문맥 (context)
[청구항 31]
제30항에 있어서,상기 금속증착 방지막은절연체막인것을특징으로 하는콘택 구조체.
[청구항 32]
제31항에 있어서,상기 절연체막은금속산화막인것을특징으로 하는콘택 구조체.
[청구항 33]
제32항에 있어서,상기 금속산화막은 알루미늄 산화막(al2o3), 타이타늄 산화막(tio2), 또는 탄탈륨산화막인것을특징으로 하는콘택 구조체.
[청구항 34]
제31항에 있어서,상기 절연체막은알루미늄 질화막인것을특징으로 하는콘택 구조체.
[청구항 35]
제30항에 있어서,상기 금속증착 방지막 및 상기 층간절연막 패턴 사이에 개재된도전층더구비하는것을특징으로 하는콘택 구조체.
[청구항 36]
제35항에 있어서,상기 도전층은 산화성이 우수한금속막인것을특징으로 하는콘택 구조체.
[청구항 37]
제36항에 있어서,상기 산화성이 우수한 금속막은 알루미늄막, 타이타늄막, 탄탈륨막, 이트륨막, 지르코늄막, 크롬막, 코발트막,또는니켈막인것을특징으로 하는콘택 구조체.
[청구항 38]
제30항에 있어서,상기 제2 도전층은 알루미늄막또는알루미늄 합금막인것을특징으로 하는콘택 구조체.
[청구항 39]
제30항에 있어서,상기 제1 도전층은 하부 금속배선인것을특징으로 하는콘택 구조체.
[청구항 40]
제39항에 있어서,상기 하부 금속배선은 알루미늄막, 알루미늄 합금막,또는텅스텐막인것을특징으로 하는콘택 구조체.
[청구항 41]
제40항에 있어서,상기 금속증착 방지막 및 상기 층간절연막 패턴 사이에 개재되고, 상기 콘택홀의 바닥 및 측벽 상에 형성된 콘포말한금속막더구비하는것을특징으로 하는콘택 구조체.
[청구항 42]
제41항에 있어서,상기 콘포말한 금속막은 웨팅막 및 장벽금속막이 차례로 적층된 구조를 갖거나 상기 웨팅막및상기장벽금속막중하나인것을특징으로 하는콘택 구조체.
[청구항 43]
제41항에 있어서,타이타늄막 또는 탄탈륨막인것을특징으로 하는콘택 구조체.
[청구항 44]
제30항에 있어서,상기 제1 도전층은 불순물층,폴리실리콘막또는내화성금속실리사이드막인것을특징으로 하는콘택 구조체.
[청구항 45]
제44항에 있어서,상기 금속증착 방지막 및 상기 층간절연막 패턴 사이에 개재되고, 상기 콘택홀의 바닥 및 측벽 상에 형성된 콘포말한금속막더구비하는것을특징으로 하는콘택 구조체.
[청구항 46]
제45항에 있어서,상기 콘포말한 금속막은 저항성 금속막 및 장벽금속막이 차례로 적층된구조갖는것을특징으로 하는콘택 구조체.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
콘택 구조체에서 금속증착 방지막이 절연체막인 경우, 해당 절연체막이 금속산화막일 때 선택 가능한 구체적인 산화물의 종류는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation콘택 구조체의 금속증착 방지막이 절연체막이고, 그 절연체막이 금속산화막일 때의 구체적인 산화물 종류를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 31항에서 금속증착 방지막이 절연체막임을 확인하고, 청구항 32항에서 절연체막이 금속산화막인 경우를 특정한다.
- 상기 금속증착 방지막은절연체막인것을특징으로 하는콘택 구조체
- 상기 절연체막은금속산화막인것을특징으로 하는콘택 구조체
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3근거 선택
evidence_selection금속산화막의 구체적인 종류가 명시된 청구항 33항의 내용을 선택한다.
- 상기 금속산화막은 알루미늄 산화막(al2o3), 타이타늄 산화막(tio2), 또는 탄탈륨산화막인것을특징으로 하는콘택 구조체
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4논리 통합
logical_integration금속증착 방지막(절연체막) -> 금속산화막 -> 알루미늄 산화막, 타이타늄 산화막, 탄탈륨 산화막으로 이어지는 계층적 구조를 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 구체적인 산화물의 종류는 알루미늄 산화막(al2o3), 타이타늄 산화막(tio2), 탄탈륨 산화막이다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 산화물 종류를 리스트 형식으로 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
알루미늄 산화막(al2o3), 타이타늄 산화막(tio2), 탄탈륨 산화막
핵심 해석 (core_interpretation)
콘택 구조체의 금속증착 방지막으로 사용되는 절연체막 중 금속산화막의 구체적인 구성 성분(알루미늄, 타이타늄, 탄탈륨 산화물)을 정의하고 있다.