문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 출력축은, 상기 가압기구보다 위쪽으로 뻗은 상부와, 이 상부에 부착된 종동맞물림부재와, 상기 가압기구보다 아래쪽으로 뻗어 상기 스크러브부에 연결된 하부를 가지며, 상기 회전구동기구는, 아래쪽으로 뻗은 회전구동축과, 이 회전구동축의 아래끝단부에 부착된 구동맞물림부재를 가지며,상기 종동맞물림부재를 상기 구동맞물림부재에 걸어맞춤시킴으로써, 상기 회전구동장치로부터의 회전구동을 상기 출력축전달하는스크러브 세정장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 종동맞물림부재는 상기 회전구동축 방향으로 뻗은 복수의 돌기부를 가지고, 이 돌기부와 돌기부 상호간에 홈부가 형성되며, 이 홈부에 상기 구동맞물림부재맞춤하는스크러브 세정장치.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기 구동맞물림부재는, 상기 회전구동축에 연결된 제 1 연결판과, 이 제 1 연결판에 부착된 수평지지축과, 이 수평지지축에 의해 지지된 롤러를 구비하며, 상기 종동맞물림부재는, 상기 출력축에 연결된 제 2 연결판과, 이 제 2 연결판으로부터 각각 세워진 복수의 볼록부와, 인접하는 2개의 상기 볼록부 사이에 형성된 홈부를 구비하며, 상기 홈부를 상기 롤러에 걸어맞춤시킴으로써, 상기 회전구동장치로부터의 회전구동을 상기 출력축전달하는스크러브 세정장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 가압기구는, 상기 출력축에 작용하는 상향의 추진력을 압력유체에 의해제어하는실린더기구인스크러브 세정장치.
[청구항 6]
제 5 항에 있어서,상기 실린더기구는, 압력유체가 공급되는 급기실과, 이 급기실에 연이어 통하여 이 급기실보다도 위쪽에 설치된 급배기실을 가지며, 상기 출력축은, 상기 급기실의 위벽 및 아래벽을 각각 관통하고, 상기 급기실 또는 급배기실 안에 스토퍼를 구비하고 있으며, 상기 스토퍼가 상기 급기실 또는 급배기실의 아래벽에 맞닿으면 출력축의 하강이동정지하는스크러브 세정장치.
[청구항 7]
제 5 항에 있어서,상기 실린더기구에 기체를 공급하는 기체공급로와, 이 기체공급로에 설치되어 공급기체의 압력을 조정하는 전공레귤레이터와, 이 전공레귤레이터를 제어하는 제어기더욱 가지는스크러브 세정장치.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 제어기는, 처리할 기판에 대한 스크러브부재의 가압력을 설정하고, 이 설정가압력에 의거하여 기판에 대한 상기 스크러브부재의 스크러브 접촉압력조정하는스크러브 세정장치.
[청구항 9]
제 5 항에 있어서,상기 실린더기구는, 상기 출력축을 에어쿠션지지하는 복수의 에어베어링가지는스크러브 세정장치.
[청구항 10]
제 1 항에 있어서,상기 출력축과 상기 가압기구와의 미끄럼운동부분을 국소배기하는 제 1 배기기구와, 상기 구동맞물림부재와 상기 종동맞물림부재와의 걸어맞춤부분을 국소배기하는 제 2 배기기구더욱 가지는스크러브 세정장치.
[청구항 11]
제 1 항에 있어서,상기 회전구동축은, 상기 출력축의 연장선상에 직렬로 배열되는 회전구동축가지는스크러브 세정장치.
[청구항 12]
제 5 항에 있어서,실린더기구내의 에어 베어링에 기체를 공급하는 기체공급로더욱 가지는스크러브 세정장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
스크러브 세정장치에서 회전구동장치의 회전구동을 출력축으로 전달하기 위해 종동맞물림부재와 구동맞물림부재가 어떠한 구성요소들을 통해 상호 맞물리는지 청구항 4의 내용을 바탕으로 설명하시오.
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 4를 바탕으로 회전구동장치의 회전력을 출력축으로 전달하기 위해 종동맞물림부재와 구동맞물림부재가 어떤 구성요소들을 통해 맞물리는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 구동맞물림부재의 구성(제 1 연결판, 수평지지축, 롤러)과 종동맞물림부재의 구성(제 2 연결판, 복수의 볼록부, 홈부)을 추출한다.
- 상기 구동맞물림부재는, 상기 회전구동축에 연결된 제 1 연결판과, 이 제 1 연결판에 부착된 수평지지축과, 이 수평지지축에 의해 지지된 롤러를 구비하며, 상기 종동맞물림부재는, 상기 출력축에 연결된 제 2 연결판과, 이 제 2 연결판으로부터 각각 세워진 복수의 볼록부와, 인접하는 2개의 상기 볼록부 사이에 형성된 홈부를 구비하며, 상기 홈부를 상기 롤러에 걸어맞춤시킴으로써, 상기 회전구동장치로부터의 회전구동을 상기 출력축전달하는스크러브 세정장치
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3근거 선택
evidence_selection두 부재가 맞물리는 직접적인 메커니즘인 '홈부'와 '롤러'의 관계를 나타내는 구절을 선택한다.
- 상기 홈부를 상기 롤러에 걸어맞춤시킴으로써, 상기 회전구동장치로부터의 회전구동을 상기 출력축전달하는스크러브 세정장치
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4논리 통합
logical_integration구동맞물림부재의 롤러가 종동맞물림부재의 홈부에 걸려맞춤됨으로써 회전력이 전달되는 구조임을 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation구동맞물림부재는 제 1 연결판, 수평지지축, 롤러로 구성되고, 종동맞물림부재는 제 2 연결판, 복수의 볼록부, 홈부로 구성되며, 이 중 롤러가 홈부에 걸어맞춤됨을 결론짓는다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성요소와 맞물림 방식을 정리하여 질문에 답변한다.
최종 답변 (final_answer)
청구항 4에 따르면, 구동맞물림부재는 제 1 연결판, 수평지지축, 롤러로 구성되고, 종동맞물림부재는 제 2 연결판, 복수의 볼록부, 홈부로 구성된다. 이 두 부재는 종동맞물림부재의 홈부에 구동맞물림부재의 롤러를 걸어맞춤시킴으로써 상호 맞물려 회전구동을 전달한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
구동맞물림부재의 롤러와 종동맞물림부재의 홈부 사이의 기계적 맞물림을 통해 회전력을 전달하는 스크러브 세정장치의 동력 전달 구조를 나타낸다.