문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 기울기조절부는 상기 제1위치이동부의 상면에 형성되는 호형 가이드홈과 호형 가이드홈의 내를 왕복운동하는 호형 운동자를 포함하는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 스테이지에 인접한 칼럼의 하단부에 근접거리센서가 마련되어 있는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 기울기조절부는 상기 제2위치이동부와 상기 제1위치이동부의 사이에 위치하는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 스테이지에 인접한 칼럼의 하단부에 근접거리센서가 마련되어 있는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 제1위치이동부는 수직방향으로 승하강운동하는 프레임에 설치되어 있는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 기울기조절부는 상기 제1위치이동부의 상면에 형성되는 호형 가이드홈과 호형 가이드홈의 내를 왕복운동하는 호형 운동자를 포함하는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 8]
제6항 또는 제7항에 있어서,상기 스테이지에 인접한 칼럼의 하단부에 근접거리센서가 마련되어 있는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 9]
제6항에 있어서,상기 기울기조절부는 상기 제2위치이동부와 상기 제1위치이동부의 사이에 위치하는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 스테이지에 인접한 칼럼의 하단부에 근접거리센서가 마련되어 있는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 12]
제11항에 있어서,상기 기울기조절부는 상기 제1위치이동부의 상면에 형성되는 호형 가이드홈과 호형 가이드홈의 내를 왕복운동하는 호형 운동자를 포함하는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 13]
제11항 또는 제12항에 있어서,상기 스테이지에 인접한 칼럼의 하단부에 근접거리센서가 마련되어 있는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 14]
제11항에 있어서,상기 기울기조절부는 상기 제2위치이동부와 상기 제1위치이동부의 사이에 위치하는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 스테이지에 인접한 칼럼의 하단부에 근접거리센서가 마련되어 있는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 16]
제11항에 있어서,상기 제1위치이동부는 수직방향으로 승하강운동하는 프레임에 설치되어 있는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 17]
제16항에 있어서,상기 기울기조절부는 상기 제1위치이동부의 상면에 형성되는 호형 가이드홈과 호형 가이드홈의 내를 왕복운동하는 호형 운동자를 포함하는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 18]
제16항 또는 제17항에 있어서,상기 스테이지에 인접한 칼럼의 하단부에 근접거리센서가 마련되어 있는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 19]
제16항에 있어서,상기 기울기조절부는 상기 제2위치이동부와 상기 제1위치이동부의 사이에 위치하는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
[청구항 20]
제19항에 있어서,상기 스테이지에 인접한 칼럼의 하단부에 근접거리센서가 마련되어 있는 것을특징으로하는집속된이온빔장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
집속 이온 빔 장치에서 기울기조절부가 제1위치이동부의 상면에 형성된 호형 가이드홈과 호형 운동자를 포함하도록 구성되기 위한 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기울기조절부가 제1위치이동부 상면의 호형 가이드홈과 호형 운동자를 포함하기 위한 전제 조건을 찾는다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2, 7, 12, 17에서 기울기조절부의 구성 요소(호형 가이드홈, 호형 운동자)를 언급하는 내용을 추출한다.
- 상기 기울기조절부는 상기 제1위치이동부의 상면에 형성되는 호형 가이드홈과 호형 가이드홈의 내를 왕복운동하는 호형 운동자를 포함하는 것을특징으로하는집속된이온빔장치
- 상기 제1위치이동부는 수직방향으로 승하강운동하는 프레임에 설치되어 있는 것을특징으로하는집속된이온빔장치
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3근거 선택
evidence_selection해당 구성을 포함하는 청구항들이 인용하고 있는 상위 청구항의 조건을 확인한다.
- 상기 기울기조절부는 상기 제1위치이동부의 상면에 형성되는 호형 가이드홈과 호형 가이드홈의 내를 왕복운동하는 호형 운동자를 포함하는 것을특징으로하는집속된이온빔장치
- 상기 제1위치이동부는 수직방향으로 승하강운동하는 프레임에 설치되어 있는 것을특징으로하는집속된이온빔장치
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4논리 통합
logical_integration청구항 7의 경우 제6항을 인용하며, 제6항은 제1위치이동부가 수직방향으로 승하강운동하는 프레임에 설치되어 있음을 조건으로 한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation기울기조절부의 구성을 위한 직접적인 조건은 제1위치이동부가 수직방향으로 승하강운동하는 프레임에 설치되어 있는 것이다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 조건을 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
상기 제1위치이동부는 수직방향으로 승하강운동하는 프레임에 설치되어 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기울기조절부가 호형 가이드홈과 호형 운동자를 포함하여 구성되기 위해서는 제1위치이동부가 수직 방향으로 승하강 운동을 하는 프레임에 설치되어 있어야 한다.