반도체 소자 검사장치용 아이씨 모듈 픽킹장치 document_id 1019990046550

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기ic 모듈 픽킹장치는, 상기 ic 모듈 픽킹어셈블리에 의해서 상기 ic 모듈(m)이 픽킹될 때 상기 ic 모듈(m)의 측면을 안내하기 위한 ic모듈안내수단더포함하는것을특징으로 하는반도체 소자 검사장치용 ic 모듈 픽킹장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기ic 모듈 안내수단은, 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)의 상기 외면의 하단에 부착된 한쌍의 모듈척(70) 및 상기 모듈척(70)의 상측 위치에 각각 장착되고 상기 모듈척(70)을 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)에 대하여 수평방향으로 왕복운동시키기 위한모듈척구동실린더포함하는것을특징으로 하는반도체 소자 검사장치용 ic 모듈 픽킹장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 모듈척(70)은 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)의 상기 외면 하단에 수평방향으로 돌출하여 연장된 제 3 가이드부(32)를 따라서 수평방향으로 왕복활주 가능하도록 장착되고, 상기 모듈척(70)의 하부 양측에는 모듈척 핑거(72)가 탈착 가능하도록 일체로 결합되며, 상기 모듈척 핑거(72)의 자유단에는 상기 ic 모듈(m)의 배면 상에 기형성된 홈 내로 삽입되어 상기 ic 모듈(m)을 지지하기 위한모듈가이드핀각각장착된것을특징으로 하는반도체 소자 검사장치용 ic 모듈 픽킹장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 척 업다운 트랜스퍼(30)의 내면에는 상기 제 1 가이드부(21)와 접하면서 상기 제 1 가이드부(21)를 따라서 상하로 활주하는슬라이드배치된것을특징으로 하는반도체 소자 검사장치용 ic 모듈 픽킹장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 에너지 변환수단은, 수직한 로드형상의 볼 스크루(50) 및 상기 볼 스크루(50)의 상하운동을 안내하기 위한 볼 스크루 너트(52)를 포함하며, 상기 볼 스크루(50)는 상기 볼 스크루 너트(52)를 수직방향으로 관통하여 지나도록 배치되고, 상기 볼 스크루(52)의 상단은 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)에 부착된 볼 스크루 지지대(54) 내로 연장되어 커플링에 의하여 상기 서보 모터(20)의출력축연결된것을특징으로 하는반도체 소자 검사장치용 ic 모듈 픽킹장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,스크루 너트(52)는, 상기 볼 스크루 너트(52)로부터 연장되어 상기 절개부(23)를 지나서 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)에 부착된 지지 브라켓(56)에 의해서 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)에 장착되고, 상기 볼 스크루(50)는 상기 서보 모터(20)로부터 상기 출력축(25)과 상기 볼 스크루 지지대(54)를 거쳐서 제공되는 상기 회전 운동 에너지를 전달 받으며, 이렇게 전달된 상기 회전 운동 에너지에 의해서 회전하면서 상기 볼 스크루 너트(52)를 움직이고, 이때 상기 볼 스크루 너트(52)는 상기 볼 스크루(50)가 회전과 동시에 상승 또는 하강하는 경우에, 상기 회전 운동 에너지를 전달받아서 이를 상기 직선 운동에너지로 변환시켜서 상기 척 업다운트랜스퍼승강시키는것을특징으로 하는반도체 소자 검사장치용 ic 모듈 픽킹장치. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기ic 모듈 픽킹어셈블리는, 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)의 상기 외면 상측에 수직방향으로 차례로 배치된 프리척 업다운 실린더(60), 프리척 업다운 가이드(62), 프리척 구동 실린더(64) 및 프리척(66)을 구비하며, 상기 프리척 업다운 가이드(62)는 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)의 상기 외면 중앙부위에 돌출하여 수직방향으로 연장된 제 2 가이드부(32)를 따라서 수직방향으로 왕복 활주 가능하도록 장착되고, 상기 프리척 업다운 가이드(62)의 상부는 상기 프리척 업다운 실린더(60)의출력축연결된것을특징으로 하는반도체 소자 검사장치용 ic 모듈 픽킹장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 프리척 구동 실린더(64)는 상기 프리척 업다운 가이드(62)의 하측에 일체로 결합되고, 상기 프리척 업다운 가이드(62)와 연동하면서 상기 프리척 구동 실린더(64)의 하측에 쌍을 이루어 장착된 상기 프리척(66)을 구동시키며, 상기 프리척(66)은 힌지축(63)에 의해서 선회운동이 가능하도록 상기 프리척 구동 실린더(64)의 하단에 각각 장착되고, 상기 ic 모듈(m)을 상기 트레이(t)로부터 픽킹하기 위해서 상기 프리척 구동 실린더(64)로부터 동력을 전달받아 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)의 전후방향으로선회운동하는것을특징으로 하는반도체 소자 검사장치용 ic 모듈 픽킹장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 편향수단은, 외부의 공기 공급원으로부터 상기 지지 프레임(24)의 하단 아래를 지나서 상기 프리척(66)의 하단 근처까지 수평으로 연장된 노즐(80) 및 상기 노즐(80)의 자유단부에 설치되고 상기 외부의 공기 공급원으로부터 공급되는 에어를 상기 ic 모듈에 분사하기 위한다수의에어분사구포함하는것을특징으로 하는반도체 소자 검사장치용 ic 모듈 픽킹장치.