문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 다수의 하우징은 서로 접속되어 하우징은 모두 반송실을 규정하고, 상기 다수의 처리실은 상기 반송실에 접속되며, 상기 가동부는 상기 다수의 하우징의 바닥면 위에서 이동 가능하고, 상기 반송부는 상기 반송실 및 상기 각각의 처리실 사이에 이동가능한반송 모듈.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 하우징의 바닥면 위에 상기 가동부를 부상시키는 부상 기구더 포함하는반송 모듈.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 제어부는 상기 부상 기구를 제어하여 상기 바닥면 위에서 상기 가동부의 부상 높이조정하는반송 모듈.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 하우징을 사전결정된 감압 환경에서 상기 하우징을 유지하도록 상기 하우징내의 압력을 조정하는 조압 기구더 포함하는반송 모듈.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 피처리체는반도체 웨이퍼인반송 모듈.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 피처리체는 lcd 유리기판인반송 모듈.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 반송부는 무관절형 아암포함하는반송 모듈.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 반송부는 적어도 1 이상의 관절을 갖는 관절형 아암갖는반송 모듈.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 다수의 하우징은 서로 접속되어 하우징은 모두 반송실을 규정하고, 상기 다수의 처리실은 상기 반송실에 접속되며, 상기 가동부는 상기 다수의 하우징의 바닥면 위에서 이동 가능하고, 상기 반송부는 상기 반송실 및 상기 각각의 처리실 사이에 이동가능한반송 모듈.
[청구항 12]
제 10 항에 있어서,상기 하우징의 바닥면 위에 상기 가동부를 부상시키는 부상 기구더 포함하는반송 모듈.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 제어부는 상기 부상 기구를 제어하여 상기 바닥면 위에서 상기 가동부의 부상 높이조정하는반송 모듈.
[청구항 14]
제 10 항에 있어서,상기 하우징을 사전결정된 감압 환경에서 상기 하우징을 유지하도록 상기 하우징내의 압력을 조정하는 조압 기구더 포함하는반송 모듈.
[청구항 15]
제 10 항에 있어서,상기 피처리체는반도체 웨이퍼인반송 모듈.
[청구항 16]
제 10 항에 있어서,상기 피처리체는 lcd 유리기판인반송 모듈.
[청구항 17]
제 10 항에 있어서,상기 반송부는 무관절형 아암포함하는반송 모듈.
[청구항 18]
제 10 항에 있어서,상기 반송부는 적어도 1 이상의 관절을 갖는 관절형 아암갖는반송 모듈.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반송 모듈에서 제어부가 부상 기구를 통해 수행하는 역할은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation반송 모듈 내 제어부가 부상 기구를 통해 수행하는 구체적인 역할을 추출해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 4 및 13에서 제어부와 부상 기구의 관계를 설명하는 문구를 확인한다.
- 상기 제어부는 상기 부상 기구를 제어하여 상기 바닥면 위에서 상기 가동부의 부상 높이조정하는
-
3근거 선택
evidence_selection제어부의 역할이 명시된 핵심 구절을 선택한다.
- 상기 제어부는 상기 부상 기구를 제어하여 상기 바닥면 위에서 상기 가동부의 부상 높이조정하는
-
4논리 통합
logical_integration제어부가 부상 기구를 제어함으로써 가동부의 부상 높이를 조정한다는 인과관계를 파악한다.
- 상기 제어부는 상기 부상 기구를 제어하여 상기 바닥면 위에서 상기 가동부의 부상 높이조정하는
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 제어부의 역할을 정리한다.
- 상기 제어부는 상기 부상 기구를 제어하여 상기 바닥면 위에서 상기 가동부의 부상 높이조정하는
-
6답변 생성
answer_generation추출된 문구를 바탕으로 최종 답변을 생성한다.
- 상기 제어부는 상기 부상 기구를 제어하여 상기 바닥면 위에서 상기 가동부의 부상 높이조정하는
최종 답변 (final_answer)
상기 제어부는 상기 부상 기구를 제어하여 상기 바닥면 위에서 상기 가동부의 부상 높이조정하는
핵심 해석 (core_interpretation)
반송 모듈의 제어부가 부상 기구를 제어함으로써 가동부의 부상 높이를 정밀하게 조정하는 기술적 기능을 포함한다.