문맥 (context)
[청구항 11]
세정액을 수용하기 위한 세정조
상기 세정조 내부의 하단에 불활성 가스를 방출하기 위한 가스 방출부; 및
상기 세정조 내부에 상기 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 패드 컨디셔너 세정 장치
[청구항 12]
제 11항에 있어서,상기 가스 방출부는,내부 공간을 구비하고 상면에 다수개의 동공이 형성된 플레이트; 상기 플레이트의 측면에 상기 플레이트의 내부 공간으로 불활성 가스를 주입하기 위한 가스 주입구; 및상기 가스 주입구로 가스를 공급하기 위한가스 공급부형성되어있는것을특징으로 하는연마 패드 컨디셔너 세정 장치.
[청구항 13]
제 12항에 있어서,상기 플레이트는내부식성재질형성하는것을특징으로 하는연마 패드 컨디셔너 세정 장치.
[청구항 14]
제 12항에 있어서,상기 플레이트 상면의 가장자리에는 연마 패드 컨디셔너가 상기 플레이트와 이격되게 놓여지기 위한다수개의가이드핀구비하는것을특징으로 하는연마 패드 컨디셔너 세정 장치.
[청구항 15]
제 13항에 있어서,상기 가이드 핀의 높이는3내지인것을특징으로 하는연마 패드 컨디셔너 세정 장치.
[청구항 16]
제 12항에 있어서,상기 플레이트 중심부의 높이가 가장자리부의 높이보다 높아지도록 상기 플레이트의 중심부의 상면이 볼록한형상가지는것을특징으로 하는연마 패드 컨디셔너 세정 장치.
[청구항 17]
제 11항에 있어서,정조의 외부로 오버 플로우하는 연마액을 수집하기 위한배수부구비되는것을특징으로 하는연마 패드 컨디셔너 세정 장치.
[청구항 18]
제 17항에 있어서,상기 배수부는 상기 세정조에서 오버 플로우한 세정액을 수집하기 위한 외조와, 상기 외조에 수집된 세정액을 배수하기 위한배수라인구성되는것을특징으로 하는연마 패드 컨디셔너 세정 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
연마 패드 컨디셔너 세정 장치에서 가스 방출부는 어떠한 구성 요소들로 이루어져 있으며, 각 구성 요소의 역할은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가스 방출부의 구성 요소와 각 구성 요소의 역할을 파악하는 것이 과제이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 12를 통해 가스 방출부가 플레이트, 가스 주입구, 가스 공급부로 구성됨을 추출한다.
- 상기 가스 방출부는,내부 공간을 구비하고 상면에 다수개의 동공이 형성된 플레이트; 상기 플레이트의 측면에 상기 플레이트의 내부 공간으로 불활성 가스를 주입하기 위한 가스 주입구; 및상기 가스 주입구로 가스를 공급하기 위한가스 공급부형성되어있는것을특징으로 하는연마 패드 컨디셔너 세정 장치.
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3근거 선택
evidence_selection가스 방출부의 구성 요소와 역할이 명시된 청구항 12의 구절을 선택한다.
- 내부 공간을 구비하고 상면에 다수개의 동공이 형성된 플레이트; 상기 플레이트의 측면에 상기 플레이트의 내부 공간으로 불활성 가스를 주입하기 위한 가스 주입구; 및상기 가스 주입구로 가스를 공급하기 위한가스 공급부
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4논리 통합
logical_integration추출된 구성 요소와 그에 대응하는 기능을 연결하여 정리한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation가스 방출부는 플레이트, 가스 주입구, 가스 공급부로 이루어져 있으며 각각의 역할은 가스 주입 및 공급을 위한 것이다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 따라 구성 요소와 역할을 리스트 형식으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
가스 방출부는 다음과 같은 구성 요소들로 이루어져 있다.
1. 플레이트: 내부 공간을 구비하고 상면에 다수개의 동공이 형성된 구성 요소
2. 가스 주입구: 플레이트의 측면에 위치하며, 플레이트의 내부 공간으로 불활성 가스를 주입하는 역할
3. 가스 공급부: 가스 주입구로 가스를 공급하는 역할
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 세정조 하단에 불활성 가스를 방출하기 위해 플레이트, 가스 주입구, 가스 공급부로 구성된 가스 방출부를 구비하여 연마 패드 컨디셔너를 세정하는 장치에 관한 것이다.