문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 복수의 구동요소는복수의종류의구동요소포함하는것을특징으로 하는하전입자선노광장치.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,상기 복수의 구동요소는 하전입자선을 편향시키는 편향기포함하는것을특징으로 하는하전입자선노광장치.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,상기 복수의 구동요소는 피노광물에 대한 하전입자선의 조사를 제어하는조사제어부포함하는것을특징으로 하는하전입자선노광장치.
[청구항 5]
제 4항에 있어서,상기 조사제어부는, 하전입자선과 하전입자선의 조사시간으로 피노광체를 조사하거나, 또는 하전입자선이나 하전입자선의 조사시간으로피노광체제어하는것을특징으로 하는하전입자선노광장치.
[청구항 6]
제 1항에 있어서,상기 복수의 구동요소는,하전입자선을 편향하여 이 하전입자선으로 피노광물의 서브필드를 주사하는 제 1편향기와;하전입자선을 편향하여 피주사 서브필드를 변경하는제2편향기포함하는것을특징으로 하는하전입자선노광장치.
[청구항 7]
제 1항에 있어서,상기 하전입자선노광장치는,하전입자선원과;상기 하전입자선원에 의해 사출된 하전입자선을 피노광물 위에 투사하는 전자광학계와;를 부가하여 포함하고,상기 복수의 구동요소는 상기 전자광학계의 초점위치를 보정하는포커스보정유닛포함하는것을특징으로 하는하전입자선노광장치.
[청구항 8]
제 1항에 있어서,하전입자선을 생성하는 하전입자선원과;상기 하전입자선원에 의해 사출된 하전입자선을 피노광물위에 투사하는 전자광학계와;를 부가하여 포함하고,상기 복수의 구동요소는 상기 전자광학계의 비점수차를 보정하는비점수차보정유닛포함하는것을특징으로 하는하전입자선노광장치.
[청구항 9]
제 1항에 있어서,상기 하전입자선노광장치는,하전입자선을 생성하는 하전입자선원과;상기 하전입자선원에 의해 방출된 하전입자선을 피노광물 위에 투사하는 전자광학계와;를 부가하여 포함하고,상기 복수의 구동요소는,하전입자선을 편향하는 편향기와;피노광물에 대한 하전입사선의 조사를 제어하는 조사제어부와;상기 전자광학계의 비점수차를 보정하는 비점수차보정유닛포함하는 것을특징으로 하전입자선노광장치.
[청구항 10]
제 1항에 있어서,상기 복수의 구동데이터메모리는, 하전입자선의 조사를 제어하는 상기 구동요소를 구동하는 조사제어데이터로서 구동데이터열을 기억하는 조사제어데이터메모리를 포함하고,상기 조사제어데이터메모리는, 피노광물의 각 유닛영역에서 묘화하는데 필요한 조사제어데이터를 기억하는 복수의 유닛영역데이터메모리를 포함하고, 상기 클럭패턴메모리에 기억된 복수의 동작명령데이터열은 상기 복수의 유닛영역데이터메모리를 순차적으로 선택하는동작명령데이터열포함하는것을특징으로 하는하전입자선노광장치.
[청구항 11]
제 1항에 있어서,상기 하전입자선노광장치는, 복수의 하전입자선을 생성하는 하전입자선원을 부가하여 포함하고, 복수의 하전입자선을 사용하여 피노광물 위에패턴묘화하는것을특징으로 하는하전입자선노광장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
하전입자선노광장치의 복수의 구동요소 중 조사제어부가 피노광체를 제어하는 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation하전입자선노광장치의 구동요소 중 조사제어부가 피노광체를 제어하는 구체적인 방식을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 조사제어부가 피노광물에 대한 하전입자선의 조사를 제어함을 확인하고, 청구항 5에서 그 구체적인 제어 방식을 추출한다.
- 상기 조사제어부는, 하전입자선과 하전입자선의 조사시간으로 피노광체를 조사하거나, 또는 하전입자선이나 하전입자선의 조사시간으로피노광체제어하는것을특징으로 하는하전입자선노광장치
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3근거 선택
evidence_selection조사제어부의 제어 방식이 명시된 청구항 5의 문구를 선택한다.
- 하전입자선과 하전입자선의 조사시간으로 피노광체를 조사하거나, 또는 하전입자선이나 하전입자선의 조사시간으로피노광체제어하는것
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4논리 통합
logical_integration조사제어부는 하전입자선 자체 또는 하전입자선의 조사시간을 조절함으로써 피노광체를 제어한다는 논리를 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation조사제어부는 하전입자선과 하전입자선의 조사시간을 이용하거나, 하전입자선 또는 하전입자선의 조사시간을 이용하여 피노광체를 제어한다.
- 하전입자선과 하전입자선의 조사시간으로 피노광체를 조사하거나, 또는 하전입자선이나 하전입자선의 조사시간으로피노광체제어하는것
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
- 하전입자선과 하전입자선의 조사시간으로 피노광체를 조사하거나, 또는 하전입자선이나 하전입자선의 조사시간으로피노광체제어하는것
최종 답변 (final_answer)
조사제어부는 하전입자선과 하전입자선의 조사시간으로 피노광체를 조사하거나, 또는 하전입자선이나 하전입자선의 조사시간으로 피노광체를 제어하는 방식을 사용한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
하전입자선노광장치에서 조사제어부가 하전입자선 및 그 조사시간을 조절함으로써 피노광체의 조사를 제어하는 기술적 수단을 정의하고 있다.