안전 시스템 및 노광장치 document_id 1020000054817

[청구항 1] 장치문의 근방에 설치된 안전 플러그 홀더와, 상기 안전 플러그 홀더에 탈착 가능한 안전 플러그와, 상기 안전 플러그 홀더에 대한 상기 안전 플러그의 탈착과 연동하여 동작하는 스위치를 구비하고, 상기 안전 플러그는 상기 안전 플러그 홀더에 장착되어 있을 때 장치문의 열림동작을 불가능하게 하고 상기 안전 플러그를 상기 안전 플러그 홀더로부터 뽑아냄으로써 장치문을 열 수 있게 되고, 상기 안전 플러그가 상기 안전 플러그 홀더로부터 뽑혔을 때 스위치는 장치내에 설치된 액츄에이터의 동작을 정지시키도록 작용하는 것을 특징으로 하는 안전 시스템 [청구항 2] 복수의 안전 플러그 홀더와, 상기 복수의 안전 플러그 홀더에 각각 탈착가능한 복수의 안전 플러그와, 각 안전 플러그 홀더에 대한 상기 안전 플러그의 탈착과 연동하여 동작하는 스위치를 구비하고, 상기 스위치는, 어떠한 안전 플러그가 안전 플러그 홀더로부터 뽑혔을 때 장치내에 설치된 액츄에이터의 동작을 정지시키고, 그 후 모든 안전 플러그가 상기 안전 플러그 홀더에 장착된 후에 상기 액츄에이터의 동작을 재개 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 안전 시스템 [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 복수의 안전 플러그는, 안전 플러그 홀더에 장착되어 있을 때 장치문의 열림동작을 불가능하게 하고 이 안전 플러그를 안전 플러그 홀더로부터 뽑아냄으로써 장치문을 열 수 있게 되는 메인 안전 플러그와, 상기 메인 안전 플러그를 안전 플러그 홀더로부터 뽑아낸 후에 비로소 안전 플러그 홀더로부터 뽑아낼 수 있게 되는서브안전플러그로이루어진것을특징으로 하는안전 시스템. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 스위치는, 상기 안전 플러그가 상기 안전 플러그 홀더로부터 뽑혔을 때,상기액츄에이터의전원차단하는것을특징으로 하는안전 시스템. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 장치내 작업등록수단은 작업자 id 에 의해작업개시의등록및작업종료의등록행하는것을특징으로 하는안전 시스템. [청구항 7] 제 1 항에 기재된 안전시스템과 상기 액츄에이터를 포함하고, 기판을 기판 스테이지에 반송하는 기판 반송부와, 상기 기판 반송부에 의해 상기 기판 스테이지에 반송된 기판을 노광하는 노광부를 구비한 노광장치로서, 상기 기판 반송부에 접속되어, 상기 기판의 반송 과정을 복수의 사이클로 나눠 실행 제어하는 반송 제어부와, 상기 반송 제어부에 접속되어, 상기 복수의 사이클의 소정 사이클후에 실행을 정지하는 정지 스위치를 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치 [청구항 8] 기판을 이동시키기 위한 기판이동기구와, 상기 기판이동기구에 접속되어 상기 기판 이동을 복수의 사이클로 나눠 제어하는 제어부와, 상기 기판을 노광하는 노광부를 구비한 노광장치로서, 상기 복수의 사이클에서의 소정의 사이클 종료후에 상기 제어부의 제어를 정지시키는 정지수단을 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치 [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 소정의 사이클 종료후에 정지하였을 때에, 상기 기판이동기구의 위치를 기억하는기억장치구비하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 제어부는, 상기 정지수단에서의 정지를 해제하였을 때에, 상기 기억된 위치 정보에 의거하여,상기기판이동기구제어하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 11] 제 8 항에 있어서,상기 노광장치에 설치된 문에는 로크기구를 구비한 안전 플러그가 설치되고, 상기 안전 플러그가 분리되었을 때에는, 기판이동기구로의구동지령차단되는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 12] 제 8 항에 있어서,상기 기판이동기구와 상기 노광부를 둘러싸는 챔버를 구비하고, 상기 챔버에는 상기 챔버 내외를 연통하기 위한 문을 구비하고, 상기 문에는 문의 개방을 제한하는안전플러그구비하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,작업자에 의한 상기 챔버내 작업 개시시에 작업자가 작업 개시를 등록하고, 상기 챔버내 작업 종료시에 작업자가 작업 종료를 등록하는작업등록수단구비한것을특징으로 하는노광장치. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 작업등록수단의 등록상황에 따라, 상기 작업자의 작업중임을 알리는 알림수단구비한것을특징으로 하는노광장치.