문맥 (context)
[청구항 10]
청구항 8 또는 9에 기재된 도포·현상처리장치에 있어서,기판을 세정하는 세정유니트더구비하는것을특징으로 하는도포·현상처리장치.
[청구항 11]
청구항 8 또는 9에 기재된 도포·현상처리장치에 있어서,상기 레지스트 도포처리유니트는, 하나의 레지스트 토출노즐에 의해 하나의 색채 레지시트를 기판에 도포하고, 그 후 노광·현상처리가 종료된 기판에 다른 레지스트 토출노즐에 의해 다른색채의레지스트를차례도포하는것을특징으로 하는도포·현상처리장치.
[청구항 12]
청구항 8 또는 9에 기재된 도포·현상처리장치에 있어서,상기 레지스트 도포처리유니트와 상기 현상처리유니트에 기판을 반송하는 반송수단과, 상기 레지스트 도포처리유니트에서 하나의 색채 레지스트가 도포된 기판을 노광장치, 상기 현상처리유니트로 차례로 반송하고, 당해 기판을 상기 레지스트 도포처리유니트로 반송하고, 이 상기 레지스트 도포처리유니트에서 다른 색채의 레지스트가 도포된 기판을 노광장치, 상기 현상처리유니트로 차례로 반송하도록 상기 반송수단을 제어하는제어수단구비하는것을특징으로 하는도포·현상처리장치.
[청구항 13]
청구항 8 또는 9에 기재된 도포·현상처리장치에 있어서,상기 복수의 레지스트 토출노즐은 상기 레지스트 도포처리유니트에 회동(回動)이 자유롭도록 설치된하나의노즐아암의선단배치되어있는것을특징으로 하는도포·현상처리장치.
[청구항 14]
청구항 8 또는 9에 기재된 도포·현상처리장치에 있어서,색채 레지스트가 도포된 기판을 실질적으로 비가열로 건조처리하는건조처리유니트더구비하는것을특징으로 하는도포·현상처리장치.
[청구항 15]
청구항 14에 기재된 도포·현상처리장치에 있어서,상기 건조처리유니트는 레지스트액이 도포된기판을감압상태건조시키는것을특징으로 하는도포·현상처리장치.
[청구항 16]
청구항 14에 기재된 도포·현상처리장치에 있어서,상기 비가열로 건조처리한 후, 기판의 단면에 부착된 레지스트를 제거하는단면처리유니트더구비하는것을특징으로 하는도포·현상처리장치.
[청구항 17]
청구항 9에 기재된 도포·현상처리장치에 있어서,상기 세정기구는 상기 노즐로부터 상기 소정의 색채 레지스트가 토출된 후, 소정의 레지스트와 다른 다음의 색채 레지스트가 토촐될 때까지의 기간 동안에 복수 종류의 색채 레지시트를 용해시킬 수 있는 한 종류의 세정액으로 그노즐내부세정하는것을특징으로 하는도포·현상처리장치.
[청구항 18]
청구항 10에 기재된 도포·현상처리장치에 있어서,상기 세정기구는 상기 노즐로부터 상기 소정의 색채 레지스트가 토출된 후, 소정의 레지스트와 다른 다음의 색채 레지스트가 토촐될 때까지의 기간 동안에 복수 종류의 색채 레지시트를 용해시킬 수 있는 한 종류의 세정액으로 그노즐내부세정하는것을특징으로 하는도포·현상처리장치.
[청구항 19]
청구항 8 또는 9에 기재된 도포·현상처리장치에 있어서,상기 노즐의 내부를 세정하는 세정액과 같은 종류의 액으로 상기 복수 종류의 색채 레지스트를 각각 수납하는 용기의 내부를 각각 독립적으로 또는 복수를 동시에 세정하는세정기구있는것을특징으로 하는도포·현상처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
도포·현상처리장치에서 제어수단은 반송수단을 통해 기판을 어떤 순서와 경로로 이동시키도록 제어하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation도포·현상처리장치에서 제어수단이 반송수단을 통해 기판을 이동시키는 구체적인 순서와 경로를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 12에서 제어수단이 반송수단을 제어하여 기판을 이동시키는 경로와 순서에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 레지스트 도포처리유니트에서 하나의 색채 레지스트가 도포된 기판을 노광장치, 상기 현상처리유니트로 차례로 반송하고, 당해 기판을 상기 레지스트 도포처리유니트로 반송하고, 이 상기 레지스트 도포처리유니트에서 다른 색채의 레지스트가 도포된 기판을 노광장치, 상기 현상처리유니트로 차례로 반송하도록
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3근거 선택
evidence_selection기판의 이동 경로를 명시한 청구항 12의 핵심 구절을 선택한다.
- 하나의 색채 레지스트가 도포된 기판을 노광장치, 상기 현상처리유니트로 차례로 반송하고, 당해 기판을 상기 레지스트 도포처리유니트로 반송하고, 이 상기 레지스트 도포처리유니트에서 다른 색채의 레지스트가 도포된 기판을 노광장치, 상기 현상처리유니트로 차례로 반송
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 바탕으로, 첫 번째 색채 레지스트 도포 후 [노광장치 -> 현상처리유니트] 순으로 이동하고, 다시 [레지스트 도포처리유니트]로 돌아온 뒤, 두 번째 색채 레지스트 도포 후 다시 [노광장치 -> 현상처리유니트] 순으로 이동하는 과정을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation제어수단은 기판이 첫 번째 색채 레지스트 도포 후 노광장치와 현상처리유니트를 거치게 하고, 다시 도포처리유니트로 복귀시켜 두 번째 색채 레지스트를 도포한 후 다시 노광장치와 현상처리유니트를 거치도록 제어한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 정리된 절차를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
제어수단은 하나의 색채 레지스트가 도포된 기판을 레지스트 도포처리유니트에서 노광장치 및 현상처리유니트로 차례로 반송한 후, 해당 기판을 다시 레지스트 도포처리유니트로 반송시키고, 그곳에서 다른 색채의 레지스트가 도포된 기판을 다시 노광장치 및 현상처리유니트로 차례로 반송하도록 제어한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 다색채 레지스트 도포 공정에서 기판을 레지스트 도포처리유니트, 노광장치, 현상처리유니트 사이로 반복 이동시켜 각 색채별 도포 및 현상 공정을 순차적으로 수행하는 제어 방법을 제공한다.