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메모리 셀, 반도체 집적회로 및 그 제조 방법 document_id 1019990039208

출원번호
1019990039208
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 디바이스들중의 상기 제 2 디바이스의 상기 불순물 영역이 노출 부분(an exposed portion)을 가지고, 상기 제 2 전극은 상기 노출 부분완전히 덮는메모리 셀. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 게이트들은 제 1 폴리실리콘 층으로 구성되는데, 이 제 1 폴리실리콘 층은 상기 메모리 셀이 제조되는 동안에 증착된 첫 번째 폴리실리콘 층이고, 상기 제 2 전극은 제 2 폴리실리콘 층으로 구성되는데, 이 제 2 폴리실리콘 층은 상기 메모리 셀이 제조되는 동안에 증착된 두 번째 폴리실리콘층인메모리 셀. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 제 2 폴리실리콘 층은 상기 메모리 셀을 적어도 하나의 또다른 디바이스에 접속하는 수단더 제공하는메모리 셀. [청구항 5] 제 3 항에 있어서,상기 제 2 폴리실리콘 층은 상기 게이트들중 하나의 게이트와 관련하여서 상기 불순물 영역들중 하나의 불순물 영역에 대한 보더리스 콘택트(a bortherless contact)를 제공하고, 이 때, 상기 제 2 폴리실리콘 층은 상기 불순물 영역들중 상기 하나의 불순물 영역과 전기적으로 접속하고 상기 게이트들중 상기 하나의 게이트중첩되는메모리 셀. [청구항 6] 제 3 항에 있어서,상기 제 2 폴리실리콘 층이 불순물도핑되는메모리 셀. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 제 2 전극은 상기 게이트들중 하나의 게이트와 관련하여서 상기 불순물 영역들중 하나의 불순물 영역에 대한 보더리스 콘택트(a bortherless contact)를 제공하고, 이 때, 상기 제 2 전극은 상기 불순물 영역들중 상기 하나의 불순물 영역과 전기적으로 접속하고 상기 게이트들중 상기 하나의 게이트중첩되는메모리 셀. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 제 2 반도체 층이 상기 집적 회로의 또다른 디바이스들에 대해 상호 접속 수단더 제공하는메모리 셀. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 반도체 층들각각은 폴리실리콘인메모리 셀. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 제 1 디바이스의 상기 불순물 영역이 노출 부분(an exposed portion)을 가지고, 상기 상부 전극은 상기 노출 부분완전히 덮는반도체 집적 회로. [청구항 13] 제 11 항에 있어서,상기 게이트들은 제 1 폴리실리콘 층으로 구성되는데, 이 제 1 폴리실리콘 층은 상기 메모리 셀이 제조되는 동안에 증착된 첫 번째 폴리실리콘 층이고, 상기 제 2 전극은 제 2 폴리실리콘 층으로 구성되는데, 이 제 2 폴리실리콘 층은 상기 메모리 셀이 제조되는 동안에 증착된 두 번째 폴리실리콘층인반도체 집적 회로. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 제 2 폴리실리콘 층은 상기 게이트들중 하나의 게이트와 관련하여서 상기 불순물 영역들중 하나의 불순물 영역에 대한 보더리스 콘택트(a bortherless contact)를 제공하고, 이 때, 상기 제 2 폴리실리콘 층은 상기 불순물 영역들중 상기 하나의 불순물 영역과 전기적으로 접속하고 상기 게이트들중 상기 하나의 게이트중첩되는반도체 집적 회로. [청구항 15] 제 13 항에 있어서,상기 제 2 폴리실리콘 층이 불순물도핑되는반도체 집적 회로. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,상기 집적 회로가 세 개의 cmos 트랜지스터 및, 데이터 저장을 위한 일련의 전극들을 갖는 하나의 캐패시터로 이루어진 메모리 셀포함하는반도체 집적 회로.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제 3 항의 메모리 셀에서 제 2 폴리실리콘 층이 제공하는 기능은 무엇이며, 이 층은 어떤 구성 요소들 사이에서 보더리스 콘택트(a bortherless contact)를 형성하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    제 3 항의 메모리 셀 내 제 2 폴리실리콘 층의 기능과 보더리스 콘택트를 형성하는 구성 요소 간의 관계를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 3에서 제 2 폴리실리콘 층은 제 2 전극을 구성하며, 청구항 5에서 보더리스 콘택트 제공 기능과 접속 대상이 명시되어 있다.

    • 제 2 전극은 제 2 폴리실리콘 층으로 구성되는데, 이 제 2 폴리실리콘 층은 상기 메모리 셀이 제조되는 동안에 증착된 두 번째 폴리실리콘층인메모리 셀
    • 상기 제 2 폴리실리콘 층은 상기 게이트들중 하나의 게이트와 관련하여서 상기 불순물 영역들중 하나의 불순물 영역에 대한 보더리스 콘택트(a bortherless contact)를 제공하고, 이 때, 상기 제 2 폴리실리콘 층은 상기 불순물 영역들중 상기 하나의 불순물 영역과 전기적으로 접속하고 상기 게이트들중 상기 하나의 게이트중첩되는메모리 셀
  3. 3근거 선택evidence_selection

    제 2 폴리실리콘 층의 기능(보더리스 콘택트 제공)과 접속 대상(불순물 영역 및 게이트)에 관한 구절을 선택한다.

    • 상기 제 2 폴리실리콘 층은 상기 게이트들중 하나의 게이트와 관련하여서 상기 불순물 영역들중 하나의 불순물 영역에 대한 보더리스 콘택트(a bortherless contact)를 제공하고, 이 때, 상기 제 2 폴리실리콘 층은 상기 불순물 영역들중 상기 하나의 불순물 영역과 전기적으로 접속하고 상기 게이트들중 상기 하나의 게이트중첩되는
  4. 4논리 통합logical_integration

    제 2 폴리실리콘 층은 불순물 영역에 대한 보더리스 콘택트를 제공하며, 이는 불순물 영역과 전기적으로 접속하고 게이트와 중첩되는 구조를 통해 이루어진다.

    • 상기 제 2 폴리실리콘 층은 상기 불순물 영역들중 상기 하나의 불순물 영역과 전기적으로 접속하고 상기 게이트들중 상기 하나의 게이트중첩되는
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    제 2 폴리실리콘 층의 기능은 보더리스 콘택트를 제공하는 것이며, 이는 불순물 영역과 게이트 사이에서 형성된다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 따라 기능과 구성 요소 간의 관계를 정리하여 최종 답변을 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
제 2 폴리실리콘 층은 상기 게이트들 중 하나의 게이트와 관련하여 상기 불순물 영역들 중 하나의 불순물 영역에 대한 보더리스 콘택트(a bortherless contact)를 제공하는 기능을 한다. 이 층은 상기 불순물 영역과 전기적으로 접속하고 상기 게이트와 중첩됨으로써 보더리스 콘택트를 형성한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제 2 폴리실리콘 층(제 2 전극)이 불순물 영역과 게이트 사이에서 전기적 접속 및 중첩을 통해 보더리스 콘택트를 구현하는 구조를 설명하고 있다.