문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 유지수단의 상연부와 상기 캐리어의 하연부 사이에 배치되어 상기 척킹수단과 상기 캐리어에 의해 한정되는 공기 챔버의 기밀을 유지하기 위한고정링구비하는것을특징으로 하는화학적 기계적 연마장치의 연마헤드.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 유지수단은, 탄성적으로 휘어지는가요성재료제작되는것을특징으로 하는화학적 기계적 연마장치의 연마헤드.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 유지수단의 저면의 경사각은 0.8내지9도인것을특징으로 하는화학적 기계적 연마장치의 연마헤드.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 유지수단은, 아세탈 수지,폴리페닐렌설파이드수지수지로이루어진것을특징으로 하는화학적 기계적 연마장치의 연마헤드.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 유지수단은, 상기 연마패드와 밀착시 그 하면이 상기 연마패드에 균일하게 밀착되도록 내측 연부가 하방으로 탄성적으로 밀리는탄성체제작하는갖는것을특징으로 하는화학적 기계적 연마장치의 연마헤드.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 리테이너 링의 상연부와 상기 캐리어의 하연부 사이에 배치되어 상기 척킹판과 상기 캐리어에 의해 한정되는 공기 챔버의 기밀을 유지하기 위한고정링구비하는것을특징으로 하는화학적 기계적 연마장치의 연마헤드.
[청구항 9]
제 7 항에 있어서,상기 리테이너 링은, 탄성적으로 휘어지는가요성재료제작하는것을특징으로 하는화학적 기계적 연마장치의 연마헤드.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 리테이너 링의 저면의 경사각은 0.8내지9도인것을특징으로 하는화학적 기계적 연마장치의 연마헤드.
[청구항 11]
제 9 항에 있어서,상기 리테이너 링은, 아세탈 수지,폴리페닐렌설파이드수지수지로이루어진것을특징으로 하는화학적 기계적 연마장치의 연마헤드.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,체부는, 탄성적으로 휘어지는가요성재료제작되는것을특징으로 하는리테이너 링.
[청구항 14]
제 12 항에 있어서,체부 저면의 경사각은 0.8내지9도인것을특징으로 하는리테이너 링.
[청구항 15]
제 12 항에 있어서,체부는, 아세탈 수지,폴리페닐렌설파이드수지수지로이루어진것을특징으로 하는리테이너 링.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
화학적 기계적 연마장치의 연마헤드에서 고정링이 배치되는 위치와 이를 통해 달성하고자 하는 기능은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation화학적 기계적 연마장치의 연마헤드 내 고정링의 배치 위치와 그 기능을 추출하는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2와 청구항 8에서 고정링의 위치와 기능에 관한 정보를 확인한다.
- 상기 유지수단의 상연부와 상기 캐리어의 하연부 사이에 배치되어 상기 척킹수단과 상기 캐리어에 의해 한정되는 공기 챔버의 기밀을 유지하기 위한고정링
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3근거 선택
evidence_selection고정링의 위치(유지수단의 상연부와 캐리어의 하연부 사이)와 기능(공기 챔버의 기밀 유지)을 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 유지수단의 상연부와 상기 캐리어의 하연부 사이에 배치되어 상기 척킹수단과 상기 캐리어에 의해 한정되는 공기 챔버의 기밀을 유지하기 위한고정링
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 결합하여 고정링이 어디에 위치하며, 어떤 목적으로 존재하는지 정리한다.
- 상기 유지수단의 상연부와 상기 캐리어의 하연부 사이에 배치되어 상기 척킹수단과 상기 캐리어에 의해 한정되는 공기 챔버의 기밀을 유지하기 위한고정링
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변을 구성한다.
- 상기 유지수단의 상연부와 상기 캐리어의 하연부 사이에 배치되어 상기 척킹수단과 상기 캐리어에 의해 한정되는 공기 챔버의 기밀을 유지하기 위한고정링
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 생성한다.
- 상기 유지수단의 상연부와 상기 캐리어의 하연부 사이에 배치되어 상기 척킹수단과 상기 캐리어에 의해 한정되는 공기 챔버의 기밀을 유지하기 위한고정링
최종 답변 (final_answer)
상기 유지수단의 상연부와 상기 캐리어의 하연부 사이에 배치되어 상기 척킹수단과 상기 캐리어에 의해 한정되는 공기 챔버의 기밀을 유지하기 위한 고정링
핵심 해석 (core_interpretation)
연마헤드 내에서 유지수단과 캐리어 사이에 고정링을 배치함으로써, 척킹수단과 캐리어 사이의 공기 챔버가 기밀을 유지하도록 하는 기술적 구성에 관한 것이다.