반도체장치의 제조방법, 연마장치 및 연마방법 document_id 1020000052728

[청구항 19] 연마면을 가지고, 도전성을 가지는 연마공구 상기 연마공구를 소정의 회전축을 중심으로 회전시키고, 또한 지지하는 연마공구 회전지지수단 피연마(被硏磨) 대상물을 지지하여 소정의 회전축을 중심으로 회전시키는 회전지지수단 상기 연마공구를 상기 피연마 대상물에 대향하는 방향의 목표위치로 이동 위치결정하는 이동위치결정수단 상기 피연마 대상물의 피연마면과 상기 연마공구의 연마면을 소정의 평면에 따라 상대이동시키는 상대이동수단 상기 피연마 대상물의 피연마면 상에 전해액을 공급하는 전해액 공급수단; 및 상기 피연마 대상물의 피연마면을 양극으로 하고 상기 연마공구를 음극으로 하여, 상기 피연마면으로부터 상기 전해액을 통해 상기 연마공구로 흐르는 전해전류를 공급하는 전해전류 공급수단 을 가지는 연마장치 [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 피연마 대상물의 피연마면에 연마숫돌입자를 함유하는 화학연마제를 공급하는 연마제 공급수단추가로 가지는연마장치. [청구항 21] 제19항에 있어서,전류 공급수단은 상기 피연마 대상물의 피연마면에 접촉 가능 또는 접근 가능하게 배치되고, 상기 피연마 대상물의 피연마면을 양극으로 하여 당해 피연마면에 통전하는 통전수단, 및상기 통전수단과 상기 연마공구 사이에 소정 직류전위를 인가하는 직류전원구비하는연마장치. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 직류전원은 소정 주기의 펄스형 전압출력하는연마장치. [청구항 23] 제21항에 있어서,상기 연마공구는 휠(wheel)형의 도전성 부재로 이루어지고, 당해 부재의 환형(環形)의 일단면이 연마면을 구성하고 있으며,상기 통전수단은 상기 연마공구의 내측에 당해 연마공구와 격리되어 배치되며, 상기 회전지지수단에 의해 지지되어, 상기 연마공구와 함께 회전하는 도전성의 전극판구비하는연마장치. [청구항 24] 제23항에 있어서,극판은 상기 피연마 대상물의 피연마면에 대향하는 측에 당해 피연마면을 스크러브(scrub)하는 면을 가지는 스크러브부재구비하는연마장치. [청구항 25] 제24항에 있어서,러브부재는 상기 전해액 및 연마숫돌입자를 함유하는 화학연마제를 흡수하고, 또한 통과시킬 수 있는 재료로 형성되어 있고, 상기 전극판측으로부터 공급되는 전해액 및/또는 화학연마제를 피연마 대상물의 피연마면공급하는연마장치. [청구항 26] 제21항에 있어서,상기 연마공구는 상기 회전지지수단에 연결된 도전성 부재에 의해 지지되어 있고, 상기 회전하는 도전성 부재에 접촉하는통전브러시통해통전되는연마장치. [청구항 27] 제23항에 있어서,상기 전극부재는 상기 피연마 대상물의 피연마면에 형성된 피(被)전해금속금속으로 이루어지는연마장치. [청구항 28] 제19항에 있어서,상기 피연마 대상물의 피연마면으로부터 상기 연마공구로 흐르는 전해전류의 값을 검출하는 전류검출수단을 추가구비하는연마장치. [청구항 29] 제23항에 있어서,상기 피연마 대상물의 피연마면을 경유한 상기 전극부재와 상기 연마공구 사이의 전기저항을 검출하는 저항값 검출수단을 추가구비하는연마장치. [청구항 30] 제29항에 있어서,상기 전류검출수단의 검출신호에 따라, 상기 전해전류의 값이 일정하게 되도록 상기 연마공구와 상기 피연마 대상물과의 대향방향의 위치를 제어하는 제어수단추가로 가지는연마장치. [청구항 32] 제31항에 있어서,상기 연마면에 연마숫돌입자를 함유하는 화학연마제를 공급하는 연마제 공급수단을 추가로 가지고,상기 전해액에 의한 전해연마와 상기 연마면 및 상기 연마제에 의한 화학기계연마를 복합한 전해복합연마에 의해 상기 피연마 대상물의 피연마면을 평탄화연마하는연마장치.