농도 구배를 갖는 칩 배선용 확산 배리어 document_id 1020000044977

[청구항 2] 제1항에 있어서,질소가 n2 및 n중1종이상형태인것특징인배리어 필름. [청구항 3] 제1항에 있어서,산소가 o2 및 o중1종이상형태인것특징인배리어 필름. [청구항 4] 제1항에 있어서,필름에 증착될 1종 이상의 금속 또는 합금에 가장 인접한 배리어 필름 영역에서의 질소 농도 및 산소 농도가 배리어 필름의 다른 영역에서의 질소 농도 및 산소 농도에 비해 낮은 것특징인배리어 필름. [청구항 5] 제1항에 있어서,필름의 질소 농도와 산소 농도는 배리어 필름에 증착될 절연 물질 및 1종 이상의 금속 또는 합금에 대한 배리어 필름의 접착력을 증가시키도록가변적인것특징인배리어 필름. [청구항 6] 제1항에 있어서,필름 내에서 가변적인농도의탄소더함유하는것특징인배리어 필름. [청구항 7] 제6항에 있어서,필름에 증착될 1종 이상의 금속 또는 합금 부근의 배리어 필름 영역에서의 탄소 농도가 배리어 필름의 다른 영역에서의 탄소 농도에 비해 낮은 것특징인배리어 필름. [청구항 8] 제6항에 있어서,필름의 탄소 농도는 배리어 필름에 증착될 절연 물질 및 1종 이상의 금속 또는 합금에 대한 배리어 필름의 접착력을 증가시키도록가변적인것특징인배리어 필름. [청구항 9] 제1항에 있어서,필름의 질소 농도는 하층의 절연 물질 부근에서의 농도 약 30 내지 약 60 원자%에서부터, 상층의 1종 이상의 금속 또는 합금 영역 부근에서의 농도 약 0%까지가변적인것특징인배리어 필름. [청구항 10] 제1항에 있어서,필름의 산소 농도는 하층의 절연 물질 부근에서의 농도 약 0 원자%에서부터, 상층의 1종 이상의 금속 또는 합금 영역 부근에서의 농도 약 1 내지 약 5%까지가변적인것특징인배리어 필름. [청구항 11] 제1항에 있어서,필름의 질소 함량 또는 산소 함량은 상층의 1종 이상의 금속 또는 합금 영역에 인접하게 될 영역 부근에서보다 하층의 절연 물질에 인접하게 될 영역 부근에서 더 큰 것특징인배리어 필름. [청구항 12] 제1항에 있어서,필름의 산소 함량은 질소 함량이 가장 낮은 배리어 필름의 영역 부근에서 가장 낮은 것특징인배리어 필름. [청구항 13] 제1항에 있어서,필름의 산소 농도와 질소 농도는 상층의 1종 이상의 금속 또는 합금 영역에 인접하게 될 영역 부근에서 필름의 저항성이 낮게 유지되도록충분한것특징인배리어 필름. [청구항 14] 제1항에 있어서,필름의 산소 농도와 질소 농도는 그 필름이 상층의 1종 이상의 금속 또는 합금 영역에 대해 유효한 필름으로 작용하도록충분한것특징인배리어 필름. [청구항 15] 제1항에 있어서,필름nan은저항률이상인것특징인배리어 필름. [청구항 16] 제1항에 있어서,필름의 질소 함량 또는 산소 함량은 배리어 필름 전반적으로 일정한 비율로가변적인것특징인배리어 필름. [청구항 17] 제1항에 있어서,필름의 질소 함량 또는 산소 함량은 배리어 필름 전반적으로 다른 비율로가변적인것특징인배리어 필름. [청구항 18] 제6항에 있어서,필름의 탄소 함량은 질소 함량 또는 산소 함량이 가장 낮은 배리어 필름 영역 부근에서 가장 낮은 것특징인배리어 필름. [청구항 19] 제6항에 있어서,필름의 탄소 함량은 상층의 1종 이상의 금속 또는 합금 영역에 인접하게 될 영역 부근에서 필름의 저항성이 낮게 유지되도록충분한것특징인배리어 필름. [청구항 20] 제6항에 있어서,필름의 탄소 함량은 그 필름이 상층의 1종 이상의 금속 또는 합금 영역에 대해 유효한 필름으로 작용하도록충분한것특징인배리어 필름. [청구항 21] 제6항에 있어서,필름의 탄소 함량은 배리어 필름 전반적으로 일정한 비율로가변적인것특징인배리어 필름. [청구항 22] 제6항에 있어서,필름의 탄소 함량은 배리어 필름 전반적으로 다른 비율로가변적인것특징인배리어 필름. [청구항 24] 제23항에 있어서,전기적 절연 물질이 이산화규소, 질화규소, 다이아몬드계 탄소, 탄소 도핑된 실리케이트 유리, 플루오르화 실리케이트 유리, 벌크 sio, 다공성 sio, 저 유전 상수의 sio, 에어로겔, fsg, fox, silk, sicoh, 유기 중합체, 폴리이미드, 실세스퀴옥산, 폴리아릴렌 에테르 및 플루오로 중합체로 이루어지는 군에서 선택된1종이상의물질포함하는것특징인반도체 소자 구조체. [청구항 25] 제23항에 있어서,전기 전도성 물질이구리또는알루미늄포함하는것특징인반도체 소자 구조체. [청구항 26] 제23항에 있어서,필름이 tan, tin 및 wnp중1종이상포함하는것특징인반도체 소자 구조체. [청구항 27] 제23항에 있어서,필름의 탄소 함량이 전기적 절연 물질 부근에서의 농도 약 10%에서부터, 전기 전도성 물질 부근에서의 농도 약 0%까지가변적인것특징인반도체 소자 구조체. [청구항 28] 제23항에 있어서,층의 박리 강도가 약400주2이상인것특징인반도체 소자 구조체.