문맥 (context)
[청구항 1]
병렬 캐패시터에 있어서,
반도체 기판, 게이트산화막, 게이트전극으로 이루어진 평판캐패시터
상기 평판캐패시터의 상층부에 폴리실리콘콘택을 통해 병렬로 연결된 실린더형 캐패시터의 일전극
상기 실린더형 캐패시터의 일전극 상부에 유전체를 포함하여 형성된 실린더형 캐패시터의 다른 하나의 전극
을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 병렬 캐패시터
[청구항 2]
전압발생기의 캐패시터에 있어서,
반도체 기판의 액티브영역 상부에 상기 반도체 기판과 교차하는 방향으로 형성된 평판캐패시터의 일전극
상기 평판캐패시터의 일전극과 일정 폭 오버랩되며 상기 액티브영역과 접지노드용 폴리실리콘콘택을 이용하여 병렬로 연결되는 실린더형 캐패시터의 하부전극
상기 실린더형 캐패시터의 일전극 상부에 액티브영역과 동일 방향으로 형성된 실린더형 캐패시터의 상부전극
상기 평판캐패시터의 일전극에 연결된 제1고전압입력노드용 금속콘택
상기 실린더형 캐패시터의 상부전극에 연결된 제2고전압입력노드용 금속콘택; 및
상기 액티브영역에 연결된 접지노드용 금속콘택
을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 전압발생기의 병렬캐패시터
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 반도체 기판은 상기 평판캐패시터의 다른하나의전극이용되는것을특징으로 하는전압발생기의 병렬 캐패시터.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
전압발생기의 병렬 캐패시터에서 실린더형 캐패시터의 하부전극은 무엇을 이용하여 평판캐패시터의 일전극과 병렬로 연결되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation실린더형 캐패시터의 하부전극이 평판캐패시터의 일전극과 병렬로 연결될 때 사용하는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 실린더형 캐패시터의 하부전극과 평판캐패시터의 일전극 사이의 연결 관계를 설명하는 문구를 추출한다.
- 상기 평판캐패시터의 일전극과 일정 폭 오버랩되며 상기 액티브영역과 접지노드용 폴리실리콘콘택을 이용하여 병렬로 연결되는 실린더형 캐패시터의 하부전극
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3근거 선택
evidence_selection연결 수단으로 명시된 '접지노드용 폴리실리콘콘택'을 핵심 근거로 선택한다.
- 접지노드용 폴리실리콘콘택을 이용하여 병렬로 연결되는 실린더형 캐패시터의 하부전극
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4논리 통합
logical_integration실린더형 캐패시터의 하부전극이 평판캐패시터의 일전극과 병렬로 연결되는 매개체는 접지노드용 폴리실리콘콘택임을 확인한다.
- 상기 평판캐패시터의 일전극과 일정 폭 오버랩되며 상기 액티브영역과 접지노드용 폴리실리콘콘택을 이용하여 병렬로 연결되는 실린더형 캐패시터의 하부전극
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로 '접지노드용 폴리실리콘콘택'을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 근거를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
접지노드용 폴리실리콘콘택
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 평판캐패시터와 실린더형 캐패시터를 병렬로 연결하기 위해 접지노드용 폴리실리콘콘택을 활용하는 전압발생기용 병렬 캐패시터 구조에 관한 것이다.