대용량 고밀도 플라즈마 발생장치 document_id 1020000007609

[청구항 1] 흡기구와 배기구가 형성된 절연케이스의 내 공간부에 방전전원이 공급되는 도전성 양극판과 도전성 음극판을 마주보게 설치하고, 상기 양극판과 음극판 사이에 흡기구와 연결되는 기로를 형성하고, 음극판에 복수 개의 통공을 조밀한 간격으로 형성한 다음 반전공간부를 갖는 음극관을 각각 고정하고, 음극관과 1 1로 대응하는 위치의 양극판에 양극봉을 고정시킨 다음 음극관과 양극봉을 결합하여 고밀도의 플라즈마가 발생되게 하고, 음극판과 케이스 사이에 배기로를 형성하여 발생된 고밀도의 플라즈마가 합류된 다음 배기구로 배출되게 하고, 흡기구에 탈ㆍ부착형 에어필터를 설치하고, 급기구 또는 배기구에 흡기수단이나 급기수단을 설치함을 특징으로 하는 대용량 고밀도 플라즈마 발생장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,음극관은 5°~15°의 경사각도(θ)를 유지하도록 하여배출방향구성함을특징으로 하는대용량 고밀도 플라즈마 발생장치. [청구항 3] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,양극판에 고정되는 양극봉은 나사구조로 체결하여 양극봉과 음극관의 정확한 센터링과 교환특징으로 하는대용량 고밀도 플라즈마 발생장치. [청구항 4] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,음극관과 양극봉은 45°전ㆍ후의 기울기 (θ2)로 하향특징으로 하는대용량 고밀도 플라즈마 발생장치. [청구항 5] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,음극판과 양극판은 평판형으로평행설치함을특징으로 하는대용량 고밀도 플라즈마 발생장치. [청구항 6] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,음극판과 양극판nan은내통과외통구조의원통형구성함을특징으로 하는대용량 고밀도 플라즈마 발생장치. [청구항 7] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,음극판과 양극판nan은내통과외통구조의사각형구성함을특징으로 하는대용량 고밀도 플라즈마 발생장치. [청구항 8] 제 6 항에 있어서,음극판과 양극판은 내통과 외통 구조의 원통형으로 구성하는 경우 복수 개의 양극봉(8)이 설치되는 도전성 외통(10)과 복수 개의 음극관 (12)이 설치되는 도전성 내통(14)을 상ㆍ하 절연재(20)(22)로 이격설치하여 그 사이에 기공(58)과 연결되는 기로(36)를 형성하고, 절연재(20)(22)의 상ㆍ하부에 상부몸체(16)와 하부몸체(18)를 각각 설치하고, 상부몸체(16)에 에어필터(24)와 흡기구(28)를 설치하고, 하부몸체(18)에 배기구(34)를 형성하고, 내통(14)의 중앙부에 플라즈마가 합류하는 중공부(38)를 형성하고, 내통(14)의 상부에 차단부재설치하여서 된대용량 고밀도 플라즈마 발생장치. [청구항 9] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,양극판(70a)을 중심으로 그 양측에 음극판 (72)(72a)을 평행하도록 이격 설치한 다음 급전선(54)(56)으로 방전전원(44)을 공급하고, 양극판(70a)의 좌ㆍ우측으로 양극봉(80)(80a)을 고정시켜 음극관(76)(76a)의 방전공간부(84)(84a)에 1:1로 위치하도록 하고, 양극판(70a)과 음극판(72)(72a) 사이에 에어필터(86a) 및 흡기구(88a)와 연결되는 기로(74)(74a)를 형성하고, 음극판(72)(72a)과 케이스(68a) 사이에 배기구(92a)와 연결되고 프라즈마가 합류하는 배기로(78)(78a)를 각각 형성하여 합류된 대용량 고밀도의 플라즈마가 배기구(92a)로배출되게구성함을특징으로 하는대용량 고밀도 플라즈마 발생장치.