문맥 (context)
[청구항 6]
제 5항에 있어서,상기 수산화테트라알킬암모늄 용액 및 포토레지스트 현상폐액의 일부및/또는 상기 회수정제장치로부터의 포토레지스트 함유 회수폐액의 적어도 일부에 (초)순수 및/또는 수산화테트라알킬암모늄을 보급하기 위한 (초)순수첨가라인및수산화테트라알킬암모늄첨가라인의적어도하나를하나씩더포함하는것을특징으로 하는현상폐액으로부터의 현상액의 회수재이용장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 제1재생현상액 및 상기 제2재생현상액의 각 유량을 측정하는 각각의 유량계, 상기 제2재생현상액의 포토레지스트농도를 측정하는 측정기기, 상기 혼합재생현상액의 포토레지스트농도를 측정하는 측정기기, 및, 상기 각 유량 및 상기 각 포토레지스트농도의 측정치를 입력값으로 하여 연산하고, 상기 제1재생현상액 및 상기 제2재생현상액의 각 유량을 상기 혼합재생현상액의 포토레지스트농도가 원하는 값으로 되는 양상으로 제어하는제어기더포함하는것을특징으로 하는포토레지스트현상폐액으로부터의 현상액의 회수재이용장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 회수정제장치로부터의 포토레지스트 함유회수폐액의 적어도 일부를 상기 현상폐액탱크 겸 재생현상액 조정탱크에 반송하는라인더포함하는것을특징으로 하는포토레지스트 현상폐액으로부터의 현상액의 회수재이용장치.
[청구항 11]
제 10항에 있어서,상기 회수정제장치로부터의 포토레지스트 함유회수폐액의 적어도 일부를 그 사용 전에 미리 정제처리하는 양이온교환수지 처리장치 및 킬레이트수지 처리장치의 적어도 하나 또는 양이온교환수지+킬레이트수지혼상처리장치더포함하는것을특징으로 하는포토레지스트 현상폐액으로부터의 현상액의 회수재이용장치.
[청구항 12]
제 9항에 있어서,상기 현상폐액탱크 겸 재생현상액 조정탱크 중의 용액에 필요에 따라서 (초)순수 및/또는 수산화테트라알킬암모늄을 보급하기 위해 (초)순수첨가라인및수산화테트라알킬암모늄첨가라인의적어도하나구비한것을특징으로 하는포토레지스트 현상폐액으로부터의 현상액의 회수재이용장치.
[청구항 13]
제 9항에 있어서,상기 재생현상액 조정장치에 부설되고, 또한 상기 현상폐액탱크 겸 재생현상액 조정탱크 속의 용액의 포토레지스트 농도를 측정하는 측정기기와 상기 현상폐액탱크 겸 재생현상액 조정탱크 속의 상기 용액의 수산화테트라알킬암모늄 농도를 측정하는 측정기기를 갖춘 순환라인 및 상기 포토레지스트 농도 및 상기 수산화테트라알킬암모늄 농도의 측정값을 입력값으로 하여 연산하고, 포토레지스트 현상폐액의 적어도 일부 및 상기 수산화테트라알킬암모늄 용액의 각 유량을 원하는 값으로 제어하는제어기더포함하는것을특징으로 하는포토레지스트 현상폐액으로부터의 현상액의 회수재이용장치.
[청구항 14]
제 13항에 있어서,상기 제어기가 (초)순수 및/또는 수산화테트라알킬암모늄의 유량을 원하는 값으로 제어하기 위해서이용되는것을특징으로 하는포토레지트 현상폐액으로부터의 현상액의 회수재이용장치.
[청구항 15]
제 13항에 있어서,상기 제어기가 필요에 따라서 상기 회수정제장치로부터의 포토레지스 함유 회수폐액의 적어도 일부의 유량을 원하는 값으로 제어하기 위해서사용되는것을특징으로 하는포토레지스트 현상폐액으로부터의 현상액의 회수재이용장치.
[청구항 16]
제 5항에 있어서,포토레지스트 현상폐액의 일부및/또는 상기 회수정제장치로부터의 포토레지스트 함유 회수폐액의 적어도 일부를 그 사용 전에 미리 정제처리하는 양이온교환수지처리장치 및 킬레이트수지 처리장치의 적어도 하나 또는 양이온교환수지+킬레이트수지혼상처리장치더포함하는것을특징으로 하는포토레지스트 현상폐액으로부터의 현상액의 회수재이용장치.
[청구항 17]
제 6항에 있어서,상기 재생현상액 조정장치에 부설되고, 또한 상기 재생현상액의 포토레지스트 농도를 측정하는 측정기기와 상기 재생현상액의 수산화테트라알킬암모늄 농도를 측정하는 측정기기를 구비한 순환라인 및 상기 포토레지스트 농도 및 상기 수산화테트라알킬암모늄 농도의 측정값을 입력값으로 하여 연산하고, 상기 수산화테트라알킬암모늄 용액, 포토레지스트 현상폐액의 일부 및/또는 상기 회수정제장치로부터의 포토레지스트 함유 회수폐액의 적어도 일부 및 (초)순수 및/또는 수산화테트라알킬암모늄의 각 유량을 원하는 값으로 제어하는제어기더포함하는것을특징으로 하는포토레지스트 현상폐액으로부터의 현상액의 회수재이용장치.
[청구항 18]
제 7항에 있어서,포토레지스트 현상폐액의 적어도 일부및/또는 상기 회수정제장치로부터의 포토레지스트 함유 회수폐액의 적어도 일부를 그 사용 전에미리 정제처리하는 양이온교환수지처리장치 및 킬레이트 수지 처리장치의 적어도 하나 또는 양이온교환수지및킬레이트 수지혼합처리장치더포함하는것을특징으로 하는포토레지스트 현상페액으로부터의 현상액의 회수재이용장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
포토레지스트 현상폐액으로부터의 현상액 회수재이용장치에서, 혼합재생현상액의 포토레지스트 농도를 원하는 값으로 제어하기 위해 제어기가 입력값으로 사용하는 측정 항목들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation혼합재생현상액의 포토레지스트 농도를 제어하기 위해 제어기가 입력값으로 사용하는 측정 항목을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8에서 제어기가 입력값으로 사용하는 항목들에 대한 기술적 내용을 추출한다.
- 상기 각 유량 및 상기 각 포토레지스트농도의 측정치를 입력값으로 하여 연산하고
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3근거 선택
evidence_selection제어기의 입력값으로 명시된 '각 유량'과 '각 포토레지스트농도' 구절을 선택한다.
- 상기 각 유량 및 상기 각 포토레지스트농도의 측정치를 입력값으로 하여 연산하고
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4논리 통합
logical_integration여기서 '각 유량'은 제1재생현상액 및 제2재생현상액의 유량을 의미하며, '각 포토레지스트농도'는 제2재생현상액의 농도 및 혼합재생현상액의 농도를 의미함을 결합한다.
- 상기 제1재생현상액 및 상기 제2재생현상액의 각 유량을 측정하는 각각의 유량계, 상기 제2재생현상액의 포토레지스트농도를 측정하는 측정기기, 상기 혼합재생현상액의 포토레지스트농도를 측정하는 측정기기
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5결론 도출
conclusion_formulation제어기가 사용하는 입력값은 제1재생현상액 및 제2재생현상액의 각 유량과 각 포토레지스트 농도의 측정치임을 도출한다.
- 상기 각 유량 및 상기 각 포토레지스트농도의 측정치를 입력값으로 하여 연산하고
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6답변 생성
answer_generation질문에 따라 측정 항목들을 리스트 형식으로 정리하여 최종 답변을 생성한다.
- 상기 각 유량 및 상기 각 포토레지스트농도의 측정치를 입력값으로 하여 연산하고
최종 답변 (final_answer)
제1재생현상액 및 제2재생현상액의 각 유량, 제2재생현상액의 포토레지스트 농도, 혼합재생현상액의 포토레지스트 농도를 측정하여 농도를 목표값으로 제어한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 제1 및 제2 재생현상액의 유량과 포토레지스트 농도를 측정하여, 혼합재생현상액의 포토레지스트 농도를 목표값으로 정밀하게 제어하는 기술에 관한 것이다.