처리장치 및 처리방법 document_id 1019990009119

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 처리실은 레지스트가 도포되어 노광처리된 상기 기판을 가열처리하는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기 가습기구는 액을 저장하는 기밀한 탱크와, 상기 탱크내에 저장된 액의 액 상면에 기체를 공급하는 수단과, 상기 탱크의 액면상의 공간과 상기 처리실을 연결하는공급로구비한것을특징으로 하는처리장치. [청구항 4] 청구항 1에 있어서,상기 가습기구는 액을 저장하는 기밀한 탱크와, 상기 탱크내에 저장된 액의 액중에 기체를 공급하는 수단과, 상기 탱크의 액면상의 공간과 상기 처리실을 연결하는공급로구비한것을특징으로 하는처리장치. [청구항 5] 청구항 1에 있어서,상기 처리장치는 상기 처리실내에 배치되고, 상기 기판이 재치되는 재치대와, 상기 재치대에 설치된 가열기구와, 상기 재치대의 중심 상방에 배치되고, 상기 처리실내의 환경을 배기하는 배기부를 구비하고, 상기 가습기구는 상기 재치대의 주위에 배치되며, 상기 가습된 기체를 처리실내에 도입하는공급구구비한것을특징으로 하는처리장치. [청구항 6] 청구항 2에 있어서,상기 처리장치는 상기 기판 상에 레지스트를 도포하는 레지스트도포장치와, 상기 레지스트도포장치에 청정공기를 공급하는 청정공기 공급부를 구비하고, 상기 가습기구는 상기 청정공기 공급부에서 공급되는 청정공기를 가습된 공기로서상기처리실내공급하는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 7] 청구항 1에 있어서,상기 처리실에서 건조된 기체를 공급하기 위한 수단과, 상기 처리실에 상기의 가습된 기체 및 상기 건조된 기체 중 일방을 공급하도록 절환하는수단더구비한것을특징으로 하는처리장치. [청구항 9] 청구항 8에 있어서,처리실 내에 설치되고, 상기 기체공급로에서 공급되는 기체를 청정화하기 위한필터더구비한것을특징으로 하는처리장치. [청구항 10] 청구항 8에 있어서,상기 가습부는 히터에 의해 수분을 가열하여 증발시키는 증발기구를 구비하고, 상기 처리장치는 상기 가열부와 상기 가습부를 일체적으로 수용하는온도조절부구비한것을특징으로 하는처리장치. [청구항 11] 청구항 8에 있어서,상기 기체공급로 상의 상기 가열부 및 가습부보다 상측에 배치되고, 상기 기체를 냉각하기 위한냉각부더구비한것을특징으로 하는처리장치. [청구항 12] 청구항 11에 있어서,상기 냉각부는펠체소자구비한것을특징으로 하는처리장치. [청구항 13] 청구항 8에 있어서,상기 가열부는 상기 가습부보다 상기 기체공급로상의상측배치되는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 14] 청구항 8에 있어서,병렬접속된복수의상기송풍부갖는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 16] 청구항 15에 있어서,상기 제 1검출수단은 상기 검출결과를 아날로그 신호로 출력하고, 상기 처리장치는 상기 아날로그 신호를 디지탈 신호로 변환하며, 상기 디지탈 신호를 상기 제어부에 도입하는 아날로그·디지탈 변환부를구비한것을특징으로 하는처리장치. [청구항 18] 청구항 17에 있어서,상기 기판을 수용한 카세트가 반입되는 카세트 스테이션과, 상기 기판을 가열하는 가열수단과, 상기 카세트, 도포장치 및 가열장치와의 사이에서 기판을 반송하는 반송수단과, 상기 처리실마다 설치되고, 상기 환경용의 기체를 청정화해서 상기 각 처리실에 공급하는 복수의 필터부를 더 구비하고, 상기 처리실은 상기 카세트에서 꺼내어진 기판의 표면에 도포액을 도포하는 도포장치이고, 상기 각 환경조정부는상기필터부의상측설치된것을특징으로 하는처리장치. [청구항 19] 청구항 17에 있어서,상기 기체공급원은 상기 각 환경조정부에서 조정해야 하는 각 기체의 온도보다 낮은 온도가 되도록 환경용 기체의 온도를 제어하고, 상기 환경조정부는 상기 기체공급원에서 보내진 환경용의 기체를 가열하는가열부구비한것을특징으로 하는처리장치. [청구항 20] 청구항 17에 있어서,상기 환경조정부는 상기 환경용 기체를 가습하는 가습기를 갖고, 상기 기체공급원은 상기 각 환경조정부에서 조정해야 하는 각 기체의 절대습도보다 낮은 수분량을 간도록 환경용 기체의 함수량을 제어하는습도조정부갖는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 21] 청구항 17에 있어서,상기 복수의 처리실은 모두 동일한처리행하는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 22] 청구항 17에 있어서,상기 복수의 처리실 중 적어도 2개의 처리실은 다른처리행하는것을특징으로 하는처리장치.