문맥 (context)
[청구항 1]
피가공물의 피가공면에 대해 자외선을 조사하여 그 세정 또는 개질을 수행하기 위한 자외선의 조사장치로서,
상기 피가공면의 최대 직경 이상의 길이를 갖는 유전체 배리어 방전램프와,
상기 피가공면이 상기 유전체 배리어 방전램프에 의해 조사되는 자외선의 조사 영역에 오도록 상기 피가공물을 올려놓는 턴테이블로서, 상기 유전체 배리어 방전램프에 의한 자외선의 조사 범위의 중심에 그 회전 중심을 거의 일치시키는 턴테이블과,
상기 턴테이블을 회전 구동하는 구동원과,
상기 유전체 배리어 방전램프에 의한 자외선의 조사 영역에 고정되고, 상기 피가공물의 피가공면에 도달하는 자외선의 광량을 그 자외선 통과 영역의 형상에 따라 조정하는 필터를 포함하고,
상기 자외선 통과 영역의 형상이, 상기 자외선의 조사 범위의 길이방향에 대한 중심선에 대해 대칭이며, 상기 자외선 통과 영역의 폭방향에 있어서의 상기 자외선 통과 영역의 경계를 형성하는 각 선분의 적어도 상기 자외선의 조사 범위의 중심 근처 부분이, 상기 중심선을 기점으로 한 상기 자외선의 조사 범위의 길이방향에 있어서의 거리(r)를 변수로 하는 2차 곡선으로 대략적으로 표현되며,
이것에 의해, 상기 피가공물을 상기 유전체 배리어 방전램프에 대해 상대적으로 회전시키면서, 상기 유전체 배리어 방전램프로부터의 자외선을 조사함으로써, 상기 피가공면의 전체 영역에 상기 유전체 배리어 방전램프로부터의 자외선을 조사시키는 것을 특징으로 하는 자외선의 조사장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 자외선 통과 영역의 폭방향에서의 경계를 형성하는 각 선분의 적어도 상기 자외선의 조사 범위의 중앙 근처 부분은, 상기 자외선의 조사 범위의 폭방향에 대한 중심선을 기준으로 하여, 그 연장이 상기 조사 범위의 중심 부근을 통과하는 곡선(m(r))으로서, 상기 중심선을 따른 방향의 아래 식에 의해 주어지는 적산 광량(e(r))을 거의 일정하게주어지는것을특징으로 하는자외선의 조사장치p(s) : 유전체 배리어 방전램프의 빛의 강도s : 유전체 배리어 방전램프의 축선으로부터의 폭방향에서의 거리r : 피가공물의 회전 중심으로부터의 거리.
[청구항 3]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 자외선 통과 영역의 폭방향에 있어서의 경계를 형성하는 선분이, 상기 자외선의 조사 범위의 중심에 이르지 않고, 상기 자외선 통과 영역의 폭방향에서 인접하는 선분끼리 연결되어, 이것에 의해 상기 조사 범위의 중심의 양측에 소정 거리만큼 떨어진2개의자외선통과영역형성되어있는것을특징으로 하는자외선의 조사장치.
[청구항 4]
제 1 항 내지 제 3 항의 어느 한 항에 있어서,상기 자외선 통과 영역이 필터에 개구된 슬릿특징으로 하는자외선의 조사장치.
[청구항 5]
제 1 항 내지 제 4 항의 어느 한 항에 있어서,적어도 상기 유전체배리어 방전램프에 의한 자외선의 조사 범위를 외부로부터 밀폐하는처리실구비하고있는것을특징으로 하는자외선의 조사장치.
[청구항 6]
제 1 항 내지 제 5 항에 있어서,적어도 상기 턴테이블 및 상기 구동원을 수용하는 위쪽을 개구한 하우징과,상기 하우징에 대해 그 개구를 개폐하도록 부착된 뚜껑으로서, 적어도 상기 유전체 배리어 방전램프 및 상기 필터를 고정한뚜껑구비하는것을특징으로 하는자외선의 조사장치.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 하우징에 대해 상기 뚜껑을 덮음으로써, 상기 외부로부터 밀폐된처리실형성하는것을특징으로 하는자외선의 조사장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
자외선의 조사장치에서 필터의 자외선 통과 영역 형상이 자외선 조사 범위의 중심선에 대해 대칭이며, 폭방향 경계가 2차 곡선으로 표현됨으로써 얻을 수 있는 효과는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation필터의 자외선 통과 영역 형상(대칭성 및 2차 곡선 경계)이 제공하는 기술적 효과를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 필터의 자외선 통과 영역 형상이 중심선에 대해 대칭이고 폭방향 경계가 2차 곡선으로 표현된다는 기술적 특징을 추출한다.
- 상기 자외선 통과 영역의 형상이, 상기 자외선의 조사 범위의 길이방향에 대한 중심선에 대해 대칭이며, 상기 자외선 통과 영역의 폭방향에 있어서의 상기 자외선 통과 영역의 경계를 형성하는 각 선분의 적어도 상기 자외선의 조사 범위의 중심 근처 부분이, 상기 중심선을 기점으로 한 상기 자외선의 조사 범위의 길이방향에 있어서의 거리(r)를 변수로 하는 2차 곡선으로 대략적으로 표현되며
- 이것에 의해, 상기 피가공물을 상기 유전체 배리어 방전램프에 대해 상대적으로 회전시키면서, 상기 유전체 배리어 방전램프로부터의 자외선을 조사함으로써, 상기 피가공면의 전체 영역에 상기 유전체 배리어 방전램프로부터의 자외선을 조사시키는 것
- 상기 피가공물의 피가공면에 도달하는 자외선의 광량을 그 자외선 통과 영역의 형상에 따라 조정하는 필터를 포함하고
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3근거 선택
evidence_selection해당 형상에 의해 얻어지는 효과를 명시한 문구를 선택한다.
- 이것에 의해, 상기 피가공물을 상기 유전체 배리어 방전램프에 대해 상대적으로 회전시키면서, 상기 유전체 배리어 방전램프로부터의 자외선을 조사함으로써, 상기 피가공면의 전체 영역에 상기 유전체 배리어 방전램프로부터의 자외선을 조사시키는 것
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4논리 통합
logical_integration필터의 형상이 자외선 광량을 조정함으로써, 피가공물을 회전시키며 조사할 때 피가공면 전체에 자외선이 조사되도록 하는 메커니즘을 연결한다.
- 상기 피가공물의 피가공면에 도달하는 자외선의 광량을 그 자외선 통과 영역의 형상에 따라 조정하는 필터를 포함하고
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5결론 도출
conclusion_formulation필터 형상을 통해 광량을 조정함으로써 피가공물을 회전시키며 조사할 때 피가공면 전체 영역에 자외선을 조사할 수 있다는 결론을 도출한다.
- 상기 피가공면의 전체 영역에 상기 유전체 배리어 방전램프로부터의 자외선을 조사시키는 것
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 문맥에 근거하여 최종 답변을 작성한다.
- 상기 피가공면의 전체 영역에 상기 유전체 배리어 방전램프로부터의 자외선을 조사시키는 것
최종 답변 (final_answer)
피가공물을 유전체 배리어 방전램프에 대해 상대적으로 회전시키면서 자외선을 조사할 때, 피가공면의 전체 영역에 유전체 배리어 방전램프로부터의 자외선을 조사시킬 수 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
필터의 자외선 통과 영역 형상을 특정 곡선 및 대칭 구조로 설계하여, 피가공물 회전 시 피가공면 전체에 균일하게 자외선이 조사되도록 광량을 제어하는 기술이다.