문맥 (context)
[청구항 1]
기판과,
상기 기판상의 소정 영역에 형성되어 일정거리를 갖는 씨드층과,
상기 씨드층상에 형성된 전극부와,
상기 기판상에 일정 공간을 두고 양측이 상기 전극부에 연결되어 형성된 저항부와,
상기 저항부상에 저항부의 양측면이 일정영역 노출되도록 형성된 패시베이션층과,
상기 노출된 저항부의 일정영역을 포함하여 상기 패시베이션층상에 형성된 흑체를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 저항형 볼로미터 센서
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,항부하단에 지지대역할을 하는 브릿지 타입막을 더 포함하여구성되는것을특징으로 하는저항형 볼로미터 센서.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,항부는 ni, al, ti, 그리고 pt 중 어느하나형성되는것을특징으로 하는저항형 볼로미터 센서.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 패시베이션층은 실리콘 옥사이드, 실리콘 나이트라이드(nitride), 파릴렌(parylene)중 어느 하나특징으로 하는저항형 볼로미터 센서.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,항부는 미엔더 타입(meander-type)의 형상특징으로 하는저항형 볼로미터 센서.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 희생층은 폴리이미드와 포토레지스트 중 어느 하나특징으로 하는저항형 볼로미터 센서.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 저항체의 두께가 0.5um 이상일 경우 기판 위에 au 씨드층과, 상기 au 씨드층 위에 ni층의2개의층구성되는것을특징으로 하는저항형 볼로미터 센서.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 흑체는 ruo2임을특징으로 하는저항형 볼로미터 센서.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 비절연물질은 ni 또는 cu중하나인것을특징으로 하는저항형 볼로미터 센서.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
저항형 볼로미터 센서에서 저항체의 두께가 0.5um 이상인 경우, 씨드층과 그 상부에 형성되는 층의 구성은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation저항체의 두께가 0.5um 이상인 조건에서 씨드층과 그 상부에 형성되는 층의 구성을 찾는 과업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7에서 저항체의 두께가 0.5um 이상일 때의 층 구성을 명시하고 있다.
- 상기 저항체의 두께가 0.5um 이상일 경우 기판 위에 au 씨드층과, 상기 au 씨드층 위에 ni층의2개의층구성되는것을특징으로 하는저항형 볼로미터 센서
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3근거 선택
evidence_selection질문 조건인 '두께 0.5um 이상'에 대응하는 청구항 7의 구절을 선택한다.
- 기 저항체의 두께가 0.5um 이상일 경우 기판 위에 au 씨드층과, 상기 au 씨드층 위에 ni층의2개의층구성
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4논리 통합
logical_integration씨드층은 au(금)이며, 그 상부에는 ni(니켈)층이 형성됨을 확인한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation씨드층은 au 씨드층이고, 그 상부에는 ni층이 형성되어 총 2개의 층으로 구성된다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
저항체의 두께가 0.5um 이상인 경우 au 씨드층과, 상기 au 씨드층 위에 ni층의 2개의 층 구성을 형성한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
저항체의 두께가 0.5um 이상인 특정 조건에서 씨드층(au)과 그 상부 층(ni)의 구체적인 재질 구성을 정의하고 있다.