문맥 (context)
[청구항 1]
세정이 완료된 웨이퍼캐리어, 구동모터 및 상기 구동모터의 축과 상기 웨이퍼캐리어의 구동축 사이에 연결되어 상기 구동모터의 회전력에 의해 구동되는 벨트를 구비한 스핀건조장치에 있어서,
상기 구동축에 연결되어 상기 구동모터의 회전속도에 따른 신호를 조합하여 상기 구동모터의회전속도를 표시하는 회전속도검출수단; 및
상기 회전속도검출수단의 출력전압에 따라 상기 벨트의 이상유무를 감지하는 벨트단선감지수단
을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 스핀건조장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 회전속도검출수단은,상기 구동축에 연결되어 상기 구동모터의 회전속도에 따른 신호를 조합하는 인코더; 및상기 인코더의 출력전압을 디지탈 신호로 변환하여 상기 구동모터의 회전속도를 표시하는 회전속도표시수단을 포함하여구성됨을특징으로 하는스핀건조장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 회전속도표시수단은,디지탈디스플레이미터이용하는것을특징으로 하는스핀건조장치.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기 회전속도에 따른상기인코더의출력전압의비인것을특징으로 하는스핀건조장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 벨트단선감지수단의 출력신호를 인가받아 작업자에게 벨트가 단선되었음을 경보하는 부저를 더 포함하여구성됨을특징으로 하는스핀건조장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 벨트단선감지수단은,기준전압이 하나의 입력단에 인가되고, 다른 입력단에 상기 회전속도검출수단의 출력전압이 인가되어 상기 기준전압과 상기 회전속도검출수단의 출력전압의 차이에 따라 양전압, 음전압을 출력하는 비교수단; 및상기 회전속도검출수단의 출력전압이 소정전압일 경우, 상기 비교수단의 출력전압 중 상기 음전압에 의해 개방되어 상기 벨트의 단선상태를 알려주는 스위칭수단을 포함하여구성됨을특징으로 하는스핀건조장치.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 비교수단은, op앰프비교기이용하는것을특징으로 하는스핀건조장치.
[청구항 8]
제 6 항에 있어서,상기 스위칭수단은, 스위치 또는 릴레이 중 어느하나이용함을특징으로 하는스핀건조장치.
[청구항 9]
제 6 항에 있어서,상기 비교수단은, 상기 회전속도검출수단의 출력전압이 2.5v∼5v이면 상기 양전압을 출력하고, 상기 회전속도검출수단의 출력전압이 0v∼2.5v이면상기음전압출력하는것을특징으로 하는스핀건조장치.
[청구항 10]
제 6 항에 있어서,상기 비교수단에서,상기 기준전압은 12v, 상기 양전압은 24v,상기음전압인것을특징으로 하는스핀건조장치.
[청구항 11]
세정이 완료된 웨이퍼를 건조시키는 스핀건조장치와 주제어장치를 구비한 세정장치에 있어서,
상기 세정이 완료된 웨이퍼를 적재한 웨이퍼캐리어
상기 웨이퍼캐리어를 안착시킨 받침대
상기 받침대의 중심부에 연결된 구동축
외부로부터 동력을 인가받아 구동하는 구동모터
상기 구동모터에 구비된 모터축
상기 모터축과 구동축을 연결하여 상기 구동모터로부터 전달되는 회전력을 인가받아 상기 받침대에 안착된 웨이퍼캐리어를 회전시키는 벨트
상기 구동축에 연결되어 상기 구동모터의 회전속도에 따른 신호를 조합하는 인코더
상기 인코더의 출력전압에 따라 상기 웨이퍼캐리어의 스핀건조동작을 제어하는 스핀건조제어부
상기 스핀건조제어부의 출력전압을 디지탈신호로 변환하여 상기 구동모터의 회전속도를 표시하는 회적속도표시부
상기 스핀건조제어부의 출력전압을 스위칭신호로 전환시켜 상기 주제어장치에 상기 벨트의 이상유무를 알려주는 벨트단선감지부로 구성되며,
상기 주제어장치는 상기 웨이퍼의 세정공정을 제어하며, 상기 벨트단선감지부터 제공되는 벨트의 단선신호에 따라 작업자에게 부저를 통해서 경보하는 것을 특징으로 하는 세정장치
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,상기 벨트단선감지부는,기준전압이 하나의 입력단에 인가되고, 다른 입력단에 상기 스핀건조제어부의 출력전압이 인가되어 상기 기준전압과 상기 스핀건조제어부의 출력전압의 차이에 따라 양전압, 음전압을 출력하는 비교수단; 및상기 스핀건조제어부의 출력전압이 상기 구동모터의 회전속도가 감속되는 전압일 경우, 상기 비교수단의 출력전압 중 상기 음전압에 의해 개방되어 상기 벨트의 단선상태를 알려주는 스위칭수단을 포함하여구성됨을특징으로 하는세정장치.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 비교수단은 op앰프비교기이용하는것을특징으로 하는세정장치.
[청구항 14]
제 12 항에 있어서,상기 구동모터의 회전속도에 따른상기인코더의출력전압비인것을특징으로 하는세정장치.
[청구항 15]
제 12 항에 있어서,상기 스핀건조제어부의 출력전압이 0∼2.5v일 경우, 상기 벨트단선감지부는 상기 벨트가 단선된 것감지하는것을특징으로 하는세정장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
스핀건조장치에서 벨트의 단선 여부를 감지하기 위해 사용되는 비교수단은 기준전압과 어떤 전압을 비교하여 양전압 또는 음전압을 출력하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation스핀건조장치의 벨트 단선 감지를 위한 비교수단이 기준전압과 비교하는 대상 전압이 무엇인지 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 비교수단이 기준전압과 비교하여 양전압 또는 음전압을 출력한다는 점을 확인한다.
- 상기 기준전압과 상기 회전속도검출수단의 출력전압의 차이에 따라 양전압, 음전압을 출력하는 비교수단
-
3근거 선택
evidence_selection비교 대상이 되는 전압이 '회전속도검출수단의 출력전압'임을 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 기준전압과 상기 회전속도검출수단의 출력전압의 차이에 따라 양전압, 음전압을 출력하는 비교수단
-
4논리 통합
logical_integration비교수단은 하나의 입력단에 기준전압을, 다른 입력단에 회전속도검출수단의 출력전압을 인가하여 두 전압의 차이를 이용함을 알 수 있다.
- 기준전압이 하나의 입력단에 인가되고, 다른 입력단에 상기 회전속도검출수단의 출력전압이 인가되어
-
5결론 도출
conclusion_formulation따라서 비교수단은 기준전압과 회전속도검출수단의 출력전압을 비교한다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변으로 '회전속도검출수단의 출력전압'을 도출한다.
최종 답변 (final_answer)
회전속도검출수단의 출력전압
핵심 해석 (core_interpretation)
스핀건조장치에서 벨트의 단선 여부를 판단하기 위해, 기준전압과 회전속도검출수단(인코더)의 출력전압을 비교하여 전압 차이에 따른 양/음전압을 생성함으로써 이상 상태를 감지하는 기술이다.