금속 메쉬 그리드를 채용한 전계 방출 소자 및 그 제작방법과 방출 전자의 포커싱 방법 document_id 1020000007115

[청구항 1] 일정한 간격을 두고 서로 대향되게 배치된 전면 기판 및 배면 기판 상기 배면 기판 상에 스트라이프 상으로 형성된 음극들 상기 배면 기판 및 음극들 상에 도포되어 상기 음극이 일정한 규칙적으로 노출되게 하는 홀들을 갖는 절연층 상기 절연층 상에 상기 음극들과 교차하는 방향의 스트라이프 상으로 형성되어 상기 홀들에 대응하는 개구부를 갖는 게이트들 상기 홀들에 의해 노출된 음극 상에 형성된 마이크로팁들 상기 전면 기판 상에 상기 음극들과 교차하는 방향의 스트라이프 상으로 배치된 양극들; 및 상기 양극들 상에 도포된 형광체 를 구비한 전계 방출 소자에 있어서, 상기 게이트와 상기 양극들 사이의 공간에 상기 양극들과 상기 음극들의 교차점들에 대응하는 영역들에 상기 마이크로팁들로부터 방출된 전자들이 통과할 수 있도록 하는 개구부가 형성된 금속 메쉬 그리드 를 구비한 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 금속 메쉬 그리드는 음극과 나란한 방향으로 요철 형태로 형성된 막대 모양의 스페이서에 지지되며, 상기 스페이서의 요철에서의 돌출부가 삽입되는절개부형성된것을특징으로 하는전계 방출 소자. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 금속 메쉬 그리드의 상기 게이트 대향면 상에는절연막코팅된것을특징으로 하는전계 방출 소자. [청구항 4] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 금속 메쉬 그리드는스테인리스강형성된것을특징으로 하는전계 방출 소자. [청구항 5] 제2항에 있어서,상기 스페이서는유리형성된것을특징으로 하는전계 방출 소자. [청구항 6] 제2항에 있어서,상기 전면 기판의 양쪽 가장자리에는 상기 막대 모양의 스페이서 가장자리가 각각 결합되는 홈들을 갖는 스페이서 홀더;가 부착되고, 상기 전면 기판의 4개의 가장자리 중 상기 스페이서 홀더가 형성되지 않는 가장자리에는 상기 금속 메쉬 그리드를 지지하는 유리 홀더 및 이 유리 홀더에 연이은 상기 전면 기판의 영역에 상기 금속 메쉬 그리드에 전압을 인가하기 위한전극단자형성된것을특징으로 하는전계 방출 소자. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기(나) 단계에서 상기 메쉬 그리드의 각 개구부는 상기 각 형광체 색상과 일대일로 대응되도록형성된것을특징으로 하는전계 방출 소자의 제작 방법.(메쉬 그리드(19)의 두께는 약 50~100μm로 한다.) [청구항 19] 제18항에 있어서,상기(다) 단계에서, 상기 메쉬 그리드의 인가 전압을 0v로 하고, 상기 메쉬 그리드와 게이트 간의 간격(d3-tmesh)을 100 μm 조절하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자의 방출 전자 포커싱 방법.(이 청구항의 모든 치수 즉 양극과 게이트와 의 메쉬 그리드 상호 간의 간격 및 인가 전압이총체적정의되어야유효할 것을사료됨)