크류와,이 제1볼스크류에 나사맞춤하는 제1너트와,이 제1너트에 감겨진 벨트와,이 벨트에 회전 구동력을 전달하는 공용모터를 구비하며,상기 제2볼스크류기구는,상기 제1가동슬라이드커버에 연결된 제1가동지지부재와,이 제1가동지지부재에 대하여 회전이 자유롭게 부착된 제2볼스크류와,상기 제2가동슬라이드커버에 연결된 제2가동지지부재와,상기 제2볼스크류에 나사맞춤하고, 또 상기 제2가동지지부재에 고정된 제2너트와,상기 제2볼스크류의 하부에 부착되고, 상기 벨트가 감겨진 풀리구비하는
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4논리 통합
logical_integration제1볼스크류기구는 고정지지부재, 제1볼스크류, 제1너트, 벨트, 공용모터로 구성되어 제1가동슬라이드커버를 이동시키며, 제2볼스크류기구는 제1가동지지부재, 제2볼스크류, 제2가동지지부재, 제2너트, 풀리로 구성되어 제2가동슬라이드커버를 이동시킨다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 각 기구의 구성요소를 정리하여 답변을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation제1볼스크류기구와 제2볼스크류기구의 구성요소를 구분하여 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
제1볼스크류기구는 고정지지부재, 제1볼스크류, 제1너트, 벨트, 공용모터를 통해 제1가동슬라이드커버를 승강 이동시키고, 제2볼스크류기구는 제1가동지지부재, 제2볼스크류, 제2가동지지부재, 제2너트, 풀리를 통해 제2가동슬라이드커버를 승강 이동시킨다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판반송장치의 z축구동기구 내에서 볼스크류 기구들을 이용하여 다단 구조의 슬라이드커버(고정, 제1가동, 제2가동)를 단계적으로 승강 이동시키는 메커니즘을 기술하고 있다.