웨이퍼 핸들링 로봇용 기계식 그리퍼 document_id 1020000013813

[청구항 14] 제 13 항에 있어서,하나 이상의 상기 죔쇠 핑거는 상기 피가공재 핸들링 부재에 피봇가능하게 장착되며,하나 이상의 상기 죔쇠 핑거와 결합하고 상기 로봇 아암이 소정의 전진위치에 도달할 때 하나 이상의 상기 죔쇠 핑거를 피가공재로부터 이격 이동시키도록 구성 및 위치설정되는 상기 로봇 아암에 부착되는 병진운동 부재더 포함하는,조임기구. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 레버기구는하나 이상의 상기 죔쇠 핑거에 이동가능하게 연결되는 만곡부재, 및하나 이상의 상기 죔쇠 핑거와 결합하고 상기 로봇 아암이 소정의 전진위치에 도달할 때 하나 이상의 상기 죔쇠 핑거를 피가공재로부터 이격 이동시키도록 구성 및 위치설정되는 상기 병진운동 부재와의 선택적인 결합을 위해 상기 만곡부재에 결합되는 접촉 패드더 포함하는,조임기구. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 레버기구는상기 피가공재 핸들링 부재에 피봇가능하게 장착되고 단부를 갖는 레버, 및상기 병진운동 부재와의 선택적인 맞물림을 위해 상기 단부 근처의 상기 레버에 연결되는 접촉 패드를 더 포함하며,상기 만곡부재의 접촉 패드는 상기 레버와 선택적으로 맞물리도록 위치설정되어, 상기 병진운동 부재와 상기 레버와의 결합으로 인해 하나 이상의 상기 죔쇠 핑거가 결합함으로써 상기 로봇 아암이 소정의 전진위치에 도달할 때, 상기 죔쇠 핑거가 피가공재로부터 이격이동하는,조임기구. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,서로 이격되어 장착되는 2개의 죔쇠 핑거를 더 포함하고, 상기 만곡부재는 상기 죔쇠 핑거에 부착되며 상기 접촉 패드와 병진운동 부재의 결합시 상기 죔쇠 핑거가 이격이동되도록 하는,조임기구. [청구항 18] 제 15 항에 있어서,상기 피가공재 핸들링 부재에 부착되며 상기 피가공재로부터 이격되는 하나 이상의 상기 죔쇠 핑거의 이동을 제한하도록 구성 및 위치설정되는 스톱부재더 포함하는,조임기구. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,상기 편향부재는 하나 이상의스프링인,로봇. [청구항 24] 제 23 항에 있어서,상기 손목 하우징에 피봇가능하게 장착되는 레버더 포함하는,로봇. [청구항 25] 제 24 항에 있어서,상기 손목 하우징에 부착되며, 하나 이상의 상기 죔쇠 핑거가 상기 피가공재로부터의 이격 이동을 제한하도록 구성 및 위치설정되는 스톱부재더 포함하는,로봇. [청구항 26] 제 25 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 아암의 동일한 방향으로의 회전은 2개의 독립적인 운동 중 하나로 변환되며, 상기 제 1 및 제 2 아암의 반대 방향으로의 회전은 2개의 독립적인 운동 중 다른 하나변환되는,로봇. [청구항 28] 제 27 항에 있어서,서로에 대해 이격된 관계로 장착되는 두 개의 죔쇠 핑거를 더 포함하고,상기 만곡부재는 상기 죔쇠 핑거에 부착되고 상기 병진 운동 레버와 상기 접촉 패드와의 결합시 상기 죔쇠 핑거가 상기 피가공재이격되어이동하도록 하는,로봇 조립체. [청구항 29] 제 28 항에 있어서,하나 이상의 상기 아암 중 하나 이상에 연결되어 상기 병진운동 레버에 결합되는 병진운동 부재를 더 포함하고,상기 병진운동 부재와 상기 병진 운동 레버의 결합시, 상기 병진운동 레버가 상기 접촉 패드결합되는,로봇 조립체. [청구항 30] 제 27 항에 있어서,하나 이상의 상기 죔쇠 핑거는 상기 웨이퍼의 대향 측부에 근접하여 위치하는 제 1 죔쇠 핑거와 제 2 죔쇠 핑거포함하는,로봇 조립체. [청구항 32] 제 31 항에 있어서,상기 병진운동 레버는 상단부,상기 병진운동 부재와의 선택적인 맞물림을 위해 상기 단부 근처의 접촉부를 포함하며,상기 로봇 아암이 소정의 전진 위치에 도달될 때 상기 병진운동 부재는 상기 접촉부결합하는,조임 기구. [청구항 33] 제 32 항에 있어서,서로에 대해 이격된 관계로 장착되는 두 개의 죔쇠 핑거를 더 포함하고,상기 만곡부재는 상기 죔쇠 핑거에 부착되며 상기 병진운동 레버와 상기 접촉 패드의 결합시 상기 죔쇠 핑거를 이격이동시키는,조임 기구. [청구항 34] 제 31 항에 있어서,상기 피가공재 핸들링 부재에 부착되고 상기 피가공재로부터의 하나 이상의 상기 죔쇠 핑거의 이동을 제한하도록 구성 및 위치설정되는 스톱부재더 포함하는,조임 기구. [청구항 36] 제 35 항에 있어서,상기 편향부재는 하나 이상의스프링인,로봇. [청구항 37] 제 35 항에 있어서,손목 하우징에 부착되고 상기 피가공재로부터의 하나 이상의 상기 죔쇠 핑거의 이동을 제한하도록 구성 및 위치설정되는 스톱부재더 포함하는,로봇. [청구항 38] 제 37 항에 있어서,방향으로의 상기 제 1 및 제 2 아암의 회전은 두 개의 독립적인 운동 중 하나로 변환되고 반대 방향으로의 상기 제 1 및 제 2 아암의 회전은 상기 두 개의 독립 운동 중 다른 하나변환되는,로봇. [청구항 39] 제 27 항에 있어서,상기 손목 하우징에 부착되고 상기 피가공재로부터의 하나 이상의 상기 죔쇠 핑거의 이동을 제한하도록 구성 및 위치설정되는 스톱부재더 포함하는,로봇 조립체. [청구항 40] 제 39 항에 있어서,상기 편향부재는 하나 이상의스프링인,로봇 조립체. [청구항 41] 제 40 항에 있어서,서로 이격된 관계로 장착되고 상기 스프링에 연결되는 두 개의 죔쇠 핑거더 포함하는,로봇 조립체. [청구항 43] 제 42 항에 있어서,하나 이상의 상기 죔쇠 핑거는 상기 손목 하우징에 피봇가능하게 장착되고 하나 이상의 상기 아암이 소정의 전진 위치에 도달할 때 상기 접촉 부재는 하나 이상의 상기 죔쇠 핑거가 상기 피가공재로부터 이격이동하도록 하는,로봇 조립체. [청구항 44] 제 43 항에 있어서,상기 손목 하우징에 부착되고 상기 피가공재로부터의 하나 이상의 상기 죔쇠 핑거의 이동을 제한하도록 구성 및 위치설정되는 스톱부재더 포함하는,로봇 조립체. [청구항 45] 제 44 항에 있어서,상기 편향부재는 하나 이상의스프링인,로봇 조립체. [청구항 46] 제 45 항에 있어서,서로에 대해 이격된 관계로 장착되고 하나 이상의 상기 스프링에 연결되는 두 개의 죔쇠 핑거더 포함하는,로봇 조립체. [청구항 47] 제 42 항에 있어서,하나 이상의 상기 죔쇠 핑거는 제 1 죔쇠 핑거 및 제 2 죔쇠 핑거를 포함하고, 상기 죔쇠 핑거들은웨이퍼의대향측부근접하여위치하는,로봇 조립체. [청구항 49] 제 48 항에 있어서,상기 레버 장치는 상기 로봇 아암과 상기 피가공재 핸들링 부재 사이의 상대적인각도적회전에의해결합되는,로봇 조립체. [청구항 50] 제 49 항에 있어서,하나 이상의 상기 죔쇠 핑거는 상기 피가공재 핸들링 부재에피봇가능하게장착되는,로봇 조립체. [청구항 52] 제 51 항에 있어서,상기 손목 하우징에 부착되고 상기 피가공재로부터의 하나 이상의 상기 죔쇠 핑거의 이격 이동을 제한하기 위해 위치설정되는 정지 부재더 포함하는,로봇 아암 조립체. [청구항 54] 제 53 항에 있어서,상기 편향부재는 하나 이상의스프링인,로봇. [청구항 55] 제 54 항에 있어서,상기 손목 하우징에 부착되고 상기 피가공재로부터 하나 이상의 상기 죔쇠 핑거의 이격 이동을 제한하도록 위치설정되는,로봇. [청구항 56] 제 55 항에 있어서,방향으로의 상기 제 1 및 제 2 아암의 회전은 두 개의 독립적인 운동 중 하나로 변환되고 반대 방향으로의 상기 제 1 및 제 2 아암의 회전은 두 개의 독립적인 운동 중 다른 하나변환되는,로봇.