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처리 장치 document_id 1019997010646

출원번호
1019997010646
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 가이드부는 상기 서셉터형성된그루브인처리 장치. [청구항 16] 제 14 항에 있어서,상기 정렬 링 부재는 상기 피처리체의 외주부 형상에 상보적인 형상을 갖는 내주면갖는처리 장치. [청구항 17] 제 14 항에 있어서,상기 처리 수단은 플라즈마를 이용하여 피처리체를 처리하기 위한 수단이고, 상기 서셉터는 금속 재료로 형성되고, 상기 정렬 링 부재는 상기 서셉터를 형성하는 금속 재료의 열팽창계수보다 작은 열팽창계수를 갖는 고내열성 및 고강성의 비금속 재료형성되는처리 장치. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 비금속 재료는 세라믹재료인처리 장치. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,상기 이동 조절 수단은 상기 정렬 링 부재를 따라 간격을 두고 정렬된 다수의 이동 조절 기구포함하는처리 장치. [청구항 24] 제 23 항에 있어서,상기 다수의 이동 조절 기구는 상기 정렬 링 부재를 따라 일정 간격정렬되는처리 장치. [청구항 25] 제 23 항에 있어서,이동 조절 기구는, 상기 정렬 링 부재 및 상기 서셉터중 하나상에 제공되어 상기 정렬 링 부재 및 상기 서셉터중 다른 하나로 돌출하는 돌기부와, 상기 정렬 링 부재 및 상기 서셉터중 다른 하나상에 제공되어 반경방향에서의 상기 돌기부의 상대 이동을 허용하는 동시에 상기 링 부재를 따르는 상대 이동을 방지하는가이드부를포함하는처리 장치. [청구항 26] 제 25 항에 있어서,상기 가이드부는 반경방향으로 연장되도록 상기 정렬 링 부재 및 상기 서셉터중 다른 하나내에 형성된 그루부를 구비하며, 상기 돌기부는 상기 그루브내에서 반경방향으로이동가능하게삽입되는처리 장치. [청구항 27] 제 25 항에 있어서,상기 가이드부는 반경방향으로 연장되도록 상기 정렬 링 부재에 형성된 기다란 구멍을 구비하며, 상기 돌기부는 상기 기다란 구멍내에서 반경방향으로이동가능하게삽입되는처리 장치. [청구항 28] 제 22 항에 있어서,상기 정렬 링 부재는 상기 피처리체의 외주부 형상에 대해 상보적인 형상의 내주면갖는처리 장치. [청구항 29] 제 22 항에 있어서,상기 처리 수단은 플라즈마를 사용하여 상기 피처리체를 처리하기 위한 수단을 포함하며, 상기 서셉터는 전도성 금속으로 형성되며, 상기 정렬 링 부재는 고내열성 및 고강성의 비금속 재료형성되는처리 장치. [청구항 30] 제 29 항에 있어서,상기 비금속 재료는 세라믹재료인처리 장치. [청구항 32] 제 31 항에 있어서,돌기부는 대응 기다란 가이드부내에 수용되어, 종방향에서 상기 링 부재의 내측면상의 상기 가이드부의 단부위치되는처리 장치. [청구항 35] 제 22 항에 있어서,상기 정렬 링 부재는, 상기 정렬 링 부재의 상기 플랫 표면에 평행한 다른 플랫 표면구비하는처리 장치. [청구항 36] 제 22 항에 있어서,상기 정렬 링 부재는, 상기 정렬 링 부재의 상기 플랫 표면에 수직한 내주면갖는처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
처리 장치의 정렬 링 부재와 서셉터에 제공되는 이동 조절 기구의 돌기부 및 가이드부는 어떠한 방식으로 구성되어 반경방향의 상대 이동을 허용하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    정렬 링 부재와 서셉터 사이의 이동 조절 기구(돌기부 및 가이드부)가 반경방향의 상대 이동을 허용하는 구성 방식을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 25항과 26항에서 돌기부와 가이드부의 정의 및 상호 관계를 추출한다.

    • 이동 조절 기구는, 상기 정렬 링 부재 및 상기 서셉터중 하나상에 제공되어 상기 정렬 링 부재 및 상기 서셉터중 다른 하나로 돌출하는 돌기부와, 상기 정렬 링 부재 및 상기 서셉터중 다른 하나상에 제공되어 반경방향에서의 상기 돌기부의 상대 이동을 허용하는 동시에 상기 링 부재를 따르는 상대 이동을 방지하는가이드부를포함하는처리 장치
    • 상기 가이드부는 반경방향으로 연장되도록 상기 정렬 링 부재 및 상기 서셉터중 다른 하나내에 형성된 그루부를 구비하며, 상기 돌기부는 상기 그루브내에서 반경방향으로이동가능하게삽입되는처리 장치
  3. 3근거 선택evidence_selection

    반경방향 이동을 가능하게 하는 구체적인 구조적 특징인 '그루브(그루브)'와 '돌기부의 삽입'에 관한 구절을 선택한다.

    • 상기 가이드부는 반경방향으로 연장되도록 상기 정렬 링 부재 및 상기 서셉터중 다른 하나내에 형성된 그루부를 구비하며, 상기 돌기부는 상기 그루브내에서 반경방향으로이동가능하게삽입되는처리 장치
  4. 4논리 통합logical_integration

    돌기부가 한 구성 요소에서 다른 구성 요소로 돌출되고, 반경방향으로 연장된 그루브(가이드부) 내에 삽입됨으로써 반경방향의 상대 이동이 허용됨을 논리적으로 연결한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    돌기부가 한 구성 요소에서 다른 구성 요소로 돌출되고, 반경방향으로 연장된 그루브 내에 삽입되어 반경방향 이동을 허용한다는 결론을 도출한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대해 구성 방식과 작동 원리를 포함하여 답변을 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
이동 조절 기구의 돌기부는 정렬 링 부재 및 서셉터 중 하나에 제공되어 다른 하나로 돌출되며, 가이드부는 정렬 링 부재 및 서셉터 중 다른 하나 내에 반경방향으로 연장되도록 형성된 그루브를 구비한다. 이때 돌기부가 상기 그루브 내에서 반경방향으로 이동 가능하게 삽입됨으로써 반경방향의 상대 이동을 허용하고, 동시에 링 부재를 따르는 상대 이동은 방지하도록 구성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
정렬 링 부재와 서셉터 간의 반경방향 위치 조절을 위해, 돌출된 돌기부가 반경방향으로 연장된 그루브(가이드부) 내에서 슬라이딩 이동할 수 있도록 설계된 구조적 특징을 나타낸다.