직렬전원의 병렬 출력 고주파 발생기 document_id 1019997007726

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 고주파 구동 신호는 dc 레벨을 가지며, 상기 고주파 구동 신호를 공급하는 상기 단계는 상기 dc 레벨을 가변시키는단계포함하는것을특징으로 하는단계. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 복수의 증폭기 각각에 대한 저 주파수 임피던스를 생성하여 상기 전위가 상기 저 주파수 임피던스의 결과로서 최소한 부분적으로 분할되는단계더포함하는것을특징으로 하는단계. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,적어도 하나의 상기 증폭기에 대한 저 주파수 임피던스를 생성하여 상기 전위가 상기 증폭기간에 분할되는단계더포함하는것을특징으로 하는단계. [청구항 24] 전력을 공급하기 위하여 a) dc 전위를 가진 전원 b) 적어도 하나의 고주파 구동 신호를 공급하는 적어도 하나의 구동기 c) 고주파 출력을 가진 상기 고주파 구동 신호에 응답하고, 서로간에 상기 전위 이하로 인가되어 연결되는 복수의 전력 증폭기; 및 d) 적어도 두 개의 상기 증폭기에 응답하여 적어도 하나의 신호는 상기 증폭기의 상기 고주파 출력중 어느 하나보다 큰 전력을 가지도록 형성되는 결합 회로 를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전력, 고주파 전력 발생기 [청구항 25] 제 24 항에 있어서,상기 복수의 전력 증폭기는 직렬 스트링으로 연결되고 상기 dc 전위는상기직렬 스트링양단인가되는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 26] 제 25 항에 있어서,상기 증폭기는 저 주파수 임피던스를 가져 상기 전위가상기증폭기간분할되게하는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 27] 제 25 항 또는 제 26 항에 있어서,상기 전위는 상기 증폭기간에 거의 동일하게분할되는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 28] 제 25 항에 있어서,상기 전력 증폭기간에 상기 dc 전위 분할을 제어하는바이어스전압원더포함하는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 29] 제 28 항에 있어서,상기 전위는 상기 증폭기간에 거의 동일하게분할되는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 30] 제 24 항 또는 제 25 항에 있어서,적어도 하나의 상기 증폭기는스위치모드형증폭기포함하는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 31] 제 24 항 또는 28 항에 있어서,각각의 상기 증폭기는 전류를 포함하는 출력을 가지며 상기 결합 회로는 적어도 두개의 상기 증폭기로부터 상기 전류를 부가하기 위해 배열된전기네트워트포함하는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 32] 제 31 항에 있어서,각각의 상기 증폭기는 출력을 가지며 상기 결합 회로는 각각의 상기 증폭기의 각 출력과 공통 전기 포인트간에 연결된적어도하나의직렬전기성분포함하는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 33] 제 32 항에 있어서,상기 직렬 전기 성분은 인덕터, 커패시터,또는레지스터포함하는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 34] 제 24 항에 있어서,상기 결합 회로는적어도하나의단상콤바이너포함하는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 35] 제 34 항에 있어서,상기 복수의 증폭기는 각각 고주파 출력을 가진 적어도 4개의 증폭기를 포함하고, 상기 출력은 위상을 가지며, 상기 증폭기는 쌍을 이루고, 상기 단상 콤바이너는:a) 위상을 가진 출력을 생성하기 위해 상기 증폭기로부터 상기 고주파 출력의 실제 동위상 성분을 결합시키는 각각의 상기 증폭기쌍 사이의 복수의 제1차 연결부; 및b) 적어도 두 개의 상기 제1차 연결부로부터 상기 출력의 실제 동위상 성분을 결합시키고 반응하는적어도하나의제2차연결부포함하는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 36] a) dc 전위를 가진 전원; 및 b) 산기 전위가 인가되고 고주파 신호를 출력하는 직렬 스트링 양단에 상기 한 쌍의 dc 전력 단자를 가진 복수의 전력 증폭기 를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전력, 고주파 전력 발생기 [청구항 37] 제 36 항에 있어서,상기 증폭기는 상기 전위를 상기 증폭기사이에 분할되도록 저주파수임피던스구비한것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 38] 제 36항 또는 제 37 항에 있어서,상기 전위는 상기 증폭기간에 거의 동일하게분할되는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 39] 제 36 항에 있어서,상기 전력 증폭기간에 상기 dc 전위의 분할을 제어하는바이어스전압원포함하는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 40] 제 39 항에 있어서,상기 전위는 상기 증폭기간에 거의 동일하게분할되는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 41] 제 36항 또는 제 37 항에 있어서,적어도 하나의 상기 증폭기는스위치모드형증폭기포함하는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 발생기. [청구항 42] 제 36 항 또는 제 39항에 있어서,각각의 상기 증폭기는 출력신호를 가진 적어도 하나의 단자를 더 포함하고 상기 출력 단자는 상기 증폭기로부터 상기 출력 신호를 결합하도록연결되는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 증폭기. [청구항 43] 제 36 항 또는 제 39 항에 있어서,각각의 상기 증폭기는 전류를 포함하는 출력을 구비하고 각각의 상기 증폭기로부터 상기 전류를 부가하기 위해 배열되는전기네트워크더포함하는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 증폭기. [청구항 44] 제 43 항에 있어서,각각의 상기 증폭기는 출력을 구비하고 상기 증폭기의 각각의 상기 출력과 공통 전기 포인트간에 연결된적어도하나의직렬전기성분더포함하는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 증폭기. [청구항 45] 제 44 항에 있어서,상기 직렬 전기 성분은 인덕터, 커패시터,또는레지스터포함하는것을특징으로 하는고전력, 고주파 전력 증폭기. [청구항 60] a) dc 전위를 가진 전원 b) 고주파 구동 신호를 인가하는 적어도 하나의 구동기 c) 상기 고주파 구동 신호에 응답하고, 상기 복수의 증폭기가 연결되어 각각의 상기 증폭기 양단에 상기 전위보다 적게 인가되는 복수의 전력 증폭기 d) 적어도 하나의 출력을 가진 적어도 두 개의 상기 증폭기에 응답하는 결합 회로 e) 상기 출력에 연결된 적어도 하나의 전자기 결합 소자; 및 f) 상기 전자기 결합 소자에 연결된 적어도 하나의 플라즈마 소자 를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 시스템 [청구항 61] 제 60 항에 있어서,상기 복수의 전력 증폭기는 직렬 스트링으로 연결되고, 상기 dc 전위는상기직렬 스트링양단인가되는것을특징으로 하는플라즈마 처리 시스템. [청구항 62] 제 61 항에 있어서,상기 증폭기는 상기 전위가 상기 증폭기 간에 분할 되도록 저주파수임피던스구비하는것을특징으로 하는플라즈마 처리 시스템. [청구항 63] 제 61 항 또는 제 62 항에 있어서,상기 전위는 상기 증폭기 간에 거의 동일하게분할되는것을특징으로 하는플라즈마 처리 시스템. [청구항 64] 제 61 항에 있어서,상기 전력 증폭기 간에 상기 dc 전위 분할을 제어하는바이어스전압원더포함하는것을특징으로 하는플라즈마 처리 시스템. [청구항 65] 제 64 항에 있어서,상기 전위는 상기 증폭기 간에 거의 동일하게분할되는것을특징으로 하는플라즈마 처리 시스템. [청구항 66] 제 60 항 또는 제 61 항에 있어서,적어도 하나의 증폭기는스위치 모드형증폭기포함하는것을특징으로 하는플라즈마 처리 시스템. [청구항 67] 제 60 항 또는 제64 항에 있어서,각각의 상기 증폭기는 전류를 포함하는 출력을 가지며 상기 결합 회로는 적어도 두 개의 상기 증폭기로부터 상기 전류를 부가하기 위해 배열된전기네트워크포함하는것을특징으로 하는플라즈마 처리 시스템. [청구항 68] 제 67 항에 있어서,각각의 상기 증폭기는 출력을 구비하며 상기 결합 회로는 각각의 상기 증폭기의 출력과 공통 전기 포인트 간에 연결된적어도하나의직결전기소자포함하는것을특징으로 하는플라즈마 처리 시스템. [청구항 69] 제 68 항에 있어서,상기 직렬 전기 소자는 인턱터, 커패시터,또는레지스터포함하는것을특징으로 하는플라즈마 처리 시스템. [청구항 70] 제 60 항에 있어서,상기 결합 회로는적어도하나의단상콤바이너포함하는것을특징으로 하는플라즈마 처리 시스템. [청구항 71] 제 70 하에 있어서 상기 복수의 증폭기는 고주파 출력을 가진 적어도 네 개의 증폭기를 포함하고, 상기 출력은 위상을 가지며, 상기 증폭기는 쌍을 이루고, 상기 단상 콤바이너는 a) 위상을 가진 출력을 만들기 위해 상기 증폭기로부터 상기 고주파 출력의 동위상 성분을 결합 하도록 작용하는 상기 증폭기의 각 쌍 간의 복수의 제 1 차 연결부; 및 b) 적어도 두 개의 상기 제 1 차 연결부로부터 상기 출력의 동위상 성분을 결할하도록 반응하고 작용하는 적어도 하나의 제 2 차 연결부 를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 시스템 [청구항 81] 고주파 증폭기에 구동 신호를 인가하는 장치에 있어서 a) 고주파 구동 신호원 ; b) 가변 dc 레벨 회로 ; c) 상기 고주파 구동 신호원과 상기 가변 dc 레벨 회로에 응답하고 결합 신호를 형성하는 결합 회로 d) 고주파 ; 및 e) 상기 결합 신호를 상기 고주파 증폭기에 연결하는 회로 를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치 [청구항 82] 제 81 항에 있어서,상기 고주파 구동 신호는 일정한진폭가진것을특징으로 하는장치. [청구항 83] 제 81 항 또는 제 82 항에 있어서,상기 고주파 증폭기는 임계 전압을 가지며, 상기 고주파 신호는 상기 고주파 증폭기의 상기 임계 전압과 비교하여 더 큰 것특징으로 하는장치. [청구항 84] 제어 신호를 가진 고주파 증폭기에 있어서 a) 고주파 구동 신호원 ; b) 가변 dc 레벨 회로 ; c) 상기 고주파 구동 신호원과 상기 가변 dc 레벨 회로에 응답하고 결합 신호를 형성하는 결합 회로 d) 고주파 ; 및 e) 상기 결합 신호를 상기 고주파 증폭기에 연결하는 회로; 및 f) 상기 고주파 증폭기의 출력을 제어하는 여러 가지 dc 레벨 회로 를 포함하는 것을 특징으로 하는 증폭기 [청구항 85] 제 84 항에 있어서,상기 고주파 구동 신호원은 일정한 레벨을 가진고주파구동신호생성하는것을특징으로 하는증폭기. [청구항 86] 제 84 항 또는 제 85 항에 있어서,상기 고주파 증폭기는 임계 전압을 가지며 상기 고주파 신호는 상기 고주파 증폭기의 상기 임계 전압과 비교하여 더 큰 것특징으로 하는증폭기. [청구항 87] 가변 출력 고주파 전력 발생기에 있어서 a) 고주파 구동 신호를 생성하는 출력을 가진 구동 회로 b) 가변 dc 레벨을 생성하는 가변 dc 레벨 회로 c) 상기 고주파 구동 신호와 상기 가변 dc 레벨 신호에 응답하고 결합 신호를 형성하는 결합 회로 d) 상기 증폭기가 출력 되지 않은 입력 임계 레벨 이하를 가진 고주파 증폭기 e) 상기 증폭기에 상기 결합 신호를 연결하는 커플링 회로; 및 f) 상기 고주파 신호의 가변 부분에 대한 상기 임계 레벨 이상으로 상기 결합 신호가 존속하는 상기 dc 레벨을 가변할 수 있는 제어 회로 를 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 출력 고주파 전력 발생기 [청구항 88] 제 87 항에 있어서,상기 고주파 구동 신호는 일정한진폭가진것을특징으로 하는발생기. [청구항 89] 제 87 항 또는 제 88 항에 있어서,상기 고주파 신호는 상기 고주파 증폭기의 상기 입력 임계 레벨과 비교하여 더 큰 것특징으로 하는발생기. [청구항 114] a) 고주파 증폭기에 기본 주파수에서의 입력 신호를 인가하는 구동기 b) 상기 고주파 증폭기의 전원 공급라인으로 전압을 인가하는 전원 c) 상기 기본 주파수에서 상기 전원 공급 라인을 분리시키는 공진 분리 회로 d) 고 주파수에서 고 임피던스를 제공하는 상기 전원 공급 라인에 직렬배치된 직렬 소자; 및 e) 상기 기본 주파수와는 다른 주파수에서 상기 소자로부터 에너지를 확실히 흡수하는 적어도 하나의 손실 성분 을 포함하는 것을 특징으로 하는 안정된 고주파 증폭기 [청구항 115] 제 114 항에 있어서,상기 공진 회로는 상기 기본 주파수에 역으로 병렬 공진 회로를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 116] 제 114항 또는 115 항에 있어서,상기 손실 성분은 상기 에너지를 전달하는 적어도 약간의 전류가 상기 저항 소자를 통과하도록 배치된 저항 소자를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 117] 제 114 항 또는 제 115 항에 있어서,주파수에서 고 임피던스를 제공하는 상기 소자는 로시 소자를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 118] 제 117 항에 있어서,상기 로시 소자는 로시 코아를 가진 인덕터를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 119] a) 기본 주파수에서 입력 신호를 인가하는 구동기 b) 상기 증폭기의 전원 공급라인으로 전압을 인가하는 전원 c) 상기 기본 주파수에서 상기 전원 공급 라인을 분리시키는 공진회로 d) 고 주파수에서 고 임피던스를 제공하는 상기 전원 공급 라인에 직렬 배치된 직렬 소자 e) 고 주파수에서 저 임피던스를 제공하는 상기 전원 공급 라인에 분리 배치된 분리 소자; 및 f) 상기 기본 주파수와는 다른 주파수에서 상기 직렬 및 분리 소자중 적어도 하나로부터 에너지를 확실히 흡수하는 적어도 하나의 손실 성분 을 포함하는 것을 특징으로 하는 안정된 고주파 증폭기 [청구항 120] 제 119 항에 있어서,상기 공진회로는 상기 기본 주파수에 역으로 병렬 공진 회로를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 121] 제 119 항 또는 제 120 항에 있어서,상기 손실 성분은 상기 에너지를 전달하는 적어도 약간의 전류가 상기 저항 소자를 통과하도록 배치된 저항 소자를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 122] 제 120 항 또는 제 121 항에 있어서,주파수에서 고 임피던스를 제공하는 상기 소자는 로시 소자를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 123] 제 122 항에 있어서,상기 로시 소자는 로시 코아를 가진 인덕터를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 124] a) 기본 주파수에서 입력 신호를 인가하는 구동기 b) 상기 증폭기의 전원 공급라인으로 전압을 인가하는 전원 c) 상기 기본 주파수에서 상기 전원 공급 라인을 분리시키는 공진회로 d) 고 주파수에서 고 임피던스를 제공하는 상기 전원 공급 라인에 직렬 배치된 직렬 소자 e) 상기 기본 주파수와는 다른 주파수에서 상기 직렬 및 분리 소자중 적어도 하나로부터 에너지를 확실히 흡수하는 적어도 하나의 손실 성분 을 포함하는 것을 특징으로 하는 안정된 고주파 증폭기 [청구항 125] 제 124 항에 있어서,상기 직렬 소자는 인덕터를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 126] 제 124 항 또는 제 125 항에 있어서,상기 손실 성분은 상기 에너지를 전달하는 적어도 약간의 전류가 상기 저항 소자를 통과하도록 배치된 저항 소자를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 127] 제 125 항에 있어서,상기 손실 성분은 로시 코어를 구비한 인덕터를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 128] a) 기본 주파수에서 입력 신호를 인가하는 구동기 b) 전원 공급라인을 통해 상기 증폭기로 전력을 인가하는 전원 c) 상기 기본 주파수에서 상기 전원 공급 라인을 분리시키는 공진회로 d) 고 주파수에서 고 임피던스를 가진 상기 전원 공급 라인의 직렬 소자 e) 고 주파수에서 저 임피던스를 가진 상기 전원 공급 라인의 분류 소자 및 f) 상기 기본 주파수와는 다른 주파수에서 상기 소자로부터 에너지를 확실히 흡수하는 적어도 하나의 손실 성분 을 포함하는 것을 특징으로 하는 안정된 고주파 증폭기 [청구항 129] 제 128 항에 있어서,상기 직렬 소자는 인덕터를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 130] 제 128 항에 있어서,상기 분리 소자는 커패시터를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 132] 제 128 항에 있어서,상기 손실 성분은 로시 인덕터를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 133] 제 312 항에 있어서,상기 로시 인덕터는 로시 코어를 가진 인덕터를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 134] a) 각각 고주파 출력을 가진 복수의 고주파 증폭기 b) 상기 증폭기의 상기 어떤 고주파 출력보다 큰 전력을 가진 신호를 형성하는 상기 증폭기에 응답하는 결합 회로; 및 c) 출력 신호가 상기 복수의 증폭기의 평균값과는 다른 상기 증폭기의 어느 출력으로부터 에너지를 확실히 흡수하는 손실 소자 를 포함하는 것을 특징으로 하는 안정된 고주파 증폭기 [청구항 135] 제 134 항에 있어서,상기 손실 소자는 상기 출력과 공통 노드사이에 배치된 저항 소자를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 136] 제 134 항에 있어서,상기 증폭기의 수는 짝수이고 상기 손실 소자는 상기 증폭기쌍의 출력간에 연결된 저항 소사를 포함하는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 137] 제 135 항 또는 제 136 항에 있어서,블로킹 커패시터는 적어도 하나의 상기 저항 소자와 직렬로 배치되는 것을특징으로하는안정된고주파 증폭기. [청구항 142] a) 고전력 최종 출력 단자; b) 기본 주파수에서 적어도 하나의 고 주파수 구동 신호를 공급하는 적어도 하나의 구동기 c) 각각 고 주파수 출력을 가진 상기 고 주파수 구동 신호에 응답하는 복수의 비공진 증폭기; 및 d) 적어도 두 개의 상기 증폭기에 응답하여 적어도 하나의 신호는 상기 결합 회로가 응답하는 상기 증폭기의 상기 고 주파수 출력중 어느 하나보다 더 큰 전력을 가지도록 형성되는 결합 회로; 및 e) 상기 기본주파수에 역으로 결합 회로와 상기 고전력 출력 단자간에 연결되는 적어도 하나의 필터 회로 를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전력, 고 주파수 전력 발생기 [청구항 143] 제 142 항에 있어서,각각의 상기 증폭기는 전류를 가진 출력을 가지며 상기 결합 회로는 상기 증폭기 출력으로부터 상기 전류를 부가하기 위해 배열된전기네트워트포함하는것을특징으로 하는고전력, 고 주파수 전력 발생기. [청구항 144] 제 142 항에 있어서,각각의 상기 증폭기는 출력을 가지며 상기 결합 회로는 각각의 상기 증폭기의 각 출력과 공통 전기 포인트간에 연결된적어도하나의직렬전기성분포함하는것을특징으로 하는고전력, 고 주파수 전력 발생기. [청구항 145] 제 142 항에 있어서,상기 결합 회로는적어도하나의단상콤바이너포함하는것을특징으로 하는고전력, 고 주파수 전력 발생기. [청구항 153] 증가된 반사 전력 능력을 가진 고전력 고주파 발생기에 있어서 a) 상기 디바이스에 대한 특정 다이 온도에서 정격 출력 전력을 통상 설계 로드로 보내기 위해 출력 반도체 디바이스를 가진 발생기; 및 b) 상기 정격 출력 전력에서 상기 다이 온도를 상기 설계 로드로 유지시키는데 필요한 것 이상으로 연속 냉각시키는 상기 디바이스에 대한 증가된 냉각 능력 을 포함하는 것을 특징으로 하는 고전력 고주파 발생기 [청구항 154] 제 153 항에 있어서,상기 증가된 디바이스 냉각 능력은 상기 정격 출력 전력에서 상기 디바이스의 동작을 촉진시키기 위해 제안된 것 이상의 증가된출력디바이스실리콘 다이영역포함하는것을특징으로 하는고전력 고주파 발생기. [청구항 155] 제 153 항에 있어서,상기 증가된 디바이스 냉각 능력은 상기 출력 디바이스의 총 디바이스 다이 영역을 증가시키지 않고 증가된출력디바이스의수포함하는것을특징으로 하는고전력, 고주파 발생기. [청구항 156] 제 153 항에 있어서,상기 증가된 디바이스 냉각 능력은 상기 출력 디바이스의 증가된 총영역포함하는것을특징으로 하는고전력 고주파 발생기. [청구항 157] 증가된 반사 전력 능력을 가진 고전력 고주파 발생기에 있어서 a) 상기 디바이스에 대한 특정 다이 온도에서 정격 출력 전력을 통상 설계 로드로 보내기 위해 출력 반도체 디바이스를 가진 발생기; 및 b) 상기 발생기로 설계되는데 필요한 것 이상으로 상기 디바이스의 출력 양단에 부가되는 증가된 출력 캐패시턴스 를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전력 고주파 발생기 [청구항 158] 제 157 항에 있어서,상기 출력캐패시턴스는 상기 출력 디바이스의 총 디바이스 다이 영역을 증가시키지 않고출력디바이스의수를증가부가된것을특징으로 하는고전력 고주파 발생기. [청구항 159] 제 157 항에 있어서,패시턴스는 상기 디바이스의 출력과 평행하게 부가적인 개별 캐패시턴스를부가부가된것을특징으로 하는고전력 고주파 발생기. [청구항 161] 증가된 반사 전력 능력을 가진 고전력 고주파 발생기에 있어서 a) 상기 디바이스에 대한 특정 다이 온도에서 정격 출력 전력을 통상 설계 로드로 보내기 위해 출력 반도체 디바이스를 구비한 발생기; 및 b) 상기 디바이스로 역전송되는 어떠한 반사 전력도 블로킹하는 블로킹 소자 를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전력 고주파 전력 발생기 [청구항 163] 증가된 반사 전력 능력을 가진 고전력 고주파 발생기에 있어서 a) 상기 디바이스에 대한 특정 다이 온도에서 정격 출력 전력을 통상 설계 로드로 보내기 위해 출력 반도체 디바이스를 구비한 발생기; 및 b) 상기 디바이스로 역전송되는 어떠한 반사 전력도 블로킹하는 블로킹 소자 를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전력 고주파 전력 발생기 [청구항 165] 증가된 반사 전력 능력을 가진 고주파 플라즈마 시스템에 있어서 a) dc 전위를 가진 전원 b) 고주파 구동 신호를 인가하는 적어도 하나의 구동기 c) 상기 고주파 구동 신호에 응답하는 청구항 제153,157,161, 또는 163항에 개시된 적어도 하나의 전력 증폭기; 및 d) 상기 증폭기에 응답하는 적어도 하나의 플라즈마 소자 를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템