문맥 (context)
[청구항 1]
다수개의 약액 공급용 탱크에 충전될 약액이 들어있는 약액 충전용 탱크와
상기 약액 공급용 탱크와 약액 충전용 탱크 사이의 배관에 설치되어 충전되는 상기 약액을 필터링하는 필터부와
상기 약액 충전용 탱크에 배관으로 연결되어 고압의 질소가스를 공급하여 상기 약액이 상기 질소가스의 가압력에 의해 상기 약액 공급용 탱크에 공급되도록 하는 가압수단과
상기 가압수단의 배관에 연결되어 상기 가압수단에서 가압되는 상기 질소가스의 가압력 이상 발생 또는 배기수단으로 상기 약액 충전용 탱크에서 배기되는 상기 질소가스의 배기압력을 감지하는 감지수단과
상기 가압수단의 배관에 연결되어 상기 감지수단에서 상기 질소가스의 가압력 이상을 감지하면 상기 질소가스를 외부에 배기시키거나 또는 상기 약액 공급탱크에 가압된 상기 질소가스를 외부에 배기시켜 상기 약액 충전용 탱크의 내부 압력을 일정하게 유지시키는 배기수단을 포함하여 이루어진 반도체 제조용 약액 충전장치
[청구항 2]
청구항 1 에 있어서,상기 가압수단은,상기 질소가스가 공급되는 배관에 설치된 레귤레이터와;상기 레귤레이터에 연결되어 질소가스의 양을 계측하는 유량계와;상기 유량계에 연결되어 상기 약액 충전탱크에 상기 질소가스가 공급되는 것을 제어하는 개폐 밸브와;상기 약액 공급탱크에 공급된 상기 질소가스의 역류를 방지하는체크밸브로이루어진것특징인반도체 제조용 약액 충전장치.
[청구항 3]
청구항 1 또는 2 에 있어서,상기 약액 충전탱크에 공급되는 질소가스의 압력은 1.5 ~ 2.0 인 것특징인반도체 제조용 약액 충전장치.
[청구항 4]
청구항 1 에 있어서,상기 배기수단은,상기 약액 공급탱크와 외부 배기장치 사이의 배관에 설치되어 상기 감지수단에 의해 개폐가 제어되는개폐밸브인것특징인반도체 제조용 약액 충전장치.
[청구항 5]
청구항 1 에 있어서,상기 감지수단은 0.1 ~ 2.0 의 압력 측정범위를 갖는압력감지센서인것특징인반도체 제조용 약액 충전장치.
[청구항 6]
청구항 5 에 있어서,상기 압력 센서에는알람수단부착된것특징인반도체 제조용 약액 충전장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 제조용 약액 충전장치에서 약액 충전용 탱크의 내부 압력을 일정하게 유지하기 위해 배기수단이 작동하는 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation약액 충전용 탱크의 내부 압력을 일정하게 유지하기 위해 배기수단이 작동하는 특정 조건을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 배기수단의 역할과 작동 조건에 관한 기술적 구성을 추출한다.
- 상기 감지수단에서 상기 질소가스의 가압력 이상을 감지하면 상기 질소가스를 외부에 배기시키거나 또는 상기 약액 공급탱크에 가압된 상기 질소가스를 외부에 배기시켜 상기 약액 충전용 탱크의 내부 압력을 일정하게 유지시키는 배기수단
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3근거 선택
evidence_selection배기수단의 작동 조건인 '감지수단에서 질소가스의 가압력 이상을 감지하는 상황'을 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 감지수단에서 상기 질소가스의 가압력 이상을 감지하면
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4논리 통합
logical_integration감지수단이 질소가스의 가압력 이상을 감지할 때, 배기수단이 작동하여 질소가스를 외부로 배기함으로써 압력을 일정하게 유지한다는 인과관계를 도출한다.
- 상기 감지수단에서 상기 질소가스의 가압력 이상을 감지하면 상기 질소가스를 외부에 배기시키거나 또는 상기 약액 공급탱크에 가압된 상기 질소가스를 외부에 배기시켜 상기 약액 충전용 탱크의 내부 압력을 일정하게 유지시키는 배기수단
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 작동 조건은 '감지수단에서 질소가스의 가압력 이상을 감지할 때'임을 확정한다.
- 상기 감지수단에서 상기 질소가스의 가압력 이상을 감지하면
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6답변 생성
answer_generation추출된 근거를 바탕으로 질문에 대한 직접적인 답변을 작성한다.
- 상기 감지수단에서 상기 질소가스의 가압력 이상을 감지하면
최종 답변 (final_answer)
상기 감지수단에서 상기 질소가스의 가압력 이상을 감지하면
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 감지수단을 통해 질소가스의 가압력 이상을 실시간으로 모니터링하고, 이상 발생 시 배기수단을 통해 질소가스를 배출함으로써 약액 충전용 탱크의 내부 압력을 일정하게 제어하는 기술에 관한 것이다.