처리시스템 document_id 1019990049533

[청구항 4] 청구항 2에 있어서,처리실은,상기 피처리체에 대하여 각각 서로 다른진공계의처리실시하는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 6] 청구항 2 또는 청구항 4에 있어서,상기 인수·인도실은다단배열되어있는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 9] 청구항 7에 있어서,상기 인수·인도실은,다단배열되어있는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 13] 청구항 12에 있어서,영역마다 구분되어 배치된 제 1 처리부는,또한 상기 반송로를 따라영역의순서배치되어있는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 14] 청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,영역마다 구분되어 배치된 제 1 처리부의 근방에, 각 영역마다 필요한검사장치배치되어있는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 15] 청구항 12에 있어서,상기 제 1 처리부는, 제 1 영역 내에서 각 처리의 종류마다 구분되어배치되어있는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 16] 청구항 15에 있어서,상기 제 1 영역 내에검사장치배치되어있는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 18] 청구항 17에 있어서,상기 제 1 반송로를 따라 배치되어 피처리체에 대하여 적어도 레지스트도포처리, 현상처리를 실시하는처리부더구비하는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 19] 청구항 18에 있어서,상기 제 1 반송로를 따라 제 1 영역에 배치되어, 피처리체에 대하여 진공계의 처리를 실시하는 복수의 제 1 처리부와, 상기 제 1 반송로를 따라 제 2 영역에 배치되어 피처리체에 대하여 적어도 레지스트도포처리, 현상처리를 실시하는제2처리부더구비하는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 20] 청구항 17 내지 청구항 19 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 2 반송로상에는 상기 제 2 반송장치가복수개배치되어있는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 21] 청구항 10, 12 또는 18의 어느 한 항에 있어서,상기 처리부의 반송장치측에 배치되어 데이터의 송수신을 실시하기 위한 제 1 광전변환부와, 상기 반송장치와 상기 처리부 사이에서 피처리체의 인수·인도를 수행할 때, 상기 제 1 광전변환부와 대향하도록 상기 반송장치에 배치되어, 상기 제 1 광전변환부와의 사이에서 데이터의 송수신을 수행하기 위한제2광전변환부더구비하는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 22] 청구항 10, 12 또는 청구항 18의 어느 한 항에 있어서,상기 반송로를 따라 배치되어 피처리체의 검사를 실시하는 검사부와, 상기 반송장치가 상기 반송로상을 이동할 수 있게 배치되어, 상기 처리부 및 검사부와의 사이에서 피처리체의 인수·인도수행하는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 23] 청구항 10, 12 또는 청구항 18의 어느 한 항에 있어서,상기 처리시스템은,피처리체상에 영역마다 복수종류의 처리를 실시하여 복수의 영역를 형성하는 것임과 동시에, 피처리체의 모든 영역를 형성하기 위한처리부를일체화시킨것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 24] 청구항 23에 있어서,상기 처리부에는, 하나의 처리를 담당하는 전용처리부와 2개 이상의 처리를 담당하는 겸용처리부가 있는 것특징으로 하는처리시스템. [청구항 25] 청구항 23에 있어서,피처리체에 대하여 진공계의 처리를 실시하는 처리부와 대기계의 처리를 실시하는처리부구분되어있는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 26] 청구항 1, 청구항 2, 청구항 4, 청구항 5 또는 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,상기 인수·인도부에서의 피처리체의 인수·인도를 매엽(枚葉행하는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 27] 청구항 6에 있어서,상기 인수·인도부에서의 피처리체의 인수·인도를 매엽(枚葉행하는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 29] 청구항 28에 있어서,상기 감압처리모듈의 반송기구의 한쪽에는 피처리기판에 성막을 실시하는 처리부를 구비하고, 다른쪽에는 피처리기판에 형성된 막을 에칭하는처리부구비하는것을특징으로 하는처리시스템 [청구항 30] 청구항 28 또는 29에 있어서,상기 감압처리모듈을 복수 피처리기판의 대기부를 통해 배치하여 구성된 감압처리모듈군과, 상기 대기처리모듈을 복수 피처리기판의 대기부를 통해 배치하여 구성된 대기처리모듈군을 구비하고, 또한 대기처리모듈군과 감압처리모듈군과는 피처리기판의 인수·인도부를 통해접속되어있는것을특징으로 하는처리시스템 [청구항 31] 청구항 28 또는 29에 있어서,상기 감압처리모듈과 대기압처리모듈의 반송부에 있어서의 반송기구에서의 피처리기판의 반송은 대기압에서 행해지는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 32] 청구항 28 또는 29에 있어서,상기 감압처리모듈의 반송부와 대기압처리모듈의 반송부와의 사이 또는 상기 감압처리모듈의 반송부간과 대기압처리모듈의 반송부간에 대기압으로 피처리기판을 인수·인도하기 위한 인수·인도부구비하는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 33] 청구항 28 또는 29에 있어서,또한 피처리기판을 수납이 자유롭게 구성된 카세트를 복수 배치 자유롭게 구성된 카세트배치부와, 다른 처리시스템 또는 장치 외에 대하여 피처리기판을 인수·인도하는 인터페이스부를 구비하고, 상기 카세트배치부ㆍ상기 감압처리모듈ㆍ상기 대기압처리모듈ㆍ상기인터페이스부의순서배치되어있는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 34] 청구항 32에 있어서,상기 카세트배치부와 상기 감압처리모듈와의 사이에는 상기 피처리기판을 액처리하는액처리부배치되어있는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 35] 청구항 28 또는 청구항 29에 있어서,상기 감압처리모듈의 반송부와 상기 감압처리부와의 사이에는 피처리기판의 분위기를 매엽으로 감압 또는 대기가 자유롭게 구성된 분위기로 하는 로드락부가다단배치되어있는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 36] 청구항 34에 있어서,상기 감압처리모듈의 반송부와 상기 감압처리부와의 사이에는 피처리기판의 분위기를 매엽으로 감압 또는 대기가 자유롭게 구성된 분위기로 하는 로드락부가다단배치되어있는것을특징으로 하는처리시스템.